研究課題/領域番号 |
21560348
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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研究機関 | 宇都宮大学 |
研究代表者 |
石井 清 宇都宮大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30134258)
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研究分担者 |
佐久間 洋志 宇都宮大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40375522)
齋藤 和史 宇都宮大学, 大学院・工学研究科, 助教 (70251080)
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研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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キーワード | 磁気記録媒体 / 垂直磁気記録媒体 / スパッタ膜 / ガスフロースパッタ法 / FePt / 垂直磁気記録 |
研究概要 |
本研究では、次世代磁気記録媒体として考えられているナノパーティクル媒体の開発を目指した。具体的には、CVD領域の新しいスパッタ法を用いることにより、L10構造を有したナノ粒子構造のFePt合金薄膜を作製することである。その結果、基板温度を300℃程度に高めることにより、目的とする微粒子化したL10FePt薄膜が得られることを見出した。それらの薄膜はナノパーティクル媒体としての可能性を有するものであり、下地の付加などによる実用磁気録媒体の試作研究の段階に達したものと考えられる。
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