研究課題/領域番号 |
21560353
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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研究機関 | 大阪大学 |
研究代表者 |
三浦 克介 大阪大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (30263221)
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研究分担者 |
御堂 義博 大阪大学, 情報科学研究科, 助教 (00448094)
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研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2011年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2010年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2009年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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キーワード | 大規模集積回路 / 故障診断 / 故障解析 / シミュレーション / 走査レーザSQUID顕微鏡法 / L-SQ法 / レーザテラヘルツ波顕微鏡法 / LTEM法 / LSI / レーザSQUID顕微鏡 / L-SQ / レーザ誘起テラヘルツ波顕微鏡 / LTEM / 故障絞り込み / レーザ誘起テラヘルツ波顕鏡 / SPICE |
研究概要 |
走査レーザSQUID顕微鏡法(L-SQ法)画像およびレーザテラヘルツ波顕微鏡法(LTEM法)画像を生成するシミュレータを高速化し,これらを用いた超LSI故障個所診断支援法の開発を行った. L-SQ像シミュレータは100倍以上, LTEM像シミュレータは約10倍の高速化を達成した.シミュレータを利用したL-SQ法による故障診断支援手法では故障位置を第1位の順位で指摘し, LTEM法による故障診断支援手法では回路全体の8%の領域まで故障を絞り込むことができた.
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