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高速・高精度な超LSI故障個所解析装置用診断支援手法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 21560353
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関大阪大学

研究代表者

三浦 克介  大阪大学, 大学院・情報科学研究科, 准教授 (30263221)

研究分担者 御堂 義博  大阪大学, 情報科学研究科, 助教 (00448094)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2011年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2010年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2009年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
キーワード大規模集積回路 / 故障診断 / 故障解析 / シミュレーション / 走査レーザSQUID顕微鏡法 / L-SQ法 / レーザテラヘルツ波顕微鏡法 / LTEM法 / LSI / レーザSQUID顕微鏡 / L-SQ / レーザ誘起テラヘルツ波顕微鏡 / LTEM / 故障絞り込み / レーザ誘起テラヘルツ波顕鏡 / SPICE
研究概要

走査レーザSQUID顕微鏡法(L-SQ法)画像およびレーザテラヘルツ波顕微鏡法(LTEM法)画像を生成するシミュレータを高速化し,これらを用いた超LSI故障個所診断支援法の開発を行った. L-SQ像シミュレータは100倍以上, LTEM像シミュレータは約10倍の高速化を達成した.シミュレータを利用したL-SQ法による故障診断支援手法では故障位置を第1位の順位で指摘し, LTEM法による故障診断支援手法では回路全体の8%の領域まで故障を絞り込むことができた.

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 学会発表 (14件)

  • [学会発表] 走査レーザSQUID顕微鏡およびLTEM複合故障箇所解析装置の為の故障データベースと故障絞り込み支援ソフトウェアの開発2011

    • 著者名/発表者名
      三浦克介
    • 学会等名
      第31回LSIテスティングシンポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
    • 年月日
      2011-11-10
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション(II)2011

    • 著者名/発表者名
      御堂義博
    • 学会等名
      第31回LSIテスティングシンポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
    • 年月日
      2011-11-10
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 走査レーザSQUID顕微鏡およびLTEM複合故障箇所解析装置の為の故障データベースと故障絞り込み支援ソフトウェアの開発2011

    • 著者名/発表者名
      三浦克介, 御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
    • 学会等名
      第31回LSIテスティングシンポジウム会議録
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション(II)2011

    • 著者名/発表者名
      御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
    • 学会等名
      第31回LSIテスティングシンポジウム会議録
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      御堂義博
    • 学会等名
      第30回LSIテスティングシセポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
    • 年月日
      2010-11-12
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法2010

    • 著者名/発表者名
      三浦克介
    • 学会等名
      第30回LSIテスティングシンポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター(大阪府豊中市)
    • 年月日
      2010-11-11
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 走査レーザSQUID顕微鏡によるシミュレーションを活用したVLSI故障絞り込み法2010

    • 著者名/発表者名
      三浦克介
    • 学会等名
      電子情報通信学会総合大会
    • 発表場所
      東北大学川内キャンパス (宮城県仙台市)
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] LTEMによるLSI故障解析のためのTHz波シミュレーション(II)2010

    • 著者名/発表者名
      御堂義博
    • 学会等名
      第57回応用物理学会関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス (神奈川県平塚市)
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法2010

    • 著者名/発表者名
      三浦克介, 二川清, 中前幸治
    • 学会等名
      第30回LSIテスティングシンポジウム会議録
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] LSI故障解析のためのレーザーテラヘルツエミッション顕微鏡THz波検出信号シミュレーション2010

    • 著者名/発表者名
      御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 二川清, 中前幸治
    • 学会等名
      第30回LSIテスティングシンポジウム会議録
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] LTEMによるLSI故障解析のためのTHz波シミュレーション(II)2010

    • 著者名/発表者名
      御堂義博, 山下将嗣, 松本徹, 斗内政吉, 二川清, 中前幸治
    • 学会等名
      第57回応用物理学会関係連合講演会
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 走査レーザSQUID顕微鏡によるシミュレーションを活用したVLSI故障絞り込み法2010

    • 著者名/発表者名
      三浦克介, 二川清, 中前幸治
    • 学会等名
      電子情報通信学会総合大会
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法の検討2009

    • 著者名/発表者名
      三浦克介
    • 学会等名
      第29回LSIテスティングシンポジウム
    • 発表場所
      千里ライフサイエンスセンター (大阪府豊中市)
    • 年月日
      2009-11-12
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法の検討2009

    • 著者名/発表者名
      三浦克介, 中前幸治, 二川清
    • 学会等名
      第29回LSIテスティングシンポジウム
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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