| 研究課題/領域番号 |
21560443
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 新潟大学 |
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研究代表者 |
佐々木 修己 新潟大学, 自然科学系, 教授 (90018911)
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| 研究分担者 |
鈴木 孝昌 新潟大学, 自然科学系, 教授 (40206496)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2009年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | 光干渉計測 / 円筒内面形状 / 多波長干渉計 / 斜め入射干渉計 / 正弦波位相変調 / 流体軸受 / 計測機器 / 2波長干渉計 |
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| 研究概要 |
外部共振器型半導体レーザからの線状平行光を内径3mm、長さ3. 5mmの流体軸受の円筒内面に斜め入射させ、円周方向に対し3μmの幅からほぼ正反射する光をスリットによって取り出した。2次元CCDイメージセンサ面上に円筒内面の光場を形成し、参照光と干渉させ干渉信号を得た。中心波長775nm、波長幅20nmでの複数波長について干渉信号の位相を正弦波位相変調干渉法で検出することによって、深さ5~ 6μmの溝を有する内面形状を測定誤差0. 3μm以下で測定することができた。
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