研究課題
基盤研究(C)
圧電アクチュエータや超磁歪アクチュエータなどの入出力関係のヒステリシス現象を表現できる数学モデルを提案した。そして、ヒステリシスを入力側に含む線形システムに対し、ロバスト高度化制御則を合成し、閉ループシステムの安定性及び出力誤差を解析した。さらに、超磁歪アクチュエータで駆動するナノサーボステージへ応用し、提案手法の有効性を確認し、ナノサーボステージの高精度位置制御を実現した。
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