| 研究課題/領域番号 |
21560727
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
構造・機能材料
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| 研究機関 | 金沢工業大学 |
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研究代表者 |
矢島 善次郎 金沢工業大学, 工学部, 教授 (60148145)
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| 研究分担者 |
岸 陽一 金沢工業大学, 工学部, 教授 (70265370)
池永 訓昭 金沢工業大学, ものづくり研究所, 講師 (30512371)
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| 連携研究者 |
作道 訓之 金沢工業大学, 工学部, 教授 (20267719)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | インテリジェント材料 / 非平衡相薄膜 / 形状記憶合金 / DLC / 非平衡相薄膜材料 |
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| 研究概要 |
イオン照射機構(プラスチックの表面改質やDLC膜の合成にも用いられているPBII & D機構と基本構造は同じ)を取り付けた多元素同時スパッタリングシステムを開発した.本装置で得たDLC膜の硬さ及び基板追従性は,成膜条件によって広範囲に調整できた.また本装置を用いることで,基板温度が353Kであっても結晶化したTiNi合金薄膜を得ることができた.ポリイミド上にTiNi合金薄膜を付与した素子は,通電による加熱及びその停止による冷却で良好な二方向形状回復動作を示した.これらの結果によって,マイクロアクチュエータ素子の応用展開が期待できると考える.
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