研究課題/領域番号 |
21560737
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
材料加工・処理
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研究機関 | 芝浦工業大学 (2011) 北海道大学 (2009-2010) |
研究代表者 |
清野 肇 芝浦工業大学, 工学部, 准教授 (50281788)
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研究分担者 |
嶋田 志郎 北海道大学, 大学院・工学研究科, 教授 (90002310)
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研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2011年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2010年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2009年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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キーワード | 熱プラズマCVD / 薄膜 / 耐摩耗性 / アルコキシド溶液 / 超硬合金 / 微細構造 / 複合膜 / 二層膜 / 薄 / 熱プラズマCV |
研究概要 |
熱プラズマCVD法によってWc-Co切削工具に窒化チタン(TiN)膜と部分安定化ジルコニア(PSZ)を二層コーティングした切削工具を作製し耐磨耗特性と膜の微細構造の関係を明らかにすることを目的に研究を行った.水蒸気を酸化剤として用いる手法で, TiN/PSZ二層膜の作製が可能になった.水蒸気の導入を段階的に増やした手法(段階噴霧)にすることで,耐摩耗性を向上させることが出来た.断面の微細構造観察から,切削性能の向上にはTiN/PSZ界面の密着性向上が特に重要であると考えられた.
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