| 研究課題/領域番号 |
21560744
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 東海大学 (2010-2011)
金沢大学 (2009) |
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研究代表者 |
岩森 暁 東海大学, 工学部, 教授 (90345603)
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| 研究分担者 |
野田 和俊 産業技術総合研究所, 主任研究員 (60357746)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2011年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2010年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2009年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | 物理気相蒸着法 / 有機薄膜 / ガス吸着 / QCM / 高周波スパッタリング / ガス吸着速度 / センサ感度 |
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| 研究概要 |
近年環境問題の高まりから、現場環境計測技術の重要性が高くなっている。各種の微量濃度のガスを検知するセンサとして、水晶微小天秤法(QCM)は有効な手法である。いくつかの物理気相蒸着法(高周波スパッタリング、蒸着重合、プラズマ支援蒸着重合)により水晶振動子(QCM)電極上に有機薄膜を形成し、揮発性有機溶剤(VOC)のガス吸着特性をQCM法により評価した。本吸着は物理吸着であり、QCM電極上に形成した有機薄膜の極性、及び薄膜の密度に影響されることが分かった。また、低分子量のVOCに対する感度もVOCの官能基に特異性を示し、VOCの簡易検知センサとして応用できる可能性を示した。
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