| 研究課題/領域番号 |
21560752
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
材料加工・処理
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 |
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研究代表者 |
望月 孝晏 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 特任教授 (80101278)
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| 研究分担者 |
宮本 修治 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (90135757)
内海 裕一 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (80326298)
天野 壮 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (50271200)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2011年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2010年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2009年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | レーザープラズマ / 極端紫外光(EUV光) / プラズマデブリ / アルゴンガスバッファー / キセノン / 軟X線 / レーザー生成プラズマ / ガスバッファ / アルゴン / リチウム / ダブルパルス / スパッタリング |
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| 研究概要 |
Li蒸着GMBターゲットに同軸・対向ビームダブルパルス照射をおこないプラズマの膨張を時間分解EUVカメラで観測した。Liターゲット均等加熱には対向ビーム照射がより有効であることが確認された。回転ドラム式Xeクライオターゲットから発生する5-17nm波長域の軟X線変換効率は最大で25%/2πsrを達成した。Arガスによるスパッタリング減衰・軟X線吸収の実効的なパラメータはそれぞれσ_1=2.2×10^<-20> m^2とσ_2=1.5×10^<-22> m^2であった。スパッタリングの減衰は光学系への到達デブリの減衰と近似的に一致することが結論付けられ、得られた実効的な断面積は軟X線光源の実用化に役立つ実用物理量であることが判った。
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