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キャピラリーを用いたクラスターイオンの収束

研究課題

研究課題/領域番号 21604005
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 量子ビーム
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

持地 広造  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科 (40347521)

連携研究者 盛谷 浩右  兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20391279)
研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2009年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
キーワード表面分析 / 二次イオン質量分析 / クラスターイオン / キャピラリー
研究概要

ガラスキャピラリー(出口径:10~140μm)を用いてアルゴンクラスターイオンビームの収束特性を調べ、イオンビームの収束率(入口と出口におけるイオン密度の比率)、キャピラリー通過によるイオンの速度およびクラスターサイズ(構成原子数)の変化を明らかにした。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2012 2011 2010

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (7件)

  • [雑誌論文] Converging of argon cluster ion beams with a glass capillary2012

    • 著者名/発表者名
      K. Shoji, K. Iuchi, M. Izumi, K. Moritani, N. Inui, and K. Mochiji
    • 雑誌名

      J. Vac. Soc. Jpn.

      巻: 55 ページ: 118-120

    • NAID

      10030337406

    • URL

      http://www.jstage.jst.go.jp/browse/jvsj2/-char/ja/

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [雑誌論文] ガラスキャピラリーを用いたアルゴンクラスターイオンビームの収束2012

    • 著者名/発表者名
      正司和大, 他5名
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan

      巻: 55 ページ: 118-120

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ガラスキャピラリーを用いたアルゴンクラスターイオンビームの集束2011

    • 著者名/発表者名
      正司和大、出水元基、井内健輔、盛谷浩右、乾徳夫、持地広造
    • 学会等名
      第52回真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2011-11-18
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] ガラスキャピラリーを用いたアルゴンクラスターイオンビームの集束2011

    • 著者名/発表者名
      正司和大, 他5名
    • 学会等名
      真空に関する連合講演会
    • 発表場所
      学習院大学(東京都)
    • 年月日
      2011-11-18
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] ガラスキャピラリーを用いたアルゴンクラスターイオンビームの集束2011

    • 著者名/発表者名
      正司和大、井内健輔、盛谷浩右、乾徳夫、持地広造
    • 学会等名
      第72回応用物理学学術講演会
    • 発表場所
      山形
    • 年月日
      2011-08-30
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] ガラスキャピラリーを用いたアルゴンクラスターイオンビームの集束2011

    • 著者名/発表者名
      正司和大, 他4名
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形市)
    • 年月日
      2011-08-30
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Converging of argon cluster ion beams with a glass capillary2011

    • 著者名/発表者名
      K. Shoji, K. Iuchi, K. Moritani, N. Inui, and K. Mochiji
    • 学会等名
      The International Symposium on SIMS and Related Techniques on Ion-Solid Interactions at Seikei University(SISS-13)
    • 発表場所
      Aichi
    • 年月日
      2011-06-23
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Converging of argon cluster ion beams with a glass capillary2011

    • 著者名/発表者名
      K.Shoji, et al
    • 学会等名
      The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions
    • 発表場所
      成蹊大学(東京都)
    • 年月日
      2011-06-23
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Soft-ionization SIMS by using argon cluster ions2010

    • 著者名/発表者名
      Koso Mochiji
    • 学会等名
      The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interaction at Seikei University
    • 発表場所
      東京都 成蹊大学(招待講演)
    • 年月日
      2010-06-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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