| 研究課題/領域番号 |
21656105
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| 研究種目 |
挑戦的萌芽研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 豊田工業大学 |
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研究代表者 |
佐々木 実 豊田工業大学, 工学部, 教授 (70282100)
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| 研究分担者 |
熊谷 慎也 豊田工業大学, 工学部, 准教授 (70333888)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2011
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| 研究課題ステータス |
完了 (2011年度)
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| 配分額 *注記 |
2,680千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 180千円)
2011年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2010年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2009年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
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| キーワード | 計測工学 / マイクロ・ナノデバイス / 赤外線センサ / 振動型 / 非線形効果 / 非線形バネ / 張力 / 薄膜トーションバー / 多結晶シリコン / 感度 / Q値 / 温度特性 |
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| 研究概要 |
張力を持つ薄膜MEMSねじり振動子に熱変形が重なると、顕著にバネが硬くなる非線形性を示す性質を利用し、新しい赤外線センサを提案した。設計・製作し、基本特性を確認した。昇温により膜厚程度のたわみが発生すること、共振周波数が増加することが確認された。共振周波数の変化を利用した熱型赤外線センサとなる。製作したデバイス例では、真空条件での共振ピークのシフトから、少なくとも0.04℃の温度変化が測定できると見積もられ、有望である。
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