配分額 *注記 |
10,140千円 (直接経費: 7,800千円、間接経費: 2,340千円)
2010年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2009年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
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研究概要 |
エキソ電子検出システムの開発を進めると共に,パルスイオン照射システムを開発・改良し,絶縁物の二次電子収率測定系を開発してその測定精度を向上させた.さらに絶縁物の実材料におけるガス吸着等による二次電子収率の変化を測定するシステムを構築し,収率変化を定量的に捉えることに成功した.また,二次電子データベース構築等については,日本学術振興会産学研究協力委員会である第141委員会内に設置した専門委員会において,材料・デバイスを製造している企業等と連携した研究活動を行った.
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