研究課題
若手研究(A)
本研究では、シリコン(Si)、銅(Cu)および窒化ケイ素(SiN)で構成されたナノ構造体中における塑性変形のメカニズムを解明することを目的として、透過型電子顕微鏡を用いて下部組織の観察が可能な曲げ試験片を設計および作製し、Cu部に対して負荷途中の塑性挙動をその場観察した。Si/Cu界面と自由表面の会合部近傍において、塑性領域が発生・発達していく様子が観察され、塑性領域発生の分解せん断応力は400-420 MPaと見積もられた。実験後のTEM観察より、ナノ寸法の応力集中領域に起因した異材界面近傍の塑性変形は、積層欠陥の形成によって支配されていることが示唆された。
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