| 研究課題/領域番号 |
21740401
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 佐賀大学 |
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研究代表者 |
三沢 達也 佐賀大学, 大学院・工学系研究科, 助教 (70346873)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | 放電プラズマ焼結プロセス / プラズマスパッタリング / 熱電変換材料 / 酸化亜鉛セラミックス / 金属酸化物薄膜 |
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| 研究概要 |
高性能の熱電薄膜材料の実現の為に,放電プラズマ焼結プロセスにおける内部構造制御のメカニズムの解明と,プラズマスパッタリングとプラズマ流を併用した微粒子含有酸化亜鉛薄膜のプラズマ成膜装置の開発を行った.
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