| 研究課題/領域番号 |
21750083
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
分析化学
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| 研究機関 | 独立行政法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
吉川 元起 独立行政法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, ICYS-MANA研究員 (70401172)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
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| キーワード | カンチレバーセンサー / ピエゾ抵抗 / 構造最適化 / 膜型表面応力センサー(Membrane-type Surface stress Sensor, MSS) / ナノメカニカルセンサー / 有限要素解析(Finite Element Analysis, FEA) / 高感度 / MEMS / NEMS / バイオセンサー / カンチレバーアレイ / 高感度化 / 有限要素解析 / 膜型表面応力センサー(MSS) |
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| 研究概要 |
微小なカンチレバー(片持ちの梁)を利用したセンサーは、様々な分野での応用が期待されている。従来のレーザーを用いた読み取り方式における問題点(大型・高価・多チャンネル化が困難など)を克服可能なピエゾ抵抗型のカンチレバーの一番の問題点は、その感度の低さにあった。本研究では、網羅的な構造最適化を行うことで、ピエゾ抵抗カンチレバーセンサーの感度を飛躍的に高め、計算と実験の両面から実証することに成功した。
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