| 研究課題/領域番号 |
21760020
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
川合 祐輔 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20451536)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2009年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
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| キーワード | TOF-SFM / MEMS / アクチュエータ / 表面観察 / 化学種同定 |
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| 研究概要 |
走査型電解蒸発型質量分析顕微鏡に応用するためのプローブとして、ジッパー形静電アクチュエータを集積化したプローブとその作製プロセスを開発した。ピックアップ機能に十分な最大340μmの変位と表面走査に必要な10N/m以上のバネ定数を両立できるバネ硬化機能を有しており、このプローブを用いた表面走査顕微鏡像の取得および、誘電体パーティクルの拾い上げと再配置をデモンストレーションした。以上の成果により、半導体微細加工技術を用いたアクチュエータ集積化プローブの表面原子を拾い上げ化学特性をマッピングするための走査型化学プローブ顕微鏡応用が期待される。
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