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光配線を目指したGe量子ドット・マイクロキャビティー融合型電流注入発光デバイス

研究課題

研究課題/領域番号 21760044
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 応用光学・量子光工学
研究機関東京都市大学

研究代表者

夏 金松  東京都市大学, 助手 (00434184)

研究期間 (年度) 2009 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2009年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
キーワードelectroluminescence / Si-based light emitting devices / optical microcavities / Ge self-assembled quantum dots / photonic crystal / microdisk / current-inection
研究概要

これまでに室温発光を達成している、Ge量子ドット微小共振器構造をベースに、電流注入型ELデバイス構造の開発を進めた。p-i-n接合を有するマイクロディスク(MD)、フォトニック結晶構造作製プロセスを確立した。EBリソグラフィーの合わせマークとして、熱安定性を考慮してHfO_2膜を採用するなどのプロセス最適化を通して、室温エレクトロルミネッセンスを得ることに成功した。得られた発光ピークはMDの共振モードである、Whispering galleryモードであることが、FDTDシミュレーションにより確認された。得られたQ値は60から100であったが、これはPL構造の発光よりも小さく、改善に向け現在原因を特定中である。また、PLと同様に、発光強度は注入電流に対し非線形的な振る舞いを示し、MD中のキャリア密度増大が要因と考えられる。これらの結果は、高Q値(>2000)、単一モード発光デバイス実現へ向けた大きな前進を示すものと言える。

報告書

(1件)
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2010 2009

すべて 学会発表 (4件)

  • [学会発表] マイクロディスク共振器を用いたSi系発光デバイスのエレクトロルミネッセンス2010

    • 著者名/発表者名
      武田雄貴
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      横浜東海大
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Si-Based Light Emitting Devices Based on Ge Self-Assembled Quantum Dots (invited talk)2009

    • 著者名/発表者名
      夏金松
    • 学会等名
      2009 International Symposium on Crystal Science and Technologies
    • 発表場所
      山梨大
    • 年月日
      2009-12-04
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] フォトニック結晶共振器を用いたSi系電流注入型発光デバイスの作製2009

    • 著者名/発表者名
      深水聖司
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      富山大
    • 年月日
      2009-09-08
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Current-injected Si microdisk with Ge self-assembled quantum dots (invited talk)2009

    • 著者名/発表者名
      夏金松
    • 学会等名
      the 2nd Photonics and OptoElectronics Meetings (POEM 2009)
    • 発表場所
      Wuhan, China
    • 年月日
      2009-08-10
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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