EBSD法による3次元ナノ空間ひずみ場スキャニング技術の開発と歪シリコンへの応用

• 研究課題/領域番号: 21760086
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 名城大学
• 研究代表者: 來海 博央 名城大学, 理工学部, 教授 (30324453)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• 研究課題ステータス: 完了 (2011年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2011年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円); 2010年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円); 2009年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: EBSD法 / ひずみ測定 / ナノ空間分解能 / 菊池パターン / 弾性変形 / 塑性変形 / シリコン / 銅 / SEM・EBSDその場観察 / ニッケル

研究概要

本研究では, EBSD法を用いたナノ空間分解能での2次元ならびに3次元ひずみスキャニング技術として弾性ならびに塑性ひずみ評価を行った.前者では, SEM内4点曲げ試験機を製作し, Siへ1000μstのひずみを負荷した際の菊池パターンのバンド幅変化を捉え,ひずみ評価の可能性を示した.後者では結晶方位データを用いた塑性ひずみ評価を検討し,塑性ひずみに対して線形的に変化するGRODが有効であった.最後に,シリアルセクショニングとEBSD評価による3次元的な塑性ひずみ評価技術で3次元的な結晶方位回転が観察された.

研究成果

• [学会発表] 引張負荷により生じる塑性ひずみのEBSD評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 伊藤盛生・阿知和秀希・浅岡幸靖・來海博央
  • 学会等名: 日本材料学会東海支部第5回学術講演会
  • 発表場所: 愛知・名城大学名駅サテライト
  • 年月日: 2012-03-05
• [学会発表] 引張負荷による塑性ひずみのEBSD評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 來海博央, 他3名
  • 学会等名: 日本材料学会東海支部第6回学術講演会
  • 発表場所: 名城大学MSAT(愛知県)
  • 年月日: 2012-03-05
• [学会発表] 引張負荷による塑性ひずみのEBSD評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 阿知和秀希・伊藤盛生・藤山一成・來海博央
  • 学会等名: 日本材料学会東海支部第5回学術講演会
  • 発表場所: 愛知・名城大学名駅サテライト
  • 年月日: 2011-03-07
• [学会発表] 引張負荷による塑性ひずみのEBSD評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 來海博央, 他3名
  • 学会等名: 日本材料学会東海支部第5回学術講演会
  • 発表場所: 名城大学MSAT(愛知県)
  • 年月日: 2011-03-07