| 研究課題/領域番号 |
21760094
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
荒井 義和 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20455801)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2010年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2009年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
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| キーワード | 角度計測 / 非分割型光電変換素子 / オートコリメーション法 / 多自由度 / 角度センサ / 位置検出素子 / 高感度 / 高分解能 |
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| 研究概要 |
本研究は、角度計測において一般的に応用されているオートコリメーション法における角度検出感度を向上させるためスポットサイズを小さくすると、光スポットの強度分布の最も強い中心部分が分割型PD隙間に埋もれてしまう事によるS/Nの低下が起こる従来技術の欠点を解消するため、非分割型光電変換素子を用いることによって微小角度変位量の測定が可能な角度センサを提供し、その能力を実証した。
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