研究課題
若手研究(B)
短パルスレーザを用いたレーザアシスト3次元微細配線技術の実現性の把握のため、ポリイミド基板内部に短パルスレーザを照射したところ、数~20μmの無数の微小空洞からなる幅約20~30μm、長さ約250~270μmの改質領域の形成を確認した。基板内部への連続的なマイクロチャンネルの加工には至らなかったものの、無酸素濃度環境下での銀ナノ粒子のレーザ焼結に成功し、マイクロチャンネル内にあるナノ粒子のレーザ焼結の可能性を示した。
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