| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
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| 研究概要 |
マイクロ流体チップ材料として使用される高分子材料ポリジメチルシロキサン(PDMS)は低弾性であるため,切削などの機械加工が困難であった.PDMSはガラス転移点以下で硬化する特性がある.本研究では,PDMS を液体窒素中で硬化させ,微細工具を用いて極低温下で切削する極低温マイクロマシニング法を提案し,PDMSに形状精度の高い複雑3次元形状の微細溝を短時間で加工可能であることを明らかにした.さらに,予変形を援用した極低温マイクロマシニング法を提案し,通常の手法では形成できない曲がり穴や工具径より微細な溝を製作することに成功した.
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