| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2009年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
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| 研究概要 |
ナノデバイスの機能発現には,その構造をナノレベルで解明することが必要不可欠であり,特にin situでのリアルタイムモニタリングによるプロセス制御は,機能発現のメカニズム解明のみならず,結晶成長品質の向上・成長速度の最適化・歩留まりの向上等へと繋がると期待され,ナノレベルのその場計測技術が求められている.本研究ではナノ分子構造・熱物性をその場で測定可能な超高感度近接場蛍光熱顕微鏡を開発し,その妥当性を検証することに成功した.
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