研究課題
若手研究(B)
本研究課題は,工場等の空気圧供給システムの安定化を図り,特に超精密機器に使用される空気ばね式除振台やサーボステージの高精度化・高効率化を実現することを目的として実施した.提案した気体圧力の高速・高精度な制御方法を空気ばね式除振台の供給圧力制御に適用することで,従来方式の減圧弁等と圧力容器を用いた圧力制御方法では影響を回避できない供給圧の変動に対して,影響を回避できることを示した.また,台上サーボステージの移動に伴う除振台の傾斜を回避する空気ばね室内の圧制御方法を提案した.
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日本機械学会論文集C編 76巻764号
ページ: 861-868
計測自動制御学会産業論文集 9巻13号
ページ: 91-97
Precision Engineering Vol.34
ページ: 43-48
10029042235
日本機械学会論文集C編
巻: 76巻764号 ページ: 861-868
計測自動制御学会産業論文集
巻: 9巻13号 ページ: 91-97
自動化技術(韓国) Vo.25、No.29
ページ: 94-101
訂測と制御 Vol.48, No.3
ページ: 274-279
http://www.fit.ac.jp/research/search/research/id/147