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Si-MEMS構造とモノリシックに集積した窒化物光電子デバイスの製作と特性

研究課題

研究課題/領域番号 21760244
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関東北大学

研究代表者

胡 芳仁  東北大学, 大学院・工学科, 助教 (50396545)

研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2011年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2010年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2009年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
キーワードGaN / 結晶成長 / Si / センサ / 微細加工 / Si-MEMS / 光電子デバイス / 窒化物半導体
研究概要

MBE成長方法でシリコンマイクロ構造、平らなシリコン表面またはシリコンMEMS構造の上にナノカラム構造を持つ窒化物量子井戸、量子ドット、LED構造を成長した。ナノコラムの構造で, 高い量子効率と強い発光を観測することができた。そのほか, 本研究では, alGaN/GaN構造の圧電性, 耐高温性を利用し, 高温環境(300℃以上)などでも動作する圧力センサを目標として圧力センサを製作, 評価した。製作したトランジスタの圧力に対する特性を測定できた。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 13件) 学会発表 (1件)

  • [雑誌論文] III-Nitride grating grown on freestanding HfO_2 gratings2011

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, T. Wu, F. R. Hu, Y. Kanamori, H. B. Zhu and K. Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 6 ページ: 497-497

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Comb-drive GaN micro-mirror on a GaN-on-silicon platform2011

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, T. Sasaki, T. Wu, F. R. Hu and K. Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: Vol.21(3) ページ: 35012-35012

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Lateral epitaxial overgrowth of GaN on a patterned GaN-on-silicon substrate by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu and K. Hane
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: Vol.26(4) ページ: 45015-45015

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Patterned growth of InGaN/GaN quantum wells on freestanding GaN grating by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu and K. Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: Vol.6(1) ページ: 117-117

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Patterned growth of InGaN/GaN quantum wells on freestanding GaN grating by molecular beam epitaxy2011

    • 著者名/発表者名
      Y.J.Wang, F.R.Hu, K.Hane
    • 雑誌名

      Nanoscale Research Letters

      巻: 6 ページ: 117-117

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of subwavelength nanostructures on freestanding GaN slab2010

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu, Y. Kanamori, H. Sameshima and K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 18(3) ページ: 2940-2945

    • NAID

      120003728432

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of freestanding circular GaN gratings2010

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu, H. Sameshima and K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: Vol.18(2) ページ: 773-779

    • NAID

      120003728497

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Freestanding GaN slab fabricated on patterned silicon on an insulator substrate2010

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu and K. Hane
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: Vol.20(2) ページ: 27001-27001

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Large area, freestanding GaN nanocolumn membrane with bottom subwavelength nanostructure2010

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu, Y. Kanamori, T. Wu and K. Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: Vol.18(6) ページ: 5504-5511

    • NAID

      120003728410

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Large area, freestanding GaN nanocolumn membrane with bottom subwavelength nanostructure2010

    • 著者名/発表者名
      Yongjin Wang, Fangren Hu, Yoshiaki Kanamori, Tong Wu, Kazuhiro Hane
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 18 ページ: 5504-5511

    • NAID

      120003728410

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Freestanding circular GaN grating fabricated by fast-atom beam etching2009

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu, M. Wakui and K. Hane
    • 雑誌名

      Applied Physics A-Materials Sciences & Processing

      巻: Vol.97 ページ: 39-43

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Freestanding GaN Resonant Gratings at Telecommunication Range2009

    • 著者名/発表者名
      Y. J. Wang, F. R. Hu, M. Wakui and K. Hane
    • 雑誌名

      IEEE Photonics Technology Letters

      巻: Vol.21, 17 ページ: 1184-1186

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] GaN-based nitride semiconductor films deposited on nitrified HfO2/Si substrate by molecular beam epitaxy2009

    • 著者名/発表者名
      F. R. Hu, H. Sameshima, M. Wakui, R. Ito and K. Hane
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: Vol.311, 10 ページ: 2996-2999

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Monolithically integration of GaN light-emitting diode and Si substrate with AlN/GaN superlattice as interlayer2009

    • 著者名/発表者名
      F.R.Hu, M.Wakui, H.Sameshima, R.Ito, K.Hane
    • 学会等名
      2009 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment(MIPE 2009)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center, Ibaraki, Japan
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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