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次世代超高密度記録デバイスのための非線形誘電率顕微鏡による強誘電体薄膜のナノ計測

研究課題

研究課題/領域番号 21760245
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関東北大学

研究代表者

平永 良臣  東北大学, 電気通信研究所, 助教 (70436161)

研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2011年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2010年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2009年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
キーワード走査プローブ顕微鏡 / データストレージ / 誘電体物性 / 走査型プローブ顕微鏡
研究概要

強誘電体薄膜におけるナノスケール分極反転に関する系統的な実験を通じて薄膜作製に対する設計指針を確立し, 高い記録密度で記録再生を行うことが可能な強誘電体薄膜を開発することを目標とする研究を行い, 次の成果を得た.(1)MOCVD法により作製したエピタキシャルLiTaO_3薄膜に対し微小分極反転ドメインの生成を行い, 直径20nm程度の微小な分極反転ドットが人工的に生成可能であることを明らかにした. また, 同記録媒体に対して, 最高で1. 6 Tbit/inch^2の記録密度のドメインドット列の書き込みにも成功した.(2)間欠接触SNDM法を開発し, この手法によって測定再現性が従来法に比べ格段に向上することを実証した. このことにより, 強誘電体薄膜の特性評価において, 従来よりも信頼性の高い分析を行うことが可能となった.(3)HDD型記録再生試験装置を用いて, 記録したビットを直接高速に読みだす実験を行い, 一連の記録・再生動作を連続して行うシングルトラック記録再生に, 強誘電体プローブストレージ方式として初めて成功した.

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (9件)

  • [雑誌論文] Intermittent contact scanning nonlinear dielectric microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      Yoshiomi Hiranaga and Yasuo Cho
    • 雑誌名

      Rev. Sci. Instrum.

      巻: Vol.81No.2

    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Intermittent contact scanning nonlinear dielectric microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      Yoshiomi Hiranaga, Yasuo Cho
    • 雑誌名

      REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 81

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 強誘電体ドメインのナノスケール選択エッチング2011

    • 著者名/発表者名
      平永良臣, 長康雄
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] 強誘電体回転ディスク記録方式におけるシングルトラック記録・再生2011

    • 著者名/発表者名
      木本康宏, 平永良臣, 長康雄
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] 強誘電体ディスクリート記録媒体に関する基礎的研究2011

    • 著者名/発表者名
      隅山直樹, 平永良臣, 長康雄
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] Ferroelectric Super-High Density Data Storage Based on Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy2010

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Cho, Kenkou Tanaka, and Yoshiomi Hiranaga
    • 学会等名
      The 3rd International Symposium on Innovations in Advanced Materials for Optics & Electronics
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2010-10-18
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2010 実績報告書
  • [学会発表] Development of Ferroelectric Data Storage Test System for High-Density and High-Speed Read/Write2009

    • 著者名/発表者名
      Y. Hiranaga, K. Tanaka, T. Uda, Y. Kurihashi, Y. Kimoto, H. Tochishita, M. Kadota, Y. Cho
    • 学会等名
      2009 MRS fall meeting
    • 発表場所
      ボストン
    • 年月日
      2009-12-03
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of Ferroelectric Data Storage Test System for High-Density and High-Speed Read/Write2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Hiranaga, K.Tanaka, T.Uda, Y.Kurihashi, Y.Kimoto, H.Tochishita, M.Kadota, Y.Cho
    • 学会等名
      2009 MRS fall meeting
    • 発表場所
      ボストン(アメリカ合衆国)
    • 年月日
      2009-12-03
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Nano-Domain Formation on Ferroelectrics and Development of HDD-Type Ferroelectric Data Storage Test System2009

    • 著者名/発表者名
      Yoshiomi Hiranaga, Tomoya Uda, Yuichi Kurihashi, Yasuo Cho, Michio Kadota and Hikari Tochisita
    • 学会等名
      21st International Symposium on Integrated Ferroelectrics and Functionalities
    • 発表場所
      コロラドスプリングス
    • 年月日
      2009-09-29
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Nano-Domain Formation on Ferroelectrics and Development of HDD-Type Ferroelectric Data Storage Test System2009

    • 著者名/発表者名
      平永良臣, 夘田知也, 栗橋悠一, 長康雄, 門田道雄, 栃下光
    • 学会等名
      21^<st> International Symposium on Integrated Ferroelectrics and Functionalities
    • 発表場所
      コロラドスプリングス(アメリカ合衆国)
    • 年月日
      2009-09-29
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 強誘電ナノ分極反転とHDD型強誘電体記録デバイスの開発2009

    • 著者名/発表者名
      平永良臣, 夘田知也, 栗橋悠一, 長康雄, 門田道雄, 栃下光
    • 学会等名
      第26回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2009-05-30
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書 2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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