Er添加シリコン微結晶酸化膜による光エミッタの開発

• 研究課題/領域番号: 21760249
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 宇都宮大学
• 研究代表者: 依田 秀彦 宇都宮大学, 工学研究科, 准教授 (30312862)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2010
• 研究課題ステータス: 完了 (2010年度)
• 配分額: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円); 2010年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2009年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
• キーワード: シリコン / 光エミッタ / シリコン酸化膜

研究概要

Er添加シリコン酸化膜SiOx:Erをスパッタ成膜し、特性評価を行った。酸素ガス流量割合と基板温度の成膜条件によって、SiOx:Er膜の組成とバンドギャップエネルギーを制御できることを見出した。続いてEr添加シリコン光エミッタの試作とPL測定を行った。1534nmのPL発光を確認し、スパッタ成膜によるSiOx:Erが光エミッタ材料となる可能性を実験的に検証した。

研究成果

• [雑誌論文] High-Index-Layer Coating on a Lensed Fiber Endface for Enhanced Focusing Power (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Shiraishi, N.Kawasaki, H.Yoda, K.Watanabe, M.Umetsu, T.Hitomi, K.Muro
  • 雑誌名: J.Lightwave Technol. vol.27, no.7 ページ: 864-870
• [雑誌論文] A Two-Port Single Mode Fiber-Silicon Wire Waveguide Coupler Module Using Spot Size Converters (2009)
  • 著者名/発表者名: H.Yoda, K.Shiraishi, H.Furuhashi, A.Ohshima, H.Tsuchiya, C.S.Tsai
  • 雑誌名: J.Lightwave Technol. vol.27, no.10 ページ: 1315-1319
• [学会発表] a-Si:D/SiO_2多層膜波長可変フィルタチップの応答評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 田代拓也, 依田秀彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会東京支部学生会研究発表会 講演番号175
  • 発表場所: 東京電機大学(東京)
  • 年月日: 2011-03-12
• [学会発表] a-Si:D/SiO2多層膜 波長可変フィルタチップの応答評価 (2011)
  • 著者名/発表者名: 田代拓也, 依田秀彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会東京支部学生会研究発表会
  • 発表場所: 東京電機大学
  • 年月日: 2011-03-12
• [学会発表] Miniaturized Spot Size Converters for Coupling between Single-Mode Optical Fibers and Silicon Photonic Circuits (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Shiraishi, H.Yoda, C.Tsai
  • 学会等名: 16th Microoptics Conference (MOC'10) TB2
  • 発表場所: The Ambassador Hotel (Hsinchu, Taiwan)
  • 年月日: 2010-11-02
• [学会発表] a-Si:D/SiO_2多層膜を用いたマルチキャビティ型チューナブルバンドパスフィルタ (2010)
  • 著者名/発表者名: 四ノ宮寛, 晴山貴行, 依田秀彦
  • 学会等名: 信学総大 C-3-52
  • 発表場所: 東北大学(仙台市)
  • 年月日: 2010-03-18
• [学会発表] a-Si:D/SiO_2多層膜を用いたマルチキャビティ型チューナブルバンドパスフィルタ (2010)
  • 著者名/発表者名: 四ノ宮寛, 晴山貴行, 依田秀彦
  • 学会等名: 信学総大
  • 発表場所: 東北大学
  • 年月日: 2010-03-18
• [学会発表] Miniaturized Spot Size Converters for Coupling between Single-Mode Optical Fibers and Silicon Photonic Circuits (2010)
  • 著者名/発表者名: K.Shiraishi, H.Yoda, C.Tsai
  • 学会等名: 16th Microoptics Conference (MOC'10)
  • 発表場所: Hsinchu, Taiwan