| 研究課題/領域番号 |
21760250
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
森田 剛 東京大学, 大学院・新領域創成科学研究科, 准教授 (60344735)
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| 研究期間 (年度) |
2009 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2010年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2009年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 波動利用工学 / 超音波 / 圧電薄膜 / 波動応用工学 |
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| 研究概要 |
柔軟な圧電性フィルムは医療用超音波振動子、エネルギー発電デバイス等に有効であるが、従来はそのようなフレキシブルな圧電材料を製作するのは困難であった。本研究では、チタン薄膜をプラスチック基板(PEEK)上に電子ビームで蒸着し、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)の圧電薄膜を、超音波アシスト水熱法により成膜した。この手法を開発することにより、柔軟・軽量な圧電トランスデューサを実現できることを示した。
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