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球状シリコン上GaNのヘテロエピタキシーと高出力LEDの研究

研究課題

研究課題/領域番号 21760258
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関芝浦工業大学

研究代表者

石川 博康  芝浦工業大学, 工学部, 准教授 (20303696)

研究期間 (年度) 2009 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
キーワード結晶成長 / 電子デバイス・機器 / ナノ材料 / マイクロ・ナノデバイス / 窒化ガリウム(GaN) / 有機金属気相成長(MOCVD) / 球状Si / ドロップレット / 窒化ガリウムインジウム(GaInN) / 多重量子井戸
研究概要

球状という新しい形状のGaN系LEDの作成に向けて、半導体形成技術とのマッチングに関する研究を行った。Si(100)を支持基板とし、低融点鉛ガラスにより球状Siの着脱試験を行い、良好な結果を得た。また、Si 基板上LED に使用している発光層の発光特性とその微細構造形状との相関性について研究を行った。多数の欠陥に起因したピラミッド状の微細構造が観察され、発光の強い場所と弱い場所に特徴があることがわかった。

報告書

(3件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (7件)

  • [雑誌論文] Reduction of threading dislocations in GaN on in-situ metlback-etched Si substrates2011

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, K.Shimanaka
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth Vol.315

      ページ: 196-199

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reduction of threading dislocations in GaN on in-situ meltback-etched Si substrates2011

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, K.Shimanaka
    • 雑誌名

      J.Crystal Growth

      巻: 315 ページ: 196-199

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved MOCVD growth of GaN on Si-on-porous-silicon substrates2010

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, K.Shimanaka, M.Azfar bin M.Amir, Y.Hara, M.Nakanishi
    • 雑誌名

      phys.stat.solidi C Vol.7

      ページ: 2049-2051

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved MOCVD growth of GaN on Si-on-porous-silicon substrates2010

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, K.Shimanaka, M.Azfar bin M.Amir, Y.Hara, M.Nakanishi
    • 雑誌名

      Phys.Status Solidi

      巻: C7 ページ: 2049-2051

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Reduction of threading dislocations in GaN on In-Situ Meltback-Etched Si Substrates2010

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, K.Shimanaka
    • 学会等名
      15th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE XV)
    • 発表場所
      Incline Village (NV, USA)
    • 年月日
      2010-05-28
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Reduction of threading dislocations in GaN on in-situ meltback-etched Si substrates2010

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, K.Shimanaka
    • 学会等名
      15th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy
    • 発表場所
      Incline Village, NV, USA
    • 年月日
      2010-05-28
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] PL and structuralstudies of GaInN MQWs grown on Si substrates2010

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, N.Mori
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices
    • 発表場所
      Beijing (China)
    • 年月日
      2010-05-21
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Reduction of threading dislocations in GaN on in-situ meltback-etched Si substrates2010

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, N.Mori
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Semiconductor Light Emitting Devices
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 年月日
      2010-05-21
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Si基板上GaInN MQWのPL特性と微細構造の相関2010

    • 著者名/発表者名
      石川博康、森直人
    • 学会等名
      2010年春季第57回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Improved MOCVD growth of GaN on Si-on-porous-silicon sbstrates2009

    • 著者名/発表者名
      H.Ishikawa, K.Shimanaka, M.Azfar bin M.Amir, Y.Hara M.Nakanishi
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 発表場所
      済州(韓国)
    • 年月日
      2009-10-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] デンドライトウェブSi基板上GaInN MQW LEDの試作2009

    • 著者名/発表者名
      石川博康、森直人、嶋中啓太、原陽介、中西正美
    • 学会等名
      2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-11
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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