QCDモデルに基づくマルチチャンバ装置および生産ラインの運用・設計方法

• 研究課題/領域番号: 21760303
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: システム工学
• 研究機関: 筑波大学
• 研究代表者: 有馬 澄佳 筑波大学, システム情報系, 講師 (60400644)
• 研究期間 (年度): 2009 – 2011
• 研究課題ステータス: 完了 (2011年度)
• 配分額: 6,724千円 (直接経費: 5,172千円、間接経費: 1,551千円); 2011年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2010年度: 2,174千円 (直接経費: 1,672千円、間接経費: 501千円); 2009年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: システム工学 / 数理工学 / 統合的生産システム / QCD / 生産スケジューリング / マルチチャンバ装置 / 品質推定 / 予測 / 生産性

研究概要

本研究では、半導体製造等の微細加工を要する製造装置・生産ラインの管理において、良品のスループットを最大化する工場内物流の管理方法と装置・生産ラインの設計方法を研究することを目的とした。ブロッキングを考慮した待ち行列とTOCを用いたマルチチャンバ装置内部の物流適正化方法を提案し実工場で応用された。また、品質保証時間を考慮して多品種生産の良品スループット向上と装置稼動率向上を同時に達成し設備総合効率を1.4倍以上向上する管理方法を考案した。

研究成果

• [雑誌論文] DEVELOPMENT OF SEQUENTIAL ASSOCIATION RULES FOR PREVENTING MINOR-STOPPAGES IN SEMI-CONDUCTOR MANUFACTURING (2012)
  • 著者名/発表者名: S. ARIMA, U. Sumita, J. Yoshii
  • 雑誌名: Proceedings of International conference on Operations Research and Enterprise Systems 巻: No.29 ページ: 1-8
  • 査読あり
• [雑誌論文] Virtual Metrology-based Engineering Chain Management by Multi-classification of Quality using Support Vector Machine for Semiconductor Manufacturing (2011)
  • 著者名/発表者名: Sumika ARIMA
  • 雑誌名: International Journal of Industrial and Systems Engineering No.8 Vol.1, Inderscience publisher 巻: 8 号: 1 ページ: 1-8
  • DOI: 10.1504/ijise.2011.040763
  • 査読あり
• [雑誌論文] Virtual Metrology-based Engineering Chain Management by Multi-classification of Quality using Support Vector Machine for Semiconductor Manufacturing (2011)
  • 著者名/発表者名: Sumika ARIMA
  • 雑誌名: International Journal of Industrial and Systems Engineering 巻: No.7 Vol.5(頁番号未定) ページ: 1-18
  • 査読あり
• [雑誌論文] Virtual Metrology-based Engineering Chain Management by Multi-classification of Quality using Support Vector Machine for Semiconductor Manufacturing. (2010)
  • 著者名/発表者名: Sumika Arima
  • 雑誌名: International Journal of Industrial and Systems Engineering Vol.7 No.2
  • 査読あり
• [雑誌論文] Organized DFM for Total Optimization in Semiconductor Manufacturing (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Sato, M. Honma, H. Itoh, N. Iriki, S. Kobayashi, S. Kuwabara, N. Miyazaki, H. Suzuki, N. Yoshioka, S. Arima, K. Kadota
  • 雑誌名: Proceedings of AEC/APC symposium Asia 2009
  • 査読あり
• [雑誌論文] Organized DFM Proceedings of Symposium on Photomask and NGL Mask Technology XVI (PMJ2009) (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Sato, M. Honma, H. Itoh, N. Iriki, S. Kobayashi, S. Kuwabara, N. Miyazaki, H. Suzuki, N. Yoshioka, S. Arima, K. Kadota
  • 雑誌名: The International Society for Optical Engineering 巻: 7379-112 ページ: 1-6
  • 査読あり
• [学会発表] DEVELOPMENT OF SEQUENTIAL ASSOCIATION RULES FOR PREVENTING MINOR-STOPPAGES (2012)
  • 著者名/発表者名: Sumika Arima, Ushio Sumita, Jun Yoshii
  • 学会等名: 1st International Conference on Operations Research and Enterprise Systems
  • 発表場所: Tivoli Victoria Hotel Vilamoura, Portugal
  • 年月日: 2012-02-05
• [学会発表] DEVELOPMENT OF SEQUENTIAL ASSOCIATION RULES FOR PREVENTING MINOR-STOPPAGES IN SEMI-CONDUCTOR MANUFACTURING (2012)
  • 著者名/発表者名: S. ARIMA, U. Sumita, J. Yoshii
  • 学会等名: International conference on Operations Research and Enterprise Systems
  • 発表場所: Algarve, Portugal
• [学会発表] Organized DFM for Total Optimization in Semiconductor Manufacturing (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Sato, M. Honma, H. Itoh, N. Iriki, S. Kobayashi, S. Kuwabara, N. Miyazaki, H. Suzuki, N. Yoshioka, S. Arima, K. Kadota
  • 学会等名: Proceedings of AEC/APC symposium Asia 2009
  • 発表場所: 東京都・神田一ツ橋記念講堂
  • 年月日: 2009-11-09
• [学会発表] Organized DFM for total optimization in semiconductor manufa cturing (2009)
  • 著者名/発表者名: Takashi SATO
  • 学会等名: AEC/APC symposium Asia 2009
  • 発表場所: 東京・学術総合センター
  • 年月日: 2009-11-09
• [学会発表] Organized DFM, Proceedings of Symposium on Photomask and NGL Mask Technology XVI (PMJ2009) (2009)
  • 著者名/発表者名: T.Sato, M. Honma, H. Itoh, N. Iriki, S. Kobayashi, S. Kuwabara, N. Miyazaki, H. Suzuki, N. Yoshioka, S. Arima, K. Kadota
  • 学会等名: The International Society for Optical Engineering
  • 発表場所: 神奈川県・パシフィコ横浜
• [備考]
  • URL: https://sites.google.com/site/3f716arimalab/contact
• [産業財産権] 最適指標生成装置 (2011)
  • 発明者名: 有馬澄佳, 山崎雄大
  • 権利者名: 有馬澄佳(筑波大学)
  • 産業財産権番号: 2011-146687
  • 出願年月日: 2011-06-30