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超低電位プラズマを用いた高機能な有機系材料表面の創製と評価

研究課題

研究課題/領域番号 21760587
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 材料加工・処理
研究機関大阪大学

研究代表者

竹中 弘祐  大阪大学, 接合科学研究所, 助教 (60432423)

研究期間 (年度) 2009 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2010年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2009年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワードプラズマ処理・レーザー加工 / 機能性表面 / 表面改質・加工 / 有機系材料 / 超低電位プラズマ / 有機/プラズマ反応機構 / 機能性材料 / 表面処理 / 有機 / プラズマ反応機構
研究概要

有機系材料の高性能化・高機能化技術、また革新的な有機系材料創製技術を実現に目指して、超低電位プラズマ源を用いた有機系材料表面の改質と、物理的・化学的特性の解析を行った。その結果、イオン・ラジカル・光を制御することにより、15nm程度の深部の分子構造への損傷を抑制した状態で、表面ナノ領域のみに酸素官能基の付与が可能であること、また、最表面でのマクロな構造を制御可能であることが明らかとなった。

報告書

(3件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2010 2009 その他

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件) 学会発表 (9件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Combinatorial Analysis of Plasma-Surface Interactions of Polyethyleneterephthalate with X-ray Photoelectron Spectroscopy2010

    • 著者名/発表者名
      K.Takenaka, Y.Setsuhara, K.Cho, M.Shiratani, M.Sekine M.Hori
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 49

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Advanced Research and Development for Plasma Processing of Polymers with Combinatorial Plasma-Process Analyzer,2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, M.Shiratani, M.Sekine M.Hori
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: 6320-6324

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-damage surface modification of polymethylmethacrylate with argon.oxygen mixture plasmas driven by multiple low-inductance antenna units,2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori, E.Ikenaga, S.Zaima,
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: 3561-3565

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Combinatorial Analysis of Plasma-Surface Interactions of Polyethyleneterephthalate with X-ray Photoelectron Spectroscopy2010

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Takenaka
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: Vol.49

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Advanced Research and Development for Plasma Processing of Polymers with Combinatorial Plasma-Process Analyzer2010

    • 著者名/発表者名
      Yuichi Setsuhara, Ken Cho, Kosuke Takenaka
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: Vol.518 ページ: 6320-6324

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-damage Surface Modification of Polymethylmethacrylate with Argon-oxygen Mixture Plasmas Driven by Multiple Low-inductance Antenna Units2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: 3561-3565

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Plasma Surface Treatment of Polymers with Inductivity Coupled RF Plasmas Driven by Low inductance Antenna Units,2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara, K.Cho, K.Takenaka, A.Ebe, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori, E.Ikeitaga, H.Kondo, O.Nakatsuka, S.Zaima
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: 1006-1011

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Plasma Surface Treatment of Polymers with Inductivity Coupled RF Plasmas Driven by Low inductance Antenna Units2009

    • 著者名/発表者名
      Y.Setsuhara
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 518

      ページ: 1006-1011

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] X線光電子分光によるプラズマーソフト材料相互作用の解析-UV-VUV領域の発光がナノ表面に及ぼす影響-2010

    • 著者名/発表者名
      趙研, 節原裕一, 竹中弘祐
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学文教キャンパス(長崎県)
    • 年月日
      2010-09-14
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスによる無機/有機ハイブリッド積層構造の形成2010

    • 著者名/発表者名
      竹中弘祐
    • 学会等名
      応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 低温・低ダメージプラズプロセスの開発に向けたプラズマ・ポリマー相互作用のナノ表面解析2010

    • 著者名/発表者名
      趙研
    • 学会等名
      応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスの開発に向けたX線光電子分光を用いたプラズマ-ポリマー相互作用の解析2010

    • 著者名/発表者名
      趙研
    • 学会等名
      第27回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 年月日
      2010-02-02
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Effects of Photoemissions in UV and VUV Regions on Nano-Surface Structures of Soft Materials during Plasma Processes2010

    • 著者名/発表者名
      K.Cho, K.Takenaka, Y.Setsuhara, M.Shiratani, M.Sekine, M.Hori
    • 学会等名
      7th International Conference on Reactive Plasmas, 28th Symposium on Plasma Processing and 63rd Gaseous Electronics Conference (ICRP-7/SPP-28/GEC-63)
    • 発表場所
      Maison de la Chimie, Paris, France
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] X線光電子分光によるプラズマーソフト材料相互作用の解析-UV-VUV領域の発光がナノ表面に及ぼす影響-2010

    • 著者名/発表者名
      趙研、節原裕一、竹中弘祐、白谷正治、関根誠、堀勝
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学文教キャンパス
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 低温・低ダメージプラズプロセスの開発に向けたプラズマ・ポリマー相互作用のナノ表面解析2010

    • 著者名/発表者名
      趙研、竹中弘祐、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスによる無機/有機ハイブリッド積層構造の形成2010

    • 著者名/発表者名
      竹中弘祐、趙研、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 低温・低ダメージプラズマプロセスの開発に向けたX線光電子分光法を用いたプラズマ-ポリマー相互作用の解析2010

    • 著者名/発表者名
      趙研、竹中弘祐、節原裕一、白谷正治、関根誠、堀勝、池永英司、中塚理、財満鎭明
    • 学会等名
      第27回プラズマプロセシング研究会
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考] ホームページ等

    • URL

      http://www.jwri.osaka-u.ac.jp/~dpt2/index.html

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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