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加速レンズ系による負の収差の制御技術に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 21760709
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 原子力学
研究機関独立行政法人日本原子力研究開発機構

研究代表者

大久保 猛  独立行政法人日本原子力研究開発機構, 放射線高度利用施設部, 研究員 (40446456)

研究期間 (年度) 2009 – 2011
研究課題ステータス 完了 (2011年度)
配分額 *注記
3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2011年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2010年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2009年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
キーワード放射線工学 / ビーム科学 / 加速器 / 量子ビーム / イオンビーム / ナノビーム / 加速レンズ
研究概要

ナノテク分野での微細加工ツールとして切望されているガスイオンナノビームの普及に不可欠な装置の小型化を実現すべく、加速レンズ系内に減速レンズを挿入することによってビーム径の縮小化に有効である収差を制御する技術を開発した。

報告書

(4件)
  • 2011 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2010 実績報告書
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (7件)

  • [雑誌論文] Theoretical Approach Of The Reduction Of Chromatic And Spherical Aberrations In An Acceleration Lens System For Hundreds Of keV Gaseous Ion Nanobeam2011

    • 著者名/発表者名
      T. Ohkubo, Y. Ishii and T. Kamiya
    • 雑誌名

      AIP Conference Proceedings

      巻: vol.1336 ページ: 176-180

    • DOI

      10.1063/1.3586083

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ガスイオンナノビーム形成のための300kV小型装置の構築2011

    • 著者名/発表者名
      大久保猛
    • 学会等名
      日本原子力学会2011年秋の大会
    • 発表場所
      福岡県北九州市
    • 年月日
      2011-09-21
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書 2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Theoretical Approach of the Reduction of Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for Gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam2010

    • 著者名/発表者名
      Takeru Ohkubo
    • 学会等名
      21st International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry(CAARI2010)
    • 発表場所
      Fort Worth, Texas, USA
    • 年月日
      2010-08-10
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] Theoretical Approach of the Reduction of Chromatic and Spherical Aberrations in an Acceleration Lens System for Gas-FIB to Form Gaseous Nanobeam2010

    • 著者名/発表者名
      Takeru Ohkubo
    • 学会等名
      21st International Conference on the Application of Accelerators in Research and Industry (CAARI2010)
    • 発表場所
      Fort Worth, Texas, USA
    • 年月日
      2010-08-10
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 300kV小型ガスイオンナノビーム形成装置のレンズ系開発2010

    • 著者名/発表者名
      大久保猛
    • 学会等名
      日本物理学会第65回年次大会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2010-03-21
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] 300kV小型ガスイオンナノビーム形成装置のレンズ系開発2010

    • 著者名/発表者名
      大久保猛
    • 学会等名
      日本物理学会 第65回年次大会
    • 発表場所
      岡山大学
    • 年月日
      2010-03-21
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] ガスイオンナノビーム形成装置小型化のための加速管一体型レンズ系開発2009

    • 著者名/発表者名
      大久保猛
    • 学会等名
      日本原子力学会2009年秋の大会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2009-09-17
    • 関連する報告書
      2011 研究成果報告書
  • [学会発表] ガスイオンナノビーム形成装置小型化のための加速管一体型レンズ系開発2009

    • 著者名/発表者名
      大久保猛
    • 学会等名
      日本原子力学会 2009年秋の大会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2009-09-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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