研究課題
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本研究課題は,高熱流束徐熱を背景に,合体沸騰気泡底部の液膜構造と徐熱メカニズムを解明することを目的とした.始めにMEMS伝熱面の設計パラメータを求めるために,気泡の成長を2次元に拘束した極小伝熱面を設計製作し,そこでの沸騰実験を行った.次にマクロ液膜の生成を実現するMEMS伝熱面を開発した.MEMS伝熱面には1)薄膜ヒータ,2)発泡トリガ,3)薄膜微小熱電対,が加工されている.これを用いて2つの沸騰気泡を発生させ,合体を確認した.
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