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Ti系酸化膜を用いた抵抗変化型メモリの化学結合状態と抵抗変化現象の相関の解明

研究課題

研究課題/領域番号 21860062
研究種目

研究活動スタート支援

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関広島大学

研究代表者

大田 晃生  広島大学, 大学院・先端物質科学研究科, 研究員 (10553620)

研究期間 (年度) 2009 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
2,626千円 (直接経費: 2,020千円、間接経費: 606千円)
2010年度: 1,235千円 (直接経費: 950千円、間接経費: 285千円)
2009年度: 1,391千円 (直接経費: 1,070千円、間接経費: 321千円)
キーワード抵抗変化型メモリ / メモリデバイス / 絶縁膜技術 / 光電子分光 / 化学結合状態分析
研究概要

TiO_2を用いたMIMキャパシタにおいて、ノンポーラ型の抵抗変化スイッチング動作を確認し、電圧印加による抵抗変化後、放射光を用いた光電子分光分析からPt/TiO_2界面での酸化・還元反応が抵抗変化動作に重要であることを明らかにした。また、TiO_2への元素添加が化学結合状態やエネルギーバンド構造に与える影響を評価し、TiO_2中へのY添加により動作電圧のばらつき改善など安定した抵抗変化動作を実現した。

報告書

(3件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 研究成果

    (21件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (18件)

  • [雑誌論文] Evaluation of Chemical Structure and Resistance Switching Characteristics of Undoped Titanium Oxide and Titanium -Yttrium mixed Oxide2011

    • 著者名/発表者名
      Akio Ohta, Yuta Goto, Guobin Wei, Hideki Murakami, Seiichiro Higashi, Seiichi Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics to be published.

    • NAID

      210000071438

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The Impact of Y Addition into TiO_2 on Electronic States and Resistive Switching Characteristics2011

    • 著者名/発表者名
      Akio Ohta, Yuta Goto, Mohd Fairuz Kazalman, Guobin Wei, Hideki Murakami, Seiichiro Higashi, Seiichi Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 50 to be published.

      ページ: 5-5

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The Impact of Y Addition into TiO_2 on Electronic States and Resistive Switching Characteristics2011

    • 著者名/発表者名
      Akio Ohta
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: (掲載決定)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Ru添加したTiY_xO_yの抵抗変化特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      大田晃生, 後藤優太, 三嶋健斗, Goubin Wei, 村上秀樹, 東清一郎, 宮崎誠一
    • 学会等名
      平成23年春季第58回応用物理学関係連合講演会,25a-BZ-6,06-119
    • 発表場所
      神奈川,厚木,神奈川工科大学 文教キャンパス
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Impact of Y_2O_3 Addition of Chemical Bonding Features and Resistance Switching of TiO_22011

    • 著者名/発表者名
      Akio Ohta, Yuta Goto, Guobin Wei, Hideki Murakami, Seiichiro Higashi, Seiichi Miyazaki
    • 学会等名
      2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices (IWDTF), P-40, pp. 113-114
    • 発表場所
      Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Impact of Y_2O_3 Addition of Chemical Bonding Features and Resistance Switching of TiO_22011

    • 著者名/発表者名
      Akio Ohta
    • 学会等名
      2011 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices (IWDTF)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Ru添加したTiY_x O_yの抵抗変化特性評価2011

    • 著者名/発表者名
      大田晃生
    • 学会等名
      平成23年春季 第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川,厚木
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] TiO_2へのY添加が電子状態および抵抗変化特性に与える影響2010

    • 著者名/発表者名
      大田晃生, 後藤優太, モハマド ファイルズ カマルザン, 村上秀樹, 東清一郎, 宮崎誠一
    • 学会等名
      電気通信情報学会(SDM)[シリコン材料・デバイス]シリコンテクノロジー分科会6月度合同研究会SDM2010-38 pp.27-32
    • 発表場所
      東京、東京大学駒場リサーチキャンパス生産技術研究所
    • 年月日
      2010-06-22
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] TiO_2へのY添加が電子状態および抵抗変化特性に与える影響2010

    • 著者名/発表者名
      大田晃生
    • 学会等名
      電気通信情報学会(SDM)シリコンテクノロジー分科会 6月度合同研究会
    • 発表場所
      目黒、東京
    • 年月日
      2010-06-22
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] TiY_xO_y膜の化学結合状態分析および抵抗変化特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      大田晃生
    • 学会等名
      平成31年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川県 平塚市
    • 年月日
      2010-03-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] TiO_2/Pt界面における化学結合状態分析と抵抗変化特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      後藤優太
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会 第14回研究会
    • 発表場所
      静岡県 三島市
    • 年月日
      2010-01-22
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] The Impact of Y_O_3 Addition into TiO_2 On Electronic States and Resistive Switching Characteristics2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ohta, Y.Goto, G.Wei, K.Makihara, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 学会等名
      23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010), 11B-6-2
    • 発表場所
      Rihga Royal Hotel Kokura, Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Chemical Bonding Features at TiO_2/Pt Interface and Their Impact on Resistance-Switching Properties2010

    • 著者名/発表者名
      後藤優太, 大田晃生, 村上秀樹, 東清一郎, 宮崎誠一
    • 学会等名
      The 2010 (International Meeting for Future of Electror Devices, Kansai (IMFEDK), PB-4 p. 114
    • 発表場所
      Kansai University Centenary Memorial Hall, Osaka, Japan
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] TiY_xO_y膜の化学結合状態分析および抵抗変化特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      大田晃生, モハマドファイルズカマルザン, 後藤優太, 村上秀樹, 東清一郎, 宮崎誠一
    • 学会等名
      平成21年春季第57回応用物理学関係連合講演会,20a-TQ-40,6-221
    • 発表場所
      神奈川、平塚、東海大学湘南キャンパス
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] TiO_2/Pt界面における化学結合状態分析と抵抗変化特性評価2010

    • 著者名/発表者名
      後藤優太, 貫目大介, 大田晃生,尉国浜, 村上秀樹, 東清一郎, 宮崎誠一
    • 学会等名
      ゲートスタック研究会第15回研究会極薄シリコン酸化膜の形成・評価・信頼性,P-26, pp.209-213
    • 発表場所
      静岡、三島、東レ総合研修センター
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] The Impact of Y_2 O_3 Addition into TiO_2 on Electronic States and Resistive Switching Characteristics2010

    • 著者名/発表者名
      A.Ohta
    • 学会等名
      23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Chemical Bonding Features at TiO_2/Pt Interface and Their Impact on Resistance-Switching Properties2010

    • 著者名/発表者名
      Yuta Goto
    • 学会等名
      The 2010 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK)
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] X線光電子分光法によるTiO_2/Pt界面の化学結合状態分析2009

    • 著者名/発表者名
      後藤優太
    • 学会等名
      平成20年秋季第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山県 富山市
    • 年月日
      2009-09-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] TiO_2/Pt界面の化学結合および電子状態評価2009

    • 著者名/発表者名
      後藤優太、大田晃生、貫目大介、尉国浜、村上秀樹、東清一郎、宮崎誠一
    • 学会等名
      電気通信情報学会(SDM)[シリコン材料・デバイス]シリコンテクノロジー分科会6月度合同研究会,SDM2009-44,pp.99-103
    • 発表場所
      東京、東京大学駒場リサーチキャンパス生産技術研究所
    • 年月日
      2009-06-19
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] TiO_2/Pt界面の化学結合および電子状態評価2009

    • 著者名/発表者名
      後藤優太
    • 学会等名
      電気通信情報学会(SDM)[シリコン材料・デバイス] シリコンテクノロジー分科会 6月度合同研究会
    • 発表場所
      東京都 目黒区
    • 年月日
      2009-06-19
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] X線光電子分光法によるTiO_2/Pt界面の化学結合状態分析2009

    • 著者名/発表者名
      後藤優太, 貫目大介, 大田晃生, 尉国浜, 村上秀樹, 東清一郎, 宮崎誠一
    • 学会等名
      2009年第70回秋季応用物理学会学術講演会,9a-H-4, p.550
    • 発表場所
      富山、富山大学
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書

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公開日: 2009-04-01   更新日: 2016-04-21  

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