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低温プラズマ高速反応流れ場を用いたナノ複合材料膜の超精密構造制御

研究課題

研究課題/領域番号 21H01076
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分14030:プラズマ応用科学関連
研究機関名城大学

研究代表者

内田 儀一郎  名城大学, 理工学部, 教授 (90422435)

研究分担者 茂田 正哉  東北大学, 工学研究科, 教授 (30431521)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
2023年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2022年度: 6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2021年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
キーワード低温プラズマプロセス / プラズマ流れ反応場 / ナノ複合材料 / Liイオン電池 / ゲルマニウム / ナノ粒子プラズマプロセス / 反応性流れ場 / ナノ粒子プラズマロセス / 反応流れ場
研究開始時の研究の概要

電気自動車の長距離走行を可能とする次世代の高性能Liイオン電池の実現には、ナノ材料膜の構造制御が必要不可欠である。この課題に対し本研究では、低温プラズマ流れ場をキーパラメータとした新規プラズマプロセスにより、ナノ構造が精密に制御されたナノ複合材料膜をシングルステップで作製する。その実現のために、低温プラズマ中のガス流速を低速から高速まで系統的に制御し、ナノ複合材料膜の微細形態と多孔度を定量的に評価する。その結果に基づき最終的にナノ構造制御のための学術モデルを提案する。さらに発展として、新規プラズマプロセスで作製したGe/Snナノ複合材料を負極に用いて、高容量・低劣化Liイオン電池を実証する。

研究成果の概要

本研究の目的は低温プラズマ流れ反応場を用いて、ナノ材料膜の微細構造を制御することにある。プラズマ反応場のガス流量(流速)を変えることによりGeナノ粒子の粒径を40~100 nmの範囲で制御できた。また、2つのプラズマ流れを持つ反応場において、低ガス流速ではGeSnナノ粒子が凝集したナノ構造膜が、一方、300 sccm以上の高ガス流速では、直径100ミクロン程度のナノピラーが規則的に配列した特異的なナノ構造膜が形成された。発展としてGeナノ構造膜上をCナノ構造膜でキャップしたC/Ge/C積層膜を負極とするLiイオン電池で、90サイクル後にカーボン負極の約3倍の910 mAh/gを実証した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

Liイオン電池の高容量負極の実現において、負極材料の物性に加え、膜の微細構造が電池性能を左右する重要因子となっている。本研究では低温プラズマ流れ反応場を用いて様々なナノ構造膜負極を作製し、最終的にLiイオン電池で90サイクル後にカーボン負極の約3倍の910 mAh/gを実証した。この研究成果の学術的意義は、低温プラズマ流れ反応場を用いてナノ構造膜の形態を多彩に制御できることを見出した点にある。また、この知見をLiイオン電池負極膜に展開し、実際に高容量と低劣化を達成した。この電池の実証はカーボンニュートラル社会の実現に貢献するものであり、社会的にも意義がある研究成果である。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (41件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (35件) (うち国際学会 18件、 招待講演 5件)

  • [雑誌論文] Development of nanostructured Ge/C anodes with a multistacking layer fabricated via Ar high-pressure sputtering for high-capacity Li<sup>+</sup>-ion batteries2024

    • 著者名/発表者名
      Omae Tomoki、Yamada Teruya、Fujikake Daiki、Kozawa Takahiro、Uchida Giichiro
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 17 号: 2 ページ: 026001-026001

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ad2785

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Fabrication of amorphous LiPON, LiAlGePO, and GeSn films in low-temperature plasma sputtering process for all-solid-state Li+-ion battery2023

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Yuma Habu, Junki Hayashi, Kenta Nagai, Yumiko Ikebe
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: SL ページ: SL1010-SL1010

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acd55d

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Single-step fabrication of fibrous Si/Sn composite nanowire anodes by high-pressure He plasma sputtering for high-capacity Li-ion batteries2023

    • 著者名/発表者名
      Uchida Giichiro、Masumoto Kodai、Sakakibara Mikito、Ikebe Yumiko、Ono Shinjiro、Koga Kazunori、Kozawa Takahiro
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 13 号: 1 ページ: 14280-14280

    • DOI

      10.1038/s41598-023-41452-3

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Low-Temperature and High-Speed Fabrication of Nanocrystalline Ge Films on Cu Substrates Using Sub-Torr-Pressure Plasma Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida,Kenta Nagai,Ayaka Wakana,Yumiko Ikebe
    • 雑誌名

      IEEE Open Journal of Nanotechnology

      巻: 3 ページ: 153-158

    • DOI

      10.1109/ojnano.2022.3221462

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Nanostructured Ge and GeSn films by high-pressure He plasma sputtering for high-capacity Li ion battery anodes2022

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kenta Nagai, Yuma Habu, Junki Hayashi, Yumiko Ikebe, Mineo Hiramatsu, Ryota Narishige, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara
    • 雑誌名

      Scientifc Reports

      巻: 12 号: 1 ページ: 17421-12

    • DOI

      10.1038/s41598-022-05579-z

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Morphological control of nanostructured Ge films in high Ar-gas-pressure plasma sputtering process for Li ion batteries2021

    • 著者名/発表者名
      Junki Hayashi, Kenta Nagai, Yuma Habu, Yumiko Ikebe, Mineo Hiramatsu, Ryota Narishige, Naho Itagaki, Masaharu Shiratani, Yuichi Setsuhara, Giichiro Uchida
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SA ページ: SA1002-SA1002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac2b7b

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 高圧Heスパッタリングを用いたSi/Snナノワイヤーの生成・構造制御と高容量Liイオン電池の実証2024

    • 著者名/発表者名
      益本 幸泰, 花井 稜, 小野 晋次郎, 古閑 一憲, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第41回プラズマプロセシング研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 高圧スパッタリングGe/Cナノ複合膜の次世代高容量Liイオン電池負極への応用2024

    • 著者名/発表者名
      大前 知輝, 花井 稜, 益本 幸泰, 石原 雅之, 中田 智久, 丹羽 亮斗, 横井 玲音, 藤掛 大貴, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of Ge/C composite film for Li-ion battery in the co-sputtering process2024

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Omae, Ryo Hanai, Kodai Masumoto, Masayuki Ishihara, Tomohisa Nakada, Ryoto Niwa, Reon Yokoi, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      ISPlasma2024
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Crystallinity control of LiTiO thin films for Li ion batteries by RF plasma sputtering2024

    • 著者名/発表者名
      Ryoto Niwa, Ryo Hanai, Kodai Masumoto, Masayuki Ishihara, Tomoki Omae, Tomohisa Nakada, Reon Yokoi, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      ISPlasma2024
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of GeSn anode film for Li ion batteries by high He-gas-pressure plasma sputtering2024

    • 著者名/発表者名
      Reon Yokoi, Masayuki Ishihara, Tomoki Omae, Tomohisa Nakada, Ryoto Niwa, Ryo Hanai, Kodai Masumoto, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      ISPlasma2024
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Deposition of RF sputtered SiGe composite films and their application to high-capacity Li ion battery anodes2024

    • 著者名/発表者名
      Tomohisa Nakada, Ryo Hanai, Kodai Masumoto, Masayuki Ishihara, Tomoki Omae, Ryoto Niwa, Reon Yokoi, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      ISPlasma2024
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of Li ion battery by combining powder coating process and RF magnetron sputtering for high-capacity2024

    • 著者名/発表者名
      Masayuki Ishihara, Kodai Masumoto, Ryo Hanai, Tomoki Omae, Tomohisa Nakada, Ryoto Niwa, Reon Yokoi, Giichiro Uchida
    • 学会等名
      ISPlasma2024
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Property control of Ge and Si nanostructured films by high-pressure He sputtering process for next-generation Li ion battery2023

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida
    • 学会等名
      Global Plasma Forum in Aomori
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Synthesis of Si/Sn composite nanowires by using plasma sputtering process for Li-ion battery anode2023

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kodai Masumoto
    • 学会等名
      MRM2023/IUMRS-ICA2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマスパッタリングによるLiイオン電池Ge系負極膜のナノ物性制御2023

    • 著者名/発表者名
      横井 玲音, 石原 雅之, 大前 知輝, 中田 智久, 丹羽 亮斗, 花井 稜, 益本 幸泰, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] GeSnナノ柱状薄膜の構造制御とLiイオン電池負極への応用2023

    • 著者名/発表者名
      花井 稜, 益本 幸泰, 石原 雅之, 大前 知輝, 中田 智久, 丹羽 亮斗, 横井 玲音, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] RFマグネトロンスパッタリング法を用いたSiナノワイヤーの堆積と酸化膜のLiイオン電池性能への効果2023

    • 著者名/発表者名
      益本 幸泰, 花井 稜, 石原 雅之,大前 知輝, 中田 智久, 丹羽 亮斗,横井 玲音, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 高容量Liイオン電池のための2元スパッタリングを用いたGe/C複合負極の開発2023

    • 著者名/発表者名
      大前 知輝, 花井 稜, 益本 幸泰, 石原 雅之, 中田 智久, 丹羽 亮斗, 横井 玲音, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Siナノ粒子/C微粒子ハイブリッド多孔質膜を負極とする Liイオン電池の開発2023

    • 著者名/発表者名
      石原 雅之, 花井 稜, 益本 幸泰, 大前 知輝, 丹羽 亮斗, 中田 智久, 横井 玲音, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] プラズマスパッタリングRF電力によるLiTiO薄膜の結晶性制御と Liイオン電池への応用2023

    • 著者名/発表者名
      丹羽 亮斗, 石原 雅之, 大前 知輝, 中田 智久, 横井玲音, 花井 稜, 益本 幸泰, 内田 儀一郎
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] High electrical conductivity LiAlGePO films deposited by plasma co-sputtering for Li-ion battery application2023

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, J. Hayashi, Y. Habu, K. Nagai
    • 学会等名
      Advances in Functional Materials 2023
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Deposition of Si nanowire films by using high-pressure He plasma sputtering2023

    • 著者名/発表者名
      K. Masumoto, M. Kiga, T. Yamada, R. Hanai, G. Uchida
    • 学会等名
      15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Deposition of Ge nanoparticle anode films for Li ion battery2023

    • 著者名/発表者名
      R. Hanai, M. Kiga, T. Yamada, K. Masumoto, G. Uchida
    • 学会等名
      15th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Next-generation Li-ion battery achieved by the low temperature plasma process2022

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida
    • 学会等名
      75th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] High-capacity Li ion battery with nanostructured Ge and GeSn anode fabricated in the low temperature plasma process2022

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida
    • 学会等名
      The international Conference on Battery for Renewable Energy and Electric Vehicles 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Precise control of the nanostructure of Ge films by high-pressure plasma sputtering for Li-ion battery with super-high capacity2022

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida
    • 学会等名
      MRS 2022 SPRING MEETING and EXHIBIT
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of Si nanowire by using sub-Torr He plasma sputtering process2022

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, K. Masumoto, M. Sakakibara, R. Hanai, T. Yamada, M. Kiga
    • 学会等名
      The 32nd Annual meeting of MRS-J
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Ge/C nanocomposite anode fabricated in co-sputtering plasma process for high capacity Li ion battery2022

    • 著者名/発表者名
      G. Uchida, T. Omae, T. Yamada, K. Masumoto, R. Hanai, M. Kiga
    • 学会等名
      The 32nd Annual meeting of MRS-J
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 中圧サブトールプラズマプロセスを用いたSiナノ複合材料の作製2022

    • 著者名/発表者名
      内田儀一郎
    • 学会等名
      第38回九州・山口プラズマ研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] RFスパッタリングSi/C複合膜の堆積と高容量Liイオン電池負極への応用2022

    • 著者名/発表者名
      山田輝也,木賀海晴,花井稜,益本幸泰,内田儀一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] プラズマスパッタリング法を用いたLiTiO膜の結晶性制御とLiイオン電池負極への応用2022

    • 著者名/発表者名
      木賀海晴,山田輝也,花井稜,益本幸泰,内田儀一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Siナノワイヤー/Siナノ粒子ポーラス膜の堆積とLiイオン電池負極への応用2022

    • 著者名/発表者名
      益本幸泰,木賀海晴,山田輝也,花井稜,内田儀一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Geナノ粒子薄膜の粒径制御とLiイオン電池負極への応用2022

    • 著者名/発表者名
      花井稜,木賀海晴,山田輝也,益本幸泰,内田儀一郎
    • 学会等名
      第83回応用物理学学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] sub-Torrプラズマスパッタリングを用いたGe薄膜のナノ構造制御とLiイオン電池アノードへの応用2022

    • 著者名/発表者名
      永井健太、若菜文佳、花井稜、林純希、羽生侑真、内田儀一郎
    • 学会等名
      第39回プラズマプロセシング研究会/第34回プラズマ材料科学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ生成ナノ粒子を用いた2次電池応用2022

    • 著者名/発表者名
      内田儀一郎
    • 学会等名
      令和3年度東北大学電気通信研究所共同研究プロジェクト研究会「物理・化学混成系プラズマにおける情報系機能発現」
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of nanostructured GeSn films by using plasma sputtering process for Li ion battery anode2021

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida
    • 学会等名
      INTERFINISH2020
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] プラズマスパッタリング法を用いたGeSn薄膜ナノ構造制御とLiイオン電池への応用2021

    • 著者名/発表者名
      永井健太、若菜文佳、林純希、羽生侑真、木賀海晴、山田輝也、内田儀一郎
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋期学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Sub-TorrプラズマプロセスによるGeナノ構造膜制御と高容量Liイオン電池への応用2021

    • 著者名/発表者名
      内田儀一郎
    • 学会等名
      第37回九州・山口プラズマ研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Ge nanostructured films by high-pressure plasma sputtering for high-capacity Li ion battery electrode2021

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kenta Nagai, Ayaka Wakana, Ryo Hanai, Junki Hayashi, Yuma Habu
    • 学会等名
      The 12th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Nanostructured Ge films by high-pressure plasma sputtering for high-capacity Li ion battery anode2021

    • 著者名/発表者名
      Giichiro Uchida, Kenta Nagai, Junki Hayashi, Yuma Habu
    • 学会等名
      Material Research Meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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