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変形・破壊素過程ナノ観察に基づく微小金属材料の破壊強度発現機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 21H01211
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分18010:材料力学および機械材料関連
研究機関九州大学 (2023)
大阪大学 (2021-2022)

研究代表者

近藤 俊之  九州大学, 工学研究院, 准教授 (70735042)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2023年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2022年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2021年度: 12,090千円 (直接経費: 9,300千円、間接経費: 2,790千円)
キーワード材料強度学 / ナノ材料 / 薄膜 / 塑性変形 / 破壊
研究開始時の研究の概要

寸法が数μmからサブμmオーダーとなる微小金属材料の強度は寸法に依存するが,その強度発現機構は未解明である.これを解明するためには,巨視的な破壊の機構・強度と,材料内部の損傷の初生・発達過程を含めた微視的なスケールにおける変形・破壊の素過程との対応関係を解明する必要がある.本研究では金属薄膜を対象として,材料表面と材料内部のその場ナノ観察力学試験技術を確立して変形・破壊の巨視的・微視的過程の解明を実現して,破壊機構と強度の寸法効果の発現機構を明らかにする.

研究成果の概要

微小金属材料の巨視的な変形・破壊の機構・強度と,材料内部の損傷の初生・発達過程を含めた微視的なスケールにおける変形・破壊過程との対応関係の解明を目的として,厚さがサブμmオーダーの多結晶銅薄膜に対するその場ナノ観察引張・破壊じん性・疲労き裂進展試験を実施した.多結晶銅薄膜の塑性変形抵抗は膜厚に加えて結晶粒径にも依存し,かつ膜厚に応じて結晶粒界強化の傾向が異なった.また,き裂前方の微視的変形・破壊過程は微視組織に依存し,これに起因して巨視的なき裂発生強度・き裂進展特性に結晶粒径の影響が現れることを明らかにした.

研究成果の学術的意義や社会的意義

材料の微視組織は変形・破壊の微視的過程と強度に強く影響を及ぼし,これが巨視的スケールにまで発達することで強度が発現する.しかし,微小金属材料においては変形・破壊の微視的過程そのものが解明されておらず,微小金属材料における強度の発現機構の理解は不十分である.本研究の成果は薄膜材料における変形・破壊の微視的過程を明らかにし,巨視的強度の発現機構について新たな知見を与えるものである.これらの知見は,微小金属材料の強度を確保するための材料設計指針を提供するとともに,微小金属材料を部材として用いるマイクロ・ナノデバイスや電子機器の強度設計基準を提供するものであり,学術的にも工業的にも重要なものである.

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (1件) 学会発表 (16件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] 金属薄膜の破壊強度の外的・内的寸法効果2023

    • 著者名/発表者名
      KONDO Toshiyuki
    • 雑誌名

      材料

      巻: 72 号: 8 ページ: 579-584

    • DOI

      10.2472/jsms.72.579

    • ISSN
      0514-5163, 1880-7488
    • 年月日
      2023-08-15
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 自立Zr基金属ガラス薄膜の疲労き裂進展特性2024

    • 著者名/発表者名
      宇田千紘,植木翔平,近藤俊之,濱田繁
    • 学会等名
      日本機械学会九州支部九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 自立銅薄膜のき裂前方の微視的変形・破壊の定量評価2024

    • 著者名/発表者名
      ジョンスンフム,植木翔平,近藤俊之,濱田繁
    • 学会等名
      日本機械学会九州支部九州学生会第55回学生員卒業研究発表講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 金属薄膜の強度発現を担う外的・内的寸法効果の解明2023

    • 著者名/発表者名
      近藤俊之
    • 学会等名
      ナノ力学若手交流会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 10 nm~100 nmオーダー厚銅薄膜の塑性特性の結晶粒径・膜厚効果2023

    • 著者名/発表者名
      近藤俊之,若池寛之,定木脩,箕島弘二
    • 学会等名
      日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 銅薄膜のき裂発生・進展の微視的過程に及ぼす結晶粒界の影響2023

    • 著者名/発表者名
      近藤俊之,箕島弘二
    • 学会等名
      日本材料学会 高温強度・破壊力学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 10 nmオーダー厚銅薄膜の塑性特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      若池寛之,近藤俊之,箕島弘二
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部 第98期定時総会講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 銅薄膜の弾塑性特性の結晶粒径/膜厚依存性2022

    • 著者名/発表者名
      近藤俊之,定木脩,森国友章,箕島 弘二
    • 学会等名
      日本材料学会 第71期学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Grain Size Effect on Fracture Toughness of Submicrometer-Thick Copper Thin Films2022

    • 著者名/発表者名
      Toshiyuki Kondo, Koki Fukuda and Kohji Minoshima
    • 学会等名
      The 6th International Conference on Materials and Reliability (ICMR2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] サブミクロン銅薄膜の疲労き裂進展に及ぼす酸化層の影響2022

    • 著者名/発表者名
      池田隆文,森國友章,近藤俊之,箕島弘二
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部 第97期定時総会講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 銅薄膜の弾塑性特性に及ぼす結晶粒径・膜厚効果2022

    • 著者名/発表者名
      定木脩,森國友章,近藤俊之,箕島弘二
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部 第97期定時総会講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] アルミニウムナノワイヤの機械的特性2022

    • 著者名/発表者名
      西岡朋晃,近藤俊之,箕島弘二
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部 第97期定時総会講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] サブミクロン銅薄膜の破壊じん性に及ぼす結晶粒径効果2022

    • 著者名/発表者名
      福田光輝,森國友章,近藤俊之,箕島弘二
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部 第97期定時総会講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 自立金属ガラス薄膜の破壊じん性2022

    • 著者名/発表者名
      福田太智,近藤俊之,箕島弘二
    • 学会等名
      日本機械学会関西支部 第97期定時総会講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 銅ナノ薄膜の疲労き裂進展における結晶粒径効果2021

    • 著者名/発表者名
      近藤俊之,森國友章,箕島弘二
    • 学会等名
      日本材料学会 第70期学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 電子顕微鏡その場観察・解析によるサブミクロン金属薄膜の変形・破壊の評価2021

    • 著者名/発表者名
      近藤俊之
    • 学会等名
      日本物理学会 第31回 格子欠陥フォーラム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] サブミクロン銅薄膜の破壊じん性に及ぼす結晶粒径の影響2021

    • 著者名/発表者名
      近藤 俊之,箕島 弘二
    • 学会等名
      日本材料学会 第20回破壊力学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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