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SiC金型切削とナノ構造形成およびグラフェン成膜による高機能ガラス光学素子成形

研究課題

研究課題/領域番号 21H01230
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分18020:加工学および生産工学関連
研究機関慶應義塾大学

研究代表者

閻 紀旺  慶應義塾大学, 理工学部(矢上), 教授 (40323042)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
17,940千円 (直接経費: 13,800千円、間接経費: 4,140千円)
2023年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2022年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2021年度: 13,000千円 (直接経費: 10,000千円、間接経費: 3,000千円)
キーワードガラス成形 / 超硬合金 / 金型加工 / グラフェン成膜 / 超精密切削 / 反応焼結SiC / ナノ周期構造 / マイクロレンズアレイ / 微細構造表面 / SiC / レンズアレイ / プレス成形 / 光学レンズ
研究開始時の研究の概要

分割切削法を用いて超硬合金や反応焼結SiC金型の超精密加工を行い,切削面へフェムト秒レーザを照射することによって表面ナノ周期構造を形成させる.さらに金型表面へグラフェン膜をコーティングし,高温ガラスプレス成形に使用する.これにより,ガラス製マイクロレンズアレイなどの微細構造表面の高精度創成を可能にする.

研究成果の概要

スローツールサーボ(STS)を用いて反応焼結SiCなどを基板とするマイクロレンズアレイ金型の切削を行い,基本加工特性を解明し,工具と工作物の間欠接触により刃先の冷却効率を向上させ,工具摩耗を抑制する方法を提案した.また,フェムト秒パルスレーザを用いて金型表面へのLIPSS(レーザ誘起ナノ周期構造)を形成させ,さらにグラフェン成膜を行い,そのLIPSS形成メカニズムやナノグラファイト成膜特性を解明した.最終的に,試作した金型を用いてガラスマイクロレンズアレイのガラスプレス成形実験を行い,成形機構や界面現象を調べ,最適な成形条件の解明を行った.

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究によって,ガラスを基板とするマイクロレンズアレイの高精度プレス成形が可能とり,ガラス光学素子の量産の可能性が示された.この研究成果は多岐にわたるガラス製品へ適用可能であり,ものづくり産業への波及効果が大きい.特に近年のスマートフォンやVR,AR,車載ヘッドアップディスプレイ,光通信装置,医療デバイスなどの光学系で需要が増加しているマイクロレンズアレイの製造技術に大きく寄与すると考えられる.また,本研究によってガラス・金型の界面で発生する機械的,物理的,化学的現象を実験的および解析的手法により解明し,金型および離型膜の設計や成形プロセスの最適化などにも貢献すると考えられる.

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (6件) (うち国際共著 1件、 査読あり 6件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Investigation of failure modes and material structural responses of nanographite coatings on single-crystal silicon by nanoscratching2024

    • 著者名/発表者名
      F Brussel, W Huang, J Yan
    • 雑誌名

      Tribology International

      巻: 193 ページ: 109349-109349

    • DOI

      10.1016/j.triboint.2024.109349

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mechanisms of tool-workpiece interaction in ultraprecision diamond turning of single-crystal SiC for curved microstructures2023

    • 著者名/発表者名
      W. Huang, J. Yan
    • 雑誌名

      International Journal of Machine Tools and Manufacture

      巻: 191 ページ: 104063-104063

    • DOI

      10.1016/j.ijmachtools.2023.104063

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Formation of Laser-Induced Periodic Surface Structures on Reaction-Bonded Silicon Carbide by Femtosecond Pulsed Laser Irradiation2023

    • 著者名/発表者名
      Tushar Meshram, Jiwang Yan
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 6:4 号: 1 ページ: 1-13

    • DOI

      10.1007/s41871-023-00184-8

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Optimization of fast tool servo diamond turning for enhancing geometrical accuracy and surface quality of freeform optics2023

    • 著者名/発表者名
      Lin ZHANG, Yusuke SATO and Jiwang YAN
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 17 号: 1 ページ: JAMDSM0012-JAMDSM0012

    • DOI

      10.1299/jamdsm.2023jamdsm0012

    • ISSN
      1881-3054
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on nano-graphitic carbon coating on Si mold insert for precision glass molding2022

    • 著者名/発表者名
      Lin Zhang, Jiwang Yan
    • 雑誌名

      Surface & Coatings Technology

      巻: 448 ページ: 128893-128893

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2022.128893

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tool path generation and optimization for freeform surface diamond turning based on an independently controlled fast tool servo2022

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Sato and Jiwang Yan
    • 雑誌名

      International Journal of Extreme Manufacturing

      巻: 4 号: 2 ページ: 025102-025102

    • DOI

      10.1088/2631-7990/ac5f12

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [学会発表] Tool path generation and optimization for diamond turning based on independently controlled fast tool servo2021

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Sato and Jiwang Yan
    • 学会等名
      International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Multiscale surface structuring of hard brittle materials2021

    • 著者名/発表者名
      Jiwang Yan
    • 学会等名
      International Conference on Nanomanufacturing 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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