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狭ギャップ半導体の量子輸送制御による高環境調和型熱電変換シートの開発

研究課題

研究課題/領域番号 21H01358
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関筑波大学

研究代表者

都甲 薫  筑波大学, 数理物質系, 准教授 (30611280)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
17,290千円 (直接経費: 13,300千円、間接経費: 3,990千円)
2023年度: 5,720千円 (直接経費: 4,400千円、間接経費: 1,320千円)
2022年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2021年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
キーワード半導体 / 熱電発電 / 熱電変換 / 薄膜 / 結晶成長
研究開始時の研究の概要

軽くてやわらかいプラスチック上に熱電材料を薄膜合成した「フレキシブル熱電変換シート」の社会実装には、無毒で安全かつ高い信頼性をもつエコマテリアルの選択が重要となる。本研究では、狭ギャップ環境半導体であるGe系IV族混晶の熱電薄膜としての高いポテンシャルを実証する。研究代表者のGe薄膜技術をベースとし、「混晶」「粒界」「フェルミ準位」の3要素と量子(キャリア・フォノン)輸送特性の相関を解明・制御するとともに、高環境調和型熱電変換シートとして最高性能を実証する。

研究成果の概要

軽くてやわらかいプラスチック上に熱電材料を薄膜合成した「フレキシブル熱電変換シート」は、IoT社会で不可欠となる微小エネルギーを利用したセンサやウェアラブル・デバイスへの応用が期待されている。その社会実装には、無毒で安全かつ高い信頼性をもつエコマテリアルの選択が重要となる。本研究では、狭ギャップ環境半導体であるGe系IV族混晶の熱電薄膜に着眼するとともに低温合成技術を開発し、環境調和型熱電変換シートとして最高水準の性能を達成した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

高度情報化社会におけるエネルギーの確保のため、身の回りの熱を電気に変換する熱電発電の技術が注目されている。環境調和型材料を用いて高性能なフレキシブル熱電変換シートを実証した点に、本研究の社会的意義がある。また、IV族系混晶半導体材料の結晶性と熱電特性の相関が実験的に明らかにされたことは学術的に特筆すべき点であり、トランジスタや太陽電池など他分野への応用も期待される。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (48件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 13件、 オープンアクセス 6件) 学会発表 (28件) (うち国際学会 13件、 招待講演 12件) 図書 (1件) 産業財産権 (6件) (うち外国 3件)

  • [雑誌論文] Bayesian-Optimization-Driven Enhancement of Thermoelectric Properties of Polycrystalline III-V Semiconductor Thin Films2024

    • 著者名/発表者名
      T. Ishiyama, K. Nozawa, T. Nishida, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      NPG Asia Materials

      巻: 16 号: 1 ページ: 17-17

    • DOI

      10.1038/s41427-024-00536-w

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High Thermoelectric Performance in Polycrystalline Yb3Ge5 Thin Films2024

    • 著者名/発表者名
      T. Ishiyama, T. Ozawa, N. Saitoh, N. Yoshizawa, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      APL Materials

      巻: 12 号: 2 ページ: 54848-54848

    • DOI

      10.1063/5.0172322

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Thermoelectric properties of low-temperature-grown polycrystalline InAs1?xSbx films2024

    • 著者名/発表者名
      T. Nishida, T. Ishiyama, K. Nozawa, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 119 号: 1 ページ: 132101-132101

    • DOI

      10.1063/5.0178996

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Metal-induced lateral crystallization of germanium thin films2023

    • 著者名/発表者名
      T. Ishiyama, K. Igura, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Materials & Design

      巻: 232 ページ: 112116-112116

    • DOI

      10.1016/j.matdes.2023.112116

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High-electron mobility P-doped polycrystalline GeSn layers formed on insulators at low temperatures2023

    • 著者名/発表者名
      K. Nozawa, T. Ishiyama, T. Nishida, N. Saitoh, N. Yoshizawa, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 122 号: 20 ページ: 201901-201901

    • DOI

      10.1063/5.0152677

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Interfacial Nucleation Control in Amorphous GeSn Thin Films Using Bilayer Structure2023

    • 著者名/発表者名
      S. Maeda, T. Ishiyama, N. Saitoh, N. Yoshizawa, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Crystal Growth & Design

      巻: 23 号: 8 ページ: 5535-5535

    • DOI

      10.1021/acs.cgd.3c00163

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Machine learning of fake micrographs for automated analysis of crystal growth process2022

    • 著者名/発表者名
      T. Ishiyama, T. Imajo, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials: Methods

      巻: 2 号: 1 ページ: 213-213

    • DOI

      10.1080/27660400.2022.2082235

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Acceptor defects in polycrystalline Ge layers evaluated using linear regression analysis2022

    • 著者名/発表者名
      T. Imajo, T. Ishiyama, K. Nozawa, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 12 号: 1 ページ: 14941-14941

    • DOI

      10.1038/s41598-022-19221-5

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Metal-Catalyzed Nanostructured Silicon Films as Potential Anodes for Flexible Rechargeable Batteries2022

    • 著者名/発表者名
      K. Nozawa, H. Murata, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      ACS Applied Nano Materials

      巻: 5 号: 11 ページ: 170050-170050

    • DOI

      10.1021/acsanm.2c04476

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Thermoelectric Performance in Polycrystalline GeSiSn Ternary Alloy Thin Films2022

    • 著者名/発表者名
      S. Maeda, T. Ishiyama, T. Nishida, T. Ozawa, N. Saitoh, N. Yoshizawa, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 14 号: 49 ページ: 54848-54848

    • DOI

      10.1021/acsami.2c14785

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Solid-phase crystallization of GeSn thin films on GeO2-coated glass2022

    • 著者名/発表者名
      T. Mizoguchi, T. Ishiyama, K. Moto, T. Imajo, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      phisica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters

      巻: 16 号: 1 ページ: 2100509-2100509

    • DOI

      10.1002/pssr.202100509

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Flexible Thermoelectric Generator Based on Polycrystalline SiGe Thin Films2022

    • 著者名/発表者名
      T. Ozawa, M. Murata, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Materials

      巻: 15 号: 2 ページ: 608-608

    • DOI

      10.3390/ma15020608

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High thermoelectric power factors in polycrystalline germanium thin films2021

    • 著者名/発表者名
      T. Ozawa, T. Imajo, T. Suemasu, and K. Toko
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 119 号: 13 ページ: 132101-132101

    • DOI

      10.1063/5.0056470

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 多結晶n型Ge薄膜における水素パッシベーション効果2024

    • 著者名/発表者名
      野沢 公暉, 末益 崇, 都甲 薫
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 表面電位測定による多結晶 Ge 薄膜の粒界特性評価2024

    • 著者名/発表者名
      前田 真太郎, 末益 崇, 都甲 薫
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of Thermoelectric Performance of Polycrystalline III-V Semiconductor Thin Films using Bayesian Optimization2023

    • 著者名/発表者名
      T. Ishiyama, K. Nozawa, T. Suemasu, and K. Toko
    • 学会等名
      2023 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High carrier mobilities in polycrystalline germanium layers for flexible electronics2023

    • 著者名/発表者名
      Koki Nozawa, Takashi Suemasu, and Kaoru Toko
    • 学会等名
      E-MRS 2023 Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Thermoelectric application of Ge-based group IV semiconductor layers2023

    • 著者名/発表者名
      Shintaro Maeda, Kaoru Toko and Takashi Suemasu
    • 学会等名
      E-MRS 2023 Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Record-High Electron Mobility in Polycrystalline GeSn Thin Films on Insulators2023

    • 著者名/発表者名
      Koki Nozawa, Takashi Suemasu, and Kaoru Toko
    • 学会等名
      ISTDM-ICSI2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ベイズ最適化による多結晶III-V族半導体薄膜の熱電性能向上2023

    • 著者名/発表者名
      石山 隆光, 野沢 公暉, 末益 崇, 都甲 薫
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 核発生制御による多結晶GeSn薄膜の低欠陥・高移動度化2023

    • 著者名/発表者名
      前田 真太郎, 石山 隆光, 茂藤 健太, 山本 圭介, 末益 崇, 都甲 薫
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 半導体薄膜の低温結晶化プロセスとデバイス応用2023

    • 著者名/発表者名
      都甲 薫
    • 学会等名
      東京大学マテリアル工学セミナー
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Thermoelectric properties of low-temperature polycrystalline group IV semiconductor thin films2023

    • 著者名/発表者名
      K. Toko
    • 学会等名
      ISSP Regular Workshop
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 次世代電子デバイスに向けた高機能半導体薄膜の開発2023

    • 著者名/発表者名
      都甲 薫
    • 学会等名
      会いに行ける科学者フェス
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 多結晶Ge薄膜の三元混晶化による熱電性能向上2022

    • 著者名/発表者名
      前田 真太郎, 石山 隆光, 末益 崇, 都甲 薫
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] IV 族三元混晶の薄膜合成と高熱電性能実証2022

    • 著者名/発表者名
      前田真太郎, 末益崇, 都甲薫
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Grain size control of in solid-phase crystallization of Ge thin films using nucleation layer?2022

    • 著者名/発表者名
      Shintaro Maeda, Takamitsu Ishiyama, Toshifumi Imajo, Takashi Suemasu and Kaoru Toko
    • 学会等名
      The 22nd International Vacuum Congress
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Group IV Semiconductor Alloy Thin Films for Environmentally Friendly Thermoelectric Generators2022

    • 著者名/発表者名
      Shintaro Maeda, Tomoki Ozawa, Takashi Suemasu and Kaoru Toko
    • 学会等名
      2022 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nucleation control in the solid-phase crystallization of amorphous Ge layer leading to high hole mobility2022

    • 著者名/発表者名
      Shintaro Maeda, Takamitsu Ishiyama, Toshifumi Imajo, Takashi Suemasu and Kaoru Toko
    • 学会等名
      IURMS-ICYRAM 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Thermoelectric Properties in Group IV Ternary Alloy Thin Films Formed by Advanced Solid-phase Crystallization2022

    • 著者名/発表者名
      Shintaro Maeda, Tomoki Ozawa, Takashi Suemasu and Kaoru Toko
    • 学会等名
      The 6th Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Low-temperature thin-film growth of group IV semiconductors for thermoelectric applications2022

    • 著者名/発表者名
      K. Toko
    • 学会等名
      JST Colloquium
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Layer exchange of group IV materials: crystal growth and device applications2022

    • 著者名/発表者名
      K. Toko
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 低温多結晶IV族半導体薄膜の熱電性能2022

    • 著者名/発表者名
      都甲 薫
    • 学会等名
      熱電研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] SiGeを用いたフレキシブル熱電変換素子2022

    • 著者名/発表者名
      前田真太郎, 小澤知輝, 今城利文, 末益崇, 都甲薫
    • 学会等名
      JST CREST・さきがけ複合領域 令和3年度成果展開VRシンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 多結晶Ge膜の熱電応用と高出力因子の実証2021

    • 著者名/発表者名
      小澤知輝, 今城利文, 末益崇, 都甲薫
    • 学会等名
      第12回半導体材料・デバイスフォーラム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 拡散剤を用いた多結晶Ge薄膜の伝導制御と熱電応用2021

    • 著者名/発表者名
      小澤 知輝, 今城 利文, 末益 崇, 都甲 薫
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 半導体薄膜の低温合成とエネルギーデバイス応用2021

    • 著者名/発表者名
      都甲薫
    • 学会等名
      JACIエネルギー分科会研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] IV族材料薄膜の金属誘起固相成長2021

    • 著者名/発表者名
      都甲薫
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] IV族半導体を用いたフレキシブル熱電素子2021

    • 著者名/発表者名
      都甲薫
    • 学会等名
      磁気学会スピントロニクス専門研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Low-temperature solid-phase crystallization of group IV material thin films2021

    • 著者名/発表者名
      K. Toko
    • 学会等名
      AMFPD21
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Solid-phase Diffusion Doping in Polycrystalline Ge Thin Films Leading to High Thermoelectric Power Factors2021

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Ozawa, Toshifumi Imajo, Takashi Suemasu, and Kaoru Toko
    • 学会等名
      SSDM2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [図書] 環境調和型材料による高信頼性熱電変換シートの研究開発2023

    • 著者名/発表者名
      都甲薫
    • 総ページ数
      7
    • 出版者
      技術情報協会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [産業財産権] 電気的特性推定装置、推定モデル生成装置、電気的特性推定方法、推定モデル生成方法及びコンピュータプログラム2023

    • 発明者名
      野沢公暉,石山隆光,都甲薫
    • 権利者名
      野沢公暉,石山隆光,都甲薫
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法2022

    • 発明者名
      都甲薫、中村宗敦,前田郷司
    • 権利者名
      都甲薫、中村宗敦,前田郷司
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2022
    • 取得年月日
      2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 外国
  • [産業財産権] 半導体装置とその製造方法2022

    • 発明者名
      都甲薫,末益崇
    • 権利者名
      都甲薫,末益崇
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法2022

    • 発明者名
      都甲薫,中村宗敦,前田郷司
    • 権利者名
      都甲薫,中村宗敦,前田郷司
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 外国
  • [産業財産権] 半導体装置、及び、半導体装置の製造方法2022

    • 発明者名
      都甲薫,中村宗敦,前田郷司
    • 権利者名
      都甲薫,中村宗敦,前田郷司
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 外国
  • [産業財産権] 半導体装置とその製造方法2021

    • 発明者名
      都甲薫、末益崇
    • 権利者名
      都甲薫、末益崇
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2021
    • 取得年月日
      2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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