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金属酸水素化物エピタキシーの構築と自発分極制御が拓く新奇電子・誘電機能創出

研究課題

研究課題/領域番号 21H01629
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分26020:無機材料および物性関連
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

大澤 健男  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主幹研究員 (00450289)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)
2023年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2022年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2021年度: 12,220千円 (直接経費: 9,400千円、間接経費: 2,820千円)
キーワード酸水素化物 / エピタキシャル薄膜 / 電子物性 / 光電子分光 / 質量分析 / 薄膜 / エピタキシャル成長
研究開始時の研究の概要

酸化物イオンと水素化物イオンが共存する酸水素化物材料について、触媒作用やヒドリドイオンの高いイオン伝導性の研究が活発化している。荷電状態や構造歪みにより柔軟に変化する物性応答が期待されるが、電子伝導や誘電特性の報告は少ない。本研究では、エピタキシー技術を基盤とし、重水素を用いた遷移金属酸水素化物薄膜の合成へと発展させ、水素濃度や格子歪みを精密に制御して新奇な電子伝導・誘電機能を発現させること、および自発分極や相転移を利用したセンサ素子の実証を行う研究である。

研究成果の概要

ナノスケール厚の酸水素化物エピタキシャル薄膜を基軸とし、バルク体では避けることのできない粒界散乱のない単結晶薄膜を用いて、本質的な電気伝導性を明らかにすることを目的とした。
プラズマ支援分子線エピタキシー法を用いてエピタキシャル成長したアナターゼ型二酸化チタン薄膜の酸水素化に取り組んだ。水素プラズマ照射によって、薄膜表面から水素導入に成功した。その結果、電子濃度を制御することができ、絶縁体-金属転移を誘起することに成功した。これらの電子濃度は、質量分析にて定量した水素濃度と同程度であり、カチオン不純物を必要とせず、酸水素化による透明電気伝導性の発現と制御が可能となった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

バルク体では作製が困難であった前周期遷移金属酸化物の酸水素化を、ナノスケール厚のエピタキシャル薄膜で成功した。従来のようなカチオン不純物を必要とせず、薄膜の水素化だけによる透明伝導性の発現と制御を見出した。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Nanoscale dynamics of hydrogen in VO2 studied by μSR2024

    • 著者名/発表者名
      Okabe H.、Hiraishi M.、Koda A.、Matsushita Y.、Ohsawa T.、Ohashi N.、Kadono R.
    • 雑誌名

      Physical Review Materials

      巻: 8 号: 2

    • DOI

      10.1103/physrevmaterials.8.024602

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Full polarization reversal at room temperature in unsubstituted AlN2023

    • 著者名/発表者名
      Hasegawa Kota、Shimizu Takao、Ohsawa Takeo、Sakaguchi Isao、Ohashi Naoki
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 123 号: 19 ページ: 192903-192903

    • DOI

      10.1063/5.0174236

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Local electronic structure of dilute hydrogen in β-Ga2O3 probed by muons2023

    • 著者名/発表者名
      Hiraishi M., Okabe H., Koda A., Kadono R., Ohsawa T., Ohashi N., Ide K., Kamiya T., Hosono H.
    • 雑誌名

      Physical Review B

      巻: 107 号: 4 ページ: 1-7

    • DOI

      10.1103/physrevb.107.l041201

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical properties of zinc nitride and zinc tin nitride semiconductor thin films toward photovoltaic applications2022

    • 著者名/発表者名
      Wang Yong、Ohsawa Takeo、Alnjiman Fahad、Pierson Jean-Francois、Ohashi Naoki
    • 雑誌名

      High Temperature Materials and Processes

      巻: 41 号: 1 ページ: 343-352

    • DOI

      10.1515/htmp-2022-0028

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Atomic-scale growth, imaging, spectroscopy, and electronic transport properties of metal-oxide films and interfaces2022

    • 著者名/発表者名
      Ohsawa Takeo
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 40 号: 1 ページ: 010806-010806

    • DOI

      10.1116/6.0001469

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of Temperature-Dependent Hard X-ray Photoemission Spectra on Au/Nb:SrTiO3 Schottky Junctions2021

    • 著者名/発表者名
      Ohsawa Takeo、Murakami Taisei、Hosaka Takumi、Ueda Shigenori、Ishigaki Takamasa、Ohashi Naoki
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry C

      巻: 125 号: 27 ページ: 14836-14842

    • DOI

      10.1021/acs.jpcc.1c04022

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Migration of nitrogen impurity in titanium dioxide and perovskite titanates2023

    • 著者名/発表者名
      OHASHI, Naoki, SAKAGUCHI, Isao, SEGAWA, Hiroyo, OHSAWA, Takeo, MATSUI, Yoshio
    • 学会等名
      32nd International Conference on Defects in Semiconductors
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] プラズマ支援MBE 法で作製したTiO2薄膜の水素化による絶縁体-金属伝導転移2022

    • 著者名/発表者名
      大澤 健男, 坂口 勲, 大橋 直樹
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2023年年会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Pt/Nb:SrTiO3ショットキー接合の巨大抵抗変化におけるPt電極への不純物効果と光電子分光評価2022

    • 著者名/発表者名
      大澤 健男, 上田 茂典, 保井 晃, 石垣 隆正, 大橋 直樹
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第35回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] . Local electronic structure of dilute hydrogen in gallium oxide2022

    • 著者名/発表者名
      Masatoshi HIRAISHI, Hirotaka OKABE, Akihiro KODA, Ryosuke KADONO, OHSAWA, Takeo, OHASHI, Naoki, Keisuke IDE, Toshio KAMIYA, HOSONO, Hideo
    • 学会等名
      15th International Conference on Muon Spin Rotation, Relaxation and Resonance. 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Local Magnetism in the Spin-singlet State of VO22022

    • 著者名/発表者名
      Hirotaka OKABE, Masatoshi HIRAISHI, Akihiro KODA, MATSUSHITA, Yoshitaka, OHSAWA, Takeo, OHASHI, Naoki, Ryosuke KADONO
    • 学会等名
      The 29th International Conference on Low Temperature Physics (LT29). 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nb:SrTiO3基板上のエピタキシャル(Al,Sc)N薄膜における強誘電体特性2022

    • 著者名/発表者名
      長谷川 浩太, 清水 荘雄, 陳 君, 大澤 健男, 坂口 勲, 大橋 直樹
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Investigating Temperature Dependence of Resistive Switching and Photoemission Spectroscopy in Pt/Nb:SrTiO3 Heterojunctions2021

    • 著者名/発表者名
      Takeo Ohsawa, Taisei Murakami, Shigenori Ueda, Takamasa Ishigaki, Naoki Ohashi
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Pt/Nb:SrTiO3 ショットキー接合の抵抗スイッチングにおける Pt 電極への不純物添加効果2021

    • 著者名/発表者名
      村上大晟、大澤健男、石垣隆正、大橋直樹
    • 学会等名
      第41回電子材料研究討論会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 単結晶(Al,Sc)N薄膜の合成と強誘電体特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      長谷川 浩太、清水 荘雄、大澤 健男、坂口 勲、大橋 直樹
    • 学会等名
      第41回電子材料研究討論会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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