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伝播波面の精密制御によるコヒーレントX線のナノビーム形成

研究課題

研究課題/領域番号 21H05004
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
審査区分 大区分C
研究機関大阪大学

研究代表者

山内 和人  大阪大学, 大阪大学・理化学研究所科学技術融合研究センター, 特任教授(常勤) (10174575)

研究分担者 山田 純平  大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (10845027)
佐野 泰久  大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40252598)
藤 大雪  大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (70910678)
松山 智至  名古屋大学, 工学研究科, 准教授 (10423196)
研究期間 (年度) 2021-07-05 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
154,180千円 (直接経費: 118,600千円、間接経費: 35,580千円)
2024年度: 18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2023年度: 29,380千円 (直接経費: 22,600千円、間接経費: 6,780千円)
2022年度: 49,140千円 (直接経費: 37,800千円、間接経費: 11,340千円)
2021年度: 56,940千円 (直接経費: 43,800千円、間接経費: 13,140千円)
キーワード精密計測 / 精密加工 / X線ミラー / X線自由電子レーザー / X線顕微鏡
研究開始時の研究の概要

X線自由電子レーザーや次世代の蓄積リング型X線源から得られる空間的にコヒーレントなX線を極限まで活用することができるナノビームを形成し、X線非線形光学や高分解能X線顕微鏡科学などの未踏の学術分野を開拓する。特に光学系の開発では、X線集光の課題であるコマ収差を効果的に抑制できる凸凹面複合ミラー光学系を実現し、波動光学を駆使した補償光学に基づく波面の精密制御を行うことによって、コヒーレントX線の極限サイズ(10nm以下)のナノビームを実現する。

研究実績の概要

前年度までの成果により、ほぼ予定通りにSACLAの極限集光である7nmを達成した。水平・垂直の各方向に凹面・凸面のミラーで構成される全4枚ミラーの光学系のその場アライメントは極めて有効に機能し、また、所期の計画通り、斜入射角度の許容誤差を大幅に拡大することに成功した。これにより、12時間以上のビーム特性の安定供給が可能であることも検証した。この際、ピーク強度1022W/cm2の人類が未だ経験のない硬X線強光子場を達成し、非線形光学実験への適用が可能になった。デモンストレーション実験では、Cr薄膜への9.9keVのX線集光ビーム照射を行い、蛍光X線を観察した。その結果、Cr+23において、唯一残った電子のm殻からk殻への遷移によるLyβ線を世界で初めて観測することに成功した。本実験はCr薄膜の位置を光軸方向に移動しながら、照射ビームサイズを変えることによってピーク強度をパラメータとする実験を行った。集光点での最大強度の条件では、Lyβ線の強度が低下したことから、すべての電子が放出された完全な+24価の核の生成にも成功したことも確認されている。本成果はNature Photonicsに投稿し、早々に受理され、パブリッシュされている。なお、続けて計画し、実施した3光子吸収現象の観察でも、世界初の現象の観察に成功しており、結果の解析や論文にまとめる準備を進めている。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

所期の通り、SACLAのシングルnm集光を実験に供し得るロバスト性を確保しつつ実現した。その結果、これまで実施することができなかった様々なX線非線形光学実験が可能になった。非線形光学現象の実証実験を様々に計画しており、上に示したCrからの蛍光X線の観察を行いLyβ線の観察に成功し、Nature Photonicsからパブリッシュした。

今後の研究の推進方策

順調に進捗しており、最終年度には、集光ミラーの多層膜のdスペースを深さ方向に2種類組み込み、2波長での高反射率を確保して、コヒーレントラマン散乱の観察に挑戦したい。ミラー反射面の多層膜構造に関する所期の計画には無い新規の研究計画であるが、可能な限りインパクトの大きい実験を実施したいと考えている。デモンストレーション実験と並行して、基礎物理の研究者との連携による強光子場物理学の最前線の探索も積極的に進めたい。

評価記号
中間評価所見 (区分)

A: 研究領域の設定目的に照らして、期待どおりの進展が認められる

報告書

(7件)
  • 2023 研究概要(中間評価) ( PDF )   実績報告書   中間評価(所見) ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 研究概要(採択時) ( PDF )   審査結果の所見 ( PDF )   実績報告書
  • 研究成果

    (66件)

すべて 2024 2023 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (8件) (うち国際共著 2件、 査読あり 8件、 オープンアクセス 8件) 学会発表 (55件) (うち国際学会 44件、 招待講演 11件)

  • [国際共同研究] APS (Advanced Light Source)(米国)

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [国際共同研究] APS (Advanced Light Source)(米国)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [国際共同研究] APS (Advanced Light Source)(米国)

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] High-Efficiency Polishing of Polymer Surface Using Catalyst-Referred Etching2024

    • 著者名/発表者名
      Toh Daisetsu、Takeda Kodai、Kayao Kiyoto、Ohkubo Yuji、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 18 号: 2 ページ: 240-247

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0240

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2024-03-05
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Extreme focusing of hard X-ray free-electron laser pulses enables 7 nm focus width and 1022 W cm^-2 intensity2024

    • 著者名/発表者名
      Yamada Jumpei、Matsuyama Satoshi、Inoue Ichiro、Osaka Taito、Inoue Takato、Nakamura Nami、Tanaka Yuto、Inubushi Yuichi、Yabuuchi Toshinori、Tono Kensuke、Tamasaku Kenji、Yumoto Hirokatsu、Koyama Takahisa、Ohashi Haruhiko、Yabashi Makina、Yamauchi Kazuto
    • 雑誌名

      Nature Photonics

      巻: - 号: 7 ページ: 685-690

    • DOI

      10.1038/s41566-024-01411-4

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Role of Photoelectrochemical Oxidation in Enabling High-Efficiency Polishing of Gallium Nitride2023

    • 著者名/発表者名
      Kayao Kiyoto、Toh Daisetsu、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 12 号: 6 ページ: 063005-063005

    • DOI

      10.1149/2162-8777/acde61

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Catalyst enhancement approach for improving the removal rate and stability of silica glass polishing via catalyzed chemical etching in pure water2023

    • 著者名/発表者名
      Toh Daisetsu、Kayao Kiyoto、Bui Pho Van、Inagaki Kouji、Morikawa Yoshitada、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 84 ページ: 21-27

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2023.07.003

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Propagation-based phase-contrast imaging method for full-field X-ray microscopy using advanced Kirkpatrick-Baez mirrors2023

    • 著者名/発表者名
      Tanaka Yuto、Yamada Jumpei、Inoue Takato、Kimura Takashi、Shimura Mari、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto、Matsuyama Satoshi
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 31 号: 16 ページ: 26135-26135

    • DOI

      10.1364/oe.493789

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Bias-assisted photoelectrochemical planarization of GaN (0001) with impurity concentration distribution2023

    • 著者名/発表者名
      Toh D.、Kayao K.、Ohnishi R.、Osaka A. I.、Yamauchi K.、Sano Y.
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 13 号: 9

    • DOI

      10.1063/5.0151387

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Fabrication of YAG ceramics surface without damage and grain boundary steps using catalyzed chemical wet etching2023

    • 著者名/発表者名
      Toh Daisetsu、Kayao Kiyoto、Yamauchi Kazuto、Sano Yasuhisa
    • 雑誌名

      CIRP Journal of Manufacturing Science and Technology

      巻: 47 ページ: 1-6

    • DOI

      10.1016/j.cirpj.2023.09.001

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Optimal deformation procedure for hybrid adaptive x-ray mirror based on mechanical and piezo-driven bending system2021

    • 著者名/発表者名
      Inoue Takato、Nishioka Yuka、Matsuyama Satoshi、Sonoyama Junki、Akiyama Kazuteru、Nakamori Hiroki、Ichii Yoshio、Sano Yasuhisa、Shi Xianbo、Shu Deming、Wyman Max D.、Harder Ross、Kohmura Yoshiki、Yabashi Makina、Assoufid Lahsen、Ishikawa Tetsuya、Yamauchi Kazuto
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 92 号: 12 ページ: 123706-123706

    • DOI

      10.1063/5.0070465

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [学会発表] Ultra-intense hard X-ray FEL with sub-10 nm focusing2024

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada
    • 学会等名
      13th Ringberg Workshop: Science with FELs
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Generation of extremely intense photon field by condensation of X-ray free electron laser SACLA less than 10 nm2023

    • 著者名/発表者名
      K. Yamauchi
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Design, fabrication, and implementation of XFEL sub-10 nm focusing mirrors2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, T. Inoue, S. Matsuyama, N. Nakamura, Y. Tanaka, A. Ito, K. Shioi, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, Y. Sano, M. Yabashi, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface finishing of a micro channel-cut crystal monochromator using high-pressure plasma etching2023

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumura, I. Ogasahara, T. Osaka, I. Inoue, K. Yamauchi, M. Yabashi and Y, Sano
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Direct focus characterization of sub-10 nm XFEL using speckle patterns from random nanoparticles2023

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, J. Yamada, Y. Tanaka, K. Shioi, S. Matsuyama, T. Inoue, I. Inoue, T. Osaka, Y. Inubushi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of distortion-free processing for narrow-gap channel-cut crystal monochromators using plasma chemical vaporization machining with a wire electrode2023

    • 著者名/発表者名
      I. Ogasahara, S. Matsumura, T. Osaka, K. Yamauchi, M. Yabashi and Y, Sano
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Beam diameter characterization of sub-10 nm XFEL using ptychography2023

    • 著者名/発表者名
      K. Shioi, J. Yamada, A. Ito, Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of phase-contrast imaging method for X-ray nanotomography with full-field X-ray microscope based on AKB mirror2023

    • 著者名/発表者名
      A. Yakushigawa, J. Yamada, Y. Tanaka, Y. Sano, H. Takano, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      International Conference on X-ray Optics and Applications (XOPT2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-precision finihing method for a narrow-gap channel-cut crystal X-ray monochromators using atmospheric-pressure plasma with a wire electrode2023

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumura, I. Ogasahara, T. Osaka, K. Yamauchi, M. Yabashi and Y. Sano
    • 学会等名
      Optical Fabrication and Testing (OF&T)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Catalyst Referred Etching Method for High Precision Optical Elements2023

    • 著者名/発表者名
      K. Yamauchi
    • 学会等名
      International Conference on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing 2023(PRESM2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Advanced Mirror-Based Optics for Hard X-Ray Focusing and Imaging Applications2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada
    • 学会等名
      Gordon Research Conference: X-ray Scienece 2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] XFEL sub-10 nm focusing with 10^22 W/cm^2 intensity: wavefront corrected mirror and focus characterization2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada
    • 学会等名
      PhotonMEADOW2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Determination of astigmatism in XFEL sub-10 nm focusing system using speckle patterns from random nanoparticles2023

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, J. Yamada, Y. Tanaka, K. Shioi, I. Inoue, T. Osaka, G. Yamaguchi, Y. Inubushi, M. Yabashi and K. Yamauchi
    • 学会等名
      PhotonMEADOW2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-speed planarization of GaN (0001) substrate using catalyst-referred etching enhanced with positive-biased photoelectrochemical oxidation2023

    • 著者名/発表者名
      D. Toh, K. Kayao, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characteristics of Photoelectrochemical Oxidation Enabling High-efficiency Polishing of Gallium Nitride2023

    • 著者名/発表者名
      K. Kayao, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Distortion-free Processing Method Using Plasma Chemical Vaporization Machining with a Wire Electrode for Narrow-gap Channel-cut Crystal Monochromators2023

    • 著者名/発表者名
      I. Ogasahara, S. Matsumura, K. Yamauchi and Y. Sano; T. Osaka, M. Yabashi
    • 学会等名
      American Society for Precision Engineering (ASPE) 2023 Annual Meeting
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface Planarization of YAG Ceramics Using Catalyst-Referred Etching2023

    • 著者名/発表者名
      Y. Yoshida, K. Kayao, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      American Society for Precision Engineering (ASPE) 2023 Annual Meeting
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sub-10 nm focusing of hard X-ray free-electron laser for reaching 10^22 W/cm^2 intensity2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada
    • 学会等名
      The International Conference on Optical and Photonic Engineering (icOPEN) 2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Recent Developments in Reflective X-ray Focusing Devices for Synchrotron Radiation Science2022

    • 著者名/発表者名
      K. Yamauchi
    • 学会等名
      14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] XFEL sub-10nm focusing system using Wolter type III-based advanced KB mirrors" 14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, Y. Tanaka, A. Ito, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, K. Yamauchi, and M. Yabashi
    • 学会等名
      14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of hard X-ray sub-5-nm focusing system with an adaptive multilayer focusing mirror2022

    • 著者名/発表者名
      T. Inoue, S. Matsuyama, Y. Tanaka, Y. Ichii, J. Yamada, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface processing of micro-channel-cut crystal monochromator using plasma chemical vaporization machining with wire electrode2022

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumura, S. Nakano, T. Osaka, I. Inoue, M. Yabashi, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of image-based wavefront measurement for adaptive full-field X-ray microscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of XFEL sub-10 nm focusing optics based on advanced Kirkpatrick-Baez mirrors2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, A. Ito, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, K. Yamauchi, and M. Yabashi
    • 学会等名
      7th International Workshop on Metrology for X-ray Optics, Mirror Design and Fabrication (IWXM2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of mirror-based full-field X-ray microscope toward XANES nano-CT measurement2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Tanaka, H. Takano, T. Uruga, K. Yamauchi and M. Yabashi
    • 学会等名
      7th International Conference on X-ray Optics and Applications 2022 (XOPT2022) in OPIC2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Stretching pulse duration of hard X-ray laser up to 50 ps using rotated-inclined crystal2022

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumura, S. Nakano, T. Osaka, I. Inoue, J. Yamada, T. Togashi, K. Tono, K. Yamauchi, Y. Sano and M. Yabashi
    • 学会等名
      7th International Conference on X-ray Optics and Applications 2022 (XOPT2022) in OPIC2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Propagation-based phase-contrast imaging for full-field X-ray microscope with advanced Kirkpatrick-Baez mirror2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, J. Yamada, T. Kimura, M. Shimura, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      7th International Conference on X-ray Optics and Applications 2022 (XOPT2022) in OPIC2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Beam size characterization method of sub-10 nm focused XFEL using uniform nanospheres2022

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, Y. Tanaka, I. Inoue, T. Osaka, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      7th International Conference on X-ray Optics and Applications 2022 (XOPT2022) in OPIC2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Advanced Kirkpatrick-Baez mirror optics based on Wolter type I and III configurations for hard X-ray full-field microscopy2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, S. Matsuyama, Y. Tanaka, H. Takano, T. Uraga, K. Yamauchi, and M. Yabashi
    • 学会等名
      15th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Propagation-based phase-contrast imaging with full-field X-ray microscope using advanced Kirkpatrick-Baez mirrors2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka, S. Matsuyama, J. Yamada, T. Inoue, T. Kimura, M. Shimura, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and K. Yamauchi
    • 学会等名
      15th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] XFEL sub-10 nm focusing system based on X-ray imaging mirrors2022

    • 著者名/発表者名
      A. Ito, J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, Y. Tanaka, I. Inoue, T. Osaka, Y. Inubushi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, M. Yabashi, K. Yamauchi
    • 学会等名
      15th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of an atomically smooth polycrystalline surface without grain boundary steps using catalyst-referred etching2022

    • 著者名/発表者名
      D. Toh, P. V. Bui, S. Matsuyama, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      Euspen's 22nd International Conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Preparation of highly planarized optical surface on Si substrate via catalyst-referred etching2022

    • 著者名/発表者名
      K. Itagaki, D. Toh, P. V. Bui, S. Matsuyama, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      Euspen's 22nd International Conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Planarization of polymer materials using catalytic reaction in pure water2022

    • 著者名/発表者名
      K. Takeda, D. Toh, P. V. Bui, S. Matsuyama, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      Euspen's 22nd International Conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] XFEL single-nanometer focusing system at SACLA2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, A. Ito, I. Inoue, T. Osaka, Y. Inubushi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, K. Yamauchi, M. Yabashi
    • 学会等名
      The 15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO-PR 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] XFEL Sub-10 nm Focusing Mirror System at SACLA for Achieving 10^22 w/cm^2 Intensity2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, K. Yamauchi and M. Yabashi
    • 学会等名
      The 40th International Free Electron Laser Conference (FEL2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Sub-10 nm XFEL focusing mirror system at SACLA for 10^22 W/cm^2 intensity2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, K. Yamauchi and M. Yabashi
    • 学会等名
      The international Science@FELs 2022 conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] High-Speed Catalyst-Referred Etching of Gallium Nitride Assisted by Ultraviolet Light Irradiation" American Society for Precision Engineering (ASPE) 2022 Annual Meeting2022

    • 著者名/発表者名
      K. Kayao, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      American Society for Precision Engineering (ASPE) 2022 Annual Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Surface planarization of polycrystalline silicon carbide by catalyst-referred etching2022

    • 著者名/発表者名
      K. Futamura, D. Toh, K. Yamauchi and Y. Sano
    • 学会等名
      American Society for Precision Engineering (ASPE) 2022 Annual Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of a Fourier Ptychography-based wavefront measurement method for mirror-based full-field X-ray microscopes2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka, S. Kurimoto, T. Inoue, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, and S. Matsuyama
    • 学会等名
      Asia-Oceania Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 2022(AO-SRI2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Damage-free processing of narrow-gap channel-cut crystal X-ray monochromators using atmospheric-pressure plasma with a wire electrode2022

    • 著者名/発表者名
      I. Ogasahara, S. Matsumura, T. Osaka, K. Yamauchi, M. Yabashi and Y. Sano
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 硬X線領域におけるバックグラウンドフリー強度自己相関法の実証2022

    • 著者名/発表者名
      大坂泰斗,井上伊知郎,山田純平,犬伏雄一,登野健介,松村正太郎,中野勝太,小笠原伊織,佐野泰久,山内和人,玉作賢治,矢橋牧名
    • 学会等名
      第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 全反射結像素子を用いた色収差の無いX線ナノイメージング/CT装置の開発2022

    • 著者名/発表者名
      山田純平,松山智至,田中優人,山内和人,宇留賀朋哉,高野秀和,矢橋牧名
    • 学会等名
      第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] dvanced KBミラーに基づく硬X線自由電子レーザー sub-10 nm 集光システム2022

    • 著者名/発表者名
      山田純平,松山智至,井上陽登,伊藤篤輝,田中優人,大坂泰斗,井上伊知郎,犬伏雄一,小山貴久,湯本博勝,大橋治彦,山内和人,矢橋牧名
    • 学会等名
      第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発2022

    • 著者名/発表者名
      井上陽登,松山智至,田中優人,伊藤篤輝,一井愛雄,山田純平,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    • 学会等名
      第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 結像型 X 線顕微鏡を用いた波動伝搬ベースの位相イメージング2022

    • 著者名/発表者名
      田中優人,松山智至,井上陽登,山田純平,木村隆志,志村まり,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    • 学会等名
      第35回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 高空間分解能な結像型X線顕微鏡のためのin-situ波面計測法の開発2022

    • 著者名/発表者名
      田中優人,松山智至,井上陽登,山田純平,香村芳樹,矢橋牧名,表和彦,石川哲也,山内和人
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] XFEL sub-10nm focusing system using Wolter type III-based advanced KB mirrors2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yamada, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, Y. Tanaka, A. Ito, T. Osaka, I. Inoue, Y. Inubushi, H. Yumoto, T. Koyama, H. Ohashi, K. Yamauchi, and M. Yabashi
    • 学会等名
      14th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーな 超平滑多結晶材料表面の作製2021

    • 著者名/発表者名
      藤大雪,Bui Van Pho,松山智至,佐野泰久,山内和人
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発(第2報) 差分成膜を組み合わせたハイブリッド波面修正2021

    • 著者名/発表者名
      井上陽登,松山智至,田中優人,二村浩平,一井愛雄,山田純平,佐野泰久,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 結像型X線顕微鏡における位相イメージング手法の開発2021

    • 著者名/発表者名
      田中優人,松山智至,井上陽登,山田純平,木村隆志,志村まり,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 結像型 X 線顕微鏡を用いた位相イメージング手法の開発2021

    • 著者名/発表者名
      田中優人,松山智至,井上陽登,山田純平,木村隆志,志村まり,香村芳樹,矢橋牧名,石川哲也,山内和人
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会 Optics and Photonics Japan 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Optimization of mirror deformation strategy using mechanical and piezoelectric bending system2021

    • 著者名/発表者名
      T. Inoue, Y. Nishioka, S. Matsuyama, J. Sonoyama, K. Akiyama, H. Nakamori, Y. Sano, Y. Kohmura, M. Yabashi, T. Ishikawa, L. Assoufid, K. Yamauchi
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Image-based wavefront measurement for full-field X-ray microscopy2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Tanaka, S. Matsuyama, T. Inoue, N. Nakamura, J. Yamada, Y. Kohmura, M. Yabashi, K. Omote, T. Ishikawa, K. Yamauchi
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Atomically controlled polishing for precision optics2021

    • 著者名/発表者名
      K. Yamauchi
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2021-07-08   更新日: 2024-12-25  

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