• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

多形メモリテクノロジーの創成

研究課題

研究課題/領域番号 21H05009
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
審査区分 大区分D
研究機関東北大学

研究代表者

須藤 祐司  東北大学, 工学研究科, 教授 (80375196)

研究分担者 山本 卓也  大阪公立大学, 大学院工学研究科, 准教授 (10804172)
入沢 寿史  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ付 (40759940)
齊藤 雄太  東北大学, グリーンクロステック研究センター, 教授 (50738052)
谷村 洋  公益財団法人電磁材料研究所, その他部局等, 研究員 (70804087)
春本 高志  東京科学大学, 物質理工学院, 准教授 (80632611)
研究期間 (年度) 2021-07-05 – 2026-03-31
研究課題ステータス 交付 (2025年度)
配分額 *注記
191,750千円 (直接経費: 147,500千円、間接経費: 44,250千円)
2025年度: 20,670千円 (直接経費: 15,900千円、間接経費: 4,770千円)
2024年度: 20,670千円 (直接経費: 15,900千円、間接経費: 4,770千円)
2023年度: 38,350千円 (直接経費: 29,500千円、間接経費: 8,850千円)
2022年度: 48,620千円 (直接経費: 37,400千円、間接経費: 11,220千円)
2021年度: 63,440千円 (直接経費: 48,800千円、間接経費: 14,640千円)
キーワード多形変化 / 相変化メモリ / 光誘起相変化 / 磁場誘起相変化 / 相変化 / 多形転移 / 光誘起相転移 / 磁場誘起相転移
研究開始時の研究の概要

Society 5.0に向け、IoTを介して人と物が繋がる事で様々な知識情報が共有されてきており、今後、その共有は加速的に増加する事は間違いない。それ故、膨大な情報の保管を実現するメモリデバイスの革新が求められているが、隆盛を極めるSiテクノロジーはいよいよ物理的な限界に達しつつあり、ポストSiテクノロジーが世界中で活発に研究、議論されている。本研究では、新メモリテクノロジー材料としてMnTeをはじめとする多形転移半導体を提案し、新たな結晶多形の相転移の学理及びその外場応答制御手法を確立し、次世代メモリデバイスへ向けた多形メモリテクノロジーの創成を目指す。

研究実績の概要

本研究では、結晶多形転移半導体を提案し、その多形転移機構の学理を構築すると共に、多形体薄膜の熱、応力、電界、磁界および光によるメモリ応答制御を目指している。以下に本年度の主な実績を記述する。
昨年度に明らかにした相変化メモリの動作エネルギーを記述するモデルを基に、Cr2Ge2Te6系相変化メモリの省エネルギー動作メカニズムを明らかにした。(ACS Apple.Mater.Inter.2022)
MnTe多形薄膜について、ラマン分光によるその場観察により、MnTe薄膜においてβ相からα相への構造変化を直接観察することに成功した。更に、MnTe多形薄膜について、MnTe/電極界面に大きな熱歪み(圧縮)が生じる場合は多形変化温度が低下することを明らかにし、その依存性は約-20.5MPa/Kであることを示した(Materialia,2022)。このことは、メモリ素子構造によりその動作性を制御できることを示している。更に、MnTeを用いた三端子デバイスについて、デバイス試作とトランジスタ特性評価を行った結果、スパッタ成膜時に得られるβ-MnTe薄膜においてON/OFF比が三桁程度のpFET動作を確認した。また、組成変化を伴わないアモルファス-結晶間の相変化により、GeTe2という準安定な層状物質を発見し、非線形な電流-電圧特性を示すことを見出した(Mater. Horizons,2023)。
SnSe多形体について、時間分解分光法を用いてその超高速光応答を測定した結果、励起強度を増大しても新しいコヒーレントフォノン振動モードの出現、即ち、光励起後の相変化を示唆する挙動は観測されなかった(国内学会発表)。一方、β-MnTe薄膜の光誘起多形変化を調査した結果、フェムト秒レーザー誘起によるβ相からα相への非熱的かつ不揮発的な構造変化を観察することに成功した(国内学会発表)。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

本期間では、先ず、相変化メモリの省エネルギー動作化に向け、Cr2Ge2Te6相変化メモリの省エネルギー動作性について、E=κ(1+C)ΔT/Δzの関係を基に理解を深めた(κ:熱伝導度、ΔT:融点、Δz:相変化材料厚さ、C:無次元数(ρ/(Δz/σ)、ここでρ:接触抵抗、σ:電気伝導度)。特に、電気伝導率及び熱伝導率を低減することが省エネルギー動作に極めて効果的であることを提示した。
MnTe多形薄膜については、(1)ラマン分光測定によるβ相からα相への多形変化の実証、(2)MnTe/電極間の熱膨張差に起因した多形変化温度制御、(3)MnTe三端子デバイスのトランジスタ特性、(4)MnTe薄膜の光誘起多形変化など、熱、応力、電場、光の外場応答性について明らかにし、種々の外場による多形変化制御および物性応答を実証している。また、MnTe薄膜の磁気特性については、現在のところ、β-MnTeは室温から液体窒素温度の範囲内においては強磁性を示さないことを突き止めた。更に、MnTeの多形変化に及ぼす第三元素の効果について調査を行っており、Cr添加により多形変化挙動が複雑に変化することが分かっている。
また、MnTe以外の材料についても調査を行っているが、MnTeのような結晶間の多形変化ではなく、組成変化を伴わないアモルファス-結晶間の相変化により、GeTe2という準安定な層状物質を発見した。本層状物質は、非線形な電流-電圧特性を示すなど興味深い電気物性を示し、今後、セレクタ材料などとしても期待される。光応答については、パイエルス転移を示すSnSe多形体について評価を行っているが、光誘起による多形変化は観察されていない。また、当初の研究では予見していなかったが、相変化に伴う電気抵抗変化を利用することで負性抵抗デバイスを実現できると考案するに至り、金属水素化物を用いた動作を実証した。

今後の研究の推進方策

2023年度以降についてもこれまでに引き続き、MnTeをはじめとする多形体薄膜について、熱歪み応答制御、電界応答制御、光応答制御、磁場応答制御について調査を行う。これまでの研究により、MnTe以外の多形体薄膜(希土類カルコゲナイドや遷移金属窒化物)についても、ジュール加熱により大きな物性変化が生じることを突き止めており、それら薄膜材料の相変化挙動や物性応答メカニズムを解明していく計画である。更に、MnTeへの第三元素Xの添加(CrやZnなど)により、多形変化挙動が複雑に変化することも突き止めている。特に、Cr添加MnTe薄膜では、極めて特異な多形変化(多段階の多形変化)を示し、それら多形変化に伴い電気・光物性のみならず磁気物性が変化する知見も得ている。今後はX-Mn-Te薄膜の多形変化メカニズムの解明と共に、それら多形薄膜の熱応力、電界、光および磁場応答制御について試みていく。
また、Mn-Te二元系の化合物としてMnTe2が存在するこが、以前の研究報告より圧力によりMnTe2バルク材は多形変化することが知られている。これまで本研究では、ポリイミド基板上に成膜したMnTe2薄膜の電気物性に及ぼす引張変形の影響を調査してきたが、数十%以上の引張歪の付与により薄膜自体は割れているにもかかわらず電気抵抗が約二桁も低下することを見出している。これは、MnTe2の引張変形による多形変化あるいは化学結合状態変化を示唆しているが、今後は、Mn-Te系多形薄膜の圧抵抗効果現象についても調査を行う計画である。
また、MnTeを中心とする研究の遂行を通して、当初の研究では予見していなかったが、水素を利用した相変化に伴う電気抵抗変化を利用することで負性抵抗特性が得られることを見出すことにも成功している。今後は、新たな材料や新たな相変化メカニズムの理解を深化させ、多形メモリテクノロジーの確立を目指す。

評価記号
中間評価所見 (区分)

A: 研究領域の設定目的に照らして、期待どおりの進展が認められる

報告書

(6件)
  • 2023 研究概要(中間評価) ( PDF )   中間評価(所見) ( PDF )
  • 2022 実績報告書
  • 2021 研究概要(採択時) ( PDF )   審査結果の所見 ( PDF )   実績報告書
  • 研究成果

    (67件)

すべて 2023 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (4件) 雑誌論文 (21件) (うち国際共著 8件、 査読あり 12件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (41件) (うち国際学会 11件、 招待講演 8件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] Hangyang University(韓国)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [国際共同研究] University of Pardubice(チェコ)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [国際共同研究] Hangyang大学(韓国)

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [国際共同研究] Herzen State Pedagogical University(ロシア連邦)

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] Improved Ordering of Quasi-Two-Dimensional MoS2 via an Amorphous-to-Crystal Transition Initiated from Amorphous Sulfur-Rich MoS2+x2022

    • 著者名/発表者名
      Krbal Milos、Prokop Vit、Prikryl Jan、Pereira Jhonatan Rodriguez、Pis Igor、Kolobov Alexander V.、Fons Paul J.、Saito Yuta、Hatayama Shogo、Sutou Yuji
    • 雑誌名

      Crystal Growth & Design

      巻: - 号: 5 ページ: 3072-3079

    • DOI

      10.1021/acs.cgd.1c01504

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Layer-Dependent Effects of Interfacial Phase-Change Memory for an Artificial Synapse2022

    • 著者名/発表者名
      Shin-young Kang, Soo-min Jin, Ju-young Lee, Dae-seong Woo, Tae-hun Shim, In-ho Nam, Jea-gun Park, Yuji Sutou, Yun-heub Song
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi RRL

      巻: 16 号: 9

    • DOI

      10.1002/pssr.202100616

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Short‐Range Order Investigation of CuxGe50-xTe50 Phase‐Change Materials2022

    • 著者名/発表者名
      Paulus Benedict、Stellhorn Jens R.、Hosokawa Shinya、Klee Benjamin D.、Sutou Yuji、Pilgrim Wolf-Christian
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: - 号: 9 ページ: 2100619-2100619

    • DOI

      10.1002/pssb.202100619

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Phase control of sputter-grown large-area MoTe2 films by preferential sublimation of Te: amorphous, 1T′ and 2H phases2022

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Yuta Saito, Kotaro Makino, Noriyuki Uchida, Yi Shuang, Shunsuke Mori, Yuji Sutou, Milos Krbal, Paul Fons
    • 雑誌名

      Journal of Materials Chemistry C

      巻: 10 号: 29 ページ: 10627-10635

    • DOI

      10.1039/d2tc01281b

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Thermal stress control of the polymorphic transformation in MnTe semiconductor films2022

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Mori, Yinli Wang, Daisuke Ando, Fumio Narita, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Materialia

      巻: 24 ページ: 101493-101493

    • DOI

      10.1016/j.mtla.2022.101493

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Understanding the Origin of Low-Energy Operation Characteristics for Cr2Ge2Te6Phase-Change Material: Enhancement of Thermal Efficiency in the High-Scaled Memory Device2022

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Takuya Yamamoto, Shunsuke Mori, Yun-Heub Song, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials and Interfaces

      巻: 14 号: 39 ページ: 44604-44613

    • DOI

      10.1021/acsami.2c13189

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effect of N dopants on the phase change characteristics of Cr2Ge2Te6 film revealed by changes in optical properties2022

    • 著者名/発表者名
      Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 601 ページ: 154189-154189

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2022.154189

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Te系相変化材料における構造・電子状態・結合と物理特性の関係2022

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太
    • 雑誌名

      固体物理

      巻: 57 ページ: 125-141

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Raman study of polymorphic-manganese telluride thin film2022

    • 著者名/発表者名
      Mihyeon Kim、Yi Shuang、Daisuke Ando、Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 34th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2022)

      巻: 1 ページ: 11-11

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Local structure change and piezoresistivity of MnTe2 thin film in tensile testing2022

    • 著者名/発表者名
      Serina Ozawa、Mihyeon Kim、Wang Yinli、Yi Shuang、Daisuke Ando、Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 34th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2022)

      巻: 1 ページ: 12-12

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Resistance change during tensile testing in Cr2Ge2Te6 film2022

    • 著者名/発表者名
      Yinli Wang、Yi Shuang、Mayu Nakajima、Daisuke Ando、Fumio Narita、Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 34th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2022)

      巻: 1 ページ: 13-13

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Role of Si on Structural and Electrical Properties in Phase Change Material GeTe2022

    • 著者名/発表者名
      Shin-Young Kang、Mihyeon Kim、Yi Shuang、Daisuke Ando、Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 34th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2022)

      巻: 1 ページ: 27-27

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Ultrafast optical response of SnSe under strong excitation2022

    • 著者名/発表者名
      Takao Homma, Hiroshi Tanimura, Yoshitaro Nose, Yuji Sutou, Tetsu Ichitsubo
    • 雑誌名

      Proceedings of the 34th Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2022)

      巻: 1 ページ: 15-15

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Electrical Conduction Mechanism of β-MnTe Thin Film with Wurtzite-Type Structure Using Radiofrequency Magnetron Sputtering2022

    • 著者名/発表者名
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Physica status solidi rapid research letters

      巻: 16 号: 9 ページ: 2100641-2100641

    • DOI

      10.1002/pssr.202100641

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Design strategy of phase change material properties for low-energy memory application2022

    • 著者名/発表者名
      Takuya Yamamoto, Shogo Hatayama, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Materials & Design

      巻: 216 ページ: 110560-110560

    • DOI

      10.1016/j.matdes.2022.110560

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 不揮発性メモリ用相変化材料開発の課題と新材料に関する最新研究2022

    • 著者名/発表者名
      畑山祥吾、須藤祐司
    • 雑誌名

      固体物理

      巻: 57 ページ: 49-60

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Thomson effect on amorphization in phase-change memory: dimensional analysis based on Buckingham's П theorem for Ge2Sb2Te52021

    • 著者名/発表者名
      Takuya Yamamoto, Shogo Hatayama, Yun-Heub Song and Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Materials Research Express

      巻: 8 号: 11 ページ: 115902-115902

    • DOI

      10.1088/2053-1591/ac3953

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Nitrogen local geometry in Cr2Ge2Te6 phase change material upon phase transition2021

    • 著者名/発表者名
      Yi Shuang, Shogo Hatayama, Yuta Saito, Paul Fons, Alexander V. Kolobov, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 33rd Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2021)

      巻: 1 ページ: 14-14

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] The origin of low resistivity of the amorphous Cr2Ge2Te6 phase-change material2021

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Keisuke Kobayashi, Yuta Saito, Paul Fons, Yi Shuang, Shunsuke Mori, Alexander V. Kolobov, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 33rd Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2021)

      巻: 1 ページ: 16-16

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際共著
  • [雑誌論文] Electrical transport in β-MnTe thin film2021

    • 著者名/発表者名
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 33rd Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2021)

      巻: 1 ページ: 20-20

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] Laser pulse-induced polymorphic transformation with optical switching in MnTe semiconductor films2021

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Mori, Yuji Sutou
    • 雑誌名

      Proceedings of the 33rd Symposium on Phase Change Oriented Science (PCOS 2021)

      巻: 1 ページ: 22-22

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Effect of sputtering condition on constituent phase and electrical property of MnTe2 film2023

    • 著者名/発表者名
      李世元、双逸、安藤大輔、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2023年春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Cr-Mn-Te多形変化薄膜の不揮発性相変化メモリへの応用可能性2023

    • 著者名/発表者名
      金美賢、双逸、安藤大輔、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2023年春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Electrical properties study of Si-doped GeTe2023

    • 著者名/発表者名
      姜信英、金美賢、逸双、安藤大輔、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2023年春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Piezoresistive effect of Cr2Ge2Te6 crystalline film during tensile test2023

    • 著者名/発表者名
      王吟麗、双逸、中嶋真優、安藤大輔、成田史生、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2023年春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 酸素ドーパントによるCrN薄膜のP-N変換2023

    • 著者名/発表者名
      双逸、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2023年春季大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Tuning of Conductance Values by Si Doping in GeTe for Artificial Synapse Characteristics2023

    • 著者名/発表者名
      Shinyoung Kang、Mihyeon Kim、Shuang Yi、Daisuke Ando、Yuji Sutou
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 接触抵抗変化メモリの動作性能2022

    • 著者名/発表者名
      双逸、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2022年秋期大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Cr-Mn-Te薄膜の多形変化挙動2022

    • 著者名/発表者名
      王吟麗、双逸、中嶋真優、安藤大輔、成田史生、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2022年秋期大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MnTe化合物薄膜の超高速光応答2022

    • 著者名/発表者名
      森 竣祐、谷村 洋、市坪 哲、須藤 祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2022年秋期大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MnTe多形の相安定性に及ぼすCr添加の影響2022

    • 著者名/発表者名
      金 美賢、双 逸、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒パルスレーザー照射によるMnTe半導体薄膜の光学的変化2022

    • 著者名/発表者名
      森竣祐、谷村洋、市坪哲、須藤祐司
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Raman study of polymorphic-manganese telluride thin film2022

    • 著者名/発表者名
      Mihyeon Kim、Yi Shuang、Daisuke Ando、Yuji Sutou
    • 学会等名
      第34回相変化研究会(PCOS2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Local structure change and piezoresistivity of MnTe2 thin film in tensile testing2022

    • 著者名/発表者名
      Serina Ozawa、Mihyeon Kim、Wang Yinli、Yi Shuang、Daisuke Ando、Yuji Sutou
    • 学会等名
      第34回相変化研究会(PCOS2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Resistance change during tensile testing in Cr2Ge2Te6 film2022

    • 著者名/発表者名
      Yinli Wang、Yi Shuang、Mayu Nakajima、Daisuke Ando、Fumio Narita、Yuji Sutou
    • 学会等名
      第34回相変化研究会(PCOS2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Ultrafast optical response of SnSe under strong excitation2022

    • 著者名/発表者名
      Takao Homma, Hiroshi Tanimura, Yoshitaro Nose, Yuji Sutou, Tetsu Ichitsubo
    • 学会等名
      第34回相変化研究会(PCOS2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 電気抵抗によって測る金属の水素化:理想と現実2022

    • 著者名/発表者名
      春本高志、史蹟、 中村吉男
    • 学会等名
      日本金属学会 水素化物に関わる次世代学術・応用展開研究会 第8回
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Co/Pd二層薄膜の磁場中電子輸送特性による水素検出2022

    • 著者名/発表者名
      春本高志、中村吉男、史蹟
    • 学会等名
      日本金属学会 水素化物に関わる次世代学術・応用展開研究会 第8回
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 金属水素化物の相変態による負性抵抗特性2022

    • 著者名/発表者名
      春本高志、藤木弘之、史蹟、中村吉男、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2022年秋期大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] カルコゲナイド材料の高機能化と次世代電子デバイスへの応用2022

    • 著者名/発表者名
      齊藤雄太
    • 学会等名
      日本金属学会2022年秋期大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Layered Chalcogenide Materials for Phase-Change Memory and Novel Applications2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Saito
    • 学会等名
      2022 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Effect of Cr doping on the phase stability in MnTe polymorphic-change film2022

    • 著者名/発表者名
      M. Kim, Y. Shuang, D. Ando, Y. Sutou
    • 学会等名
      2022 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 相変化材料を用いた省エネ型次世代不揮発メモリデバ イス2022

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司
    • 学会等名
      一般社団法人 日本材料科学会主催 第 5 回 次世代スマート・マテリアルの創製と応用展開に関する研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MnTe薄膜におけるレーザー加熱による多形変化の顕微ラマン観察2022

    • 著者名/発表者名
      金美賢、森竣祐、双逸、安藤大輔、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2022年春期第170回講演大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] MnTe化合物薄膜の機械的特性と多形変化2022

    • 著者名/発表者名
      森竣祐、王吟麗、安藤大輔、成田史生、須藤祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2022年春期第170回講演大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] ラマン分光法を用いたMnTe薄膜のレーザー加熱による多形変化2022

    • 著者名/発表者名
      金美賢、森竣祐、双逸、安藤大輔、須藤祐司
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 熱歪みを受けたMnTe半導体薄膜の多形変化挙動2022

    • 著者名/発表者名
      森竣祐、王吟麗、安藤大輔、成田史生、須藤祐司
    • 学会等名
      2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 相変化メモリ材料の研究開発動向2022

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司, 畑山祥吾, 森竣祐, 双逸
    • 学会等名
      R031ハイブリッド量子ナノ技術委員会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 機械学習を用いた材料設計指針開発 ~相変化メモリ材料への適用例~2022

    • 著者名/発表者名
      山本卓也
    • 学会等名
      令和3年度日本材料科学会北海道・東北支部 第4回 材料科学コロキウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Transition-metal chalcongenides enabling low-power phase change memory: inverse resistance change Cr2GeTe6 and polymorphic MnTe films2021

    • 著者名/発表者名
      Yuji Sutou, S. Hatayama, Y. Shuang, S. Mori, D. Ando
    • 学会等名
      European Phase-change and ovonic symposium (E\PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] β→α polymorphic transformation behavior in MnTe films2021

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Mori, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 学会等名
      European Phase-change and ovonic symposium (E\PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Temperature-dependent electrical transport mechanism in N doped Cr2Ge2Te6 films2021

    • 著者名/発表者名
      Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 学会等名
      European Phase-change and ovonic symposium (E\PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrical Conduction Mechanism of Wurtzite-type MnTe thin film by RF magnetron sputtering2021

    • 著者名/発表者名
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, and Yuji Sutou
    • 学会等名
      European Phase-change and ovonic symposium (E\PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Phase change materials enabling low-energy PCRAM2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Sutou S. Hatayama, Y. Shuang, S. Mori, D. Ando
    • 学会等名
      Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 相変化メモリの高性能化: 新材料創成からのアプローチ2021

    • 著者名/発表者名
      須藤祐司、畑山祥吾、森竣祐、双逸
    • 学会等名
      第85回半導体・集積回路技術シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 多形MnTe薄膜における電気伝導機構2021

    • 著者名/発表者名
      金 美賢、森 竣祐、双 逸、畑山 祥吾、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      日本金属学会2021年秋期第169回講演大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] MnTe半導体薄膜の多形転移メカニズムおよび速度論的調査2021

    • 著者名/発表者名
      森 竣祐、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] ウルツ鉱型MnTe薄膜における電気伝導機構2021

    • 著者名/発表者名
      金 美賢、森 竣祐、双 逸、畑山 祥吾、安藤 大輔、須藤 祐司
    • 学会等名
      2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Nitrogen local geometry in Cr2Ge2Te6 phase change material upon phase transition2021

    • 著者名/発表者名
      Yi Shuang, Shogo Hatayama, Yuta Saito, Paul Fons, Alexander V. Kolobov, Yuji Sutou
    • 学会等名
      PCOS相変化研究会(PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] The origin of low resistivity of the amorphous Cr2Ge2Te6 phase-change material2021

    • 著者名/発表者名
      Shogo Hatayama, Keisuke Kobayashi, Yuta Saito, Paul Fons, Yi Shuang, Shunsuke Mori, Alexander V. Kolobov, Yuji Sutou
    • 学会等名
      PCOS相変化研究会(PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrical transport in β-MnTe thin film2021

    • 著者名/発表者名
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • 学会等名
      PCOS相変化研究会(PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Laser pulse-induced polymorphic transformation with optical switching in MnTe semiconductor films2021

    • 著者名/発表者名
      Shunsuke Mori, Yuji Sutou
    • 学会等名
      PCOS相変化研究会(PCOS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [備考] 半導体メモリ材料開発に機械学習を活用

    • URL

      https://www.tohoku.ac.jp/japanese/2022/03/press20220325-01-semiconductor.html

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

URL: 

公開日: 2021-07-08   更新日: 2025-06-20  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi