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プラズマ支援パルスレーザー蒸着による高耐熱オールセラミックス黒色絶縁薄膜の開発

研究課題

研究課題/領域番号 21J12847
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
審査区分 小区分26020:無機材料および物性関連
研究機関東北大学

研究代表者

山口 実奈  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)

研究期間 (年度) 2021-04-28 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
2022年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2021年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
キーワード光吸収薄膜 / ナノ複合体 / 黒色絶縁体 / パルスレーザー蒸着 / 反射防止膜
研究開始時の研究の概要

本研究では、高い耐熱性・黒色性・高い電気絶縁性を両立するオールセラミックス絶縁体 -導体ナノ複合薄膜を開発し、それらの光学・電子物性の起源を明らかにすることを目指す。 熱力学計算と状態図を用い材料系を選択し、プラズマ支援パルスレーザー蒸着法を用いてナノ複合薄膜試料を作製する。微細組織や結晶構造を調査し、電磁場解析や第一原理計算を相補的に用いながら、光学・電気特性およびその起源を明らかにする。また耐熱温度を調査し、耐熱温度向上のために重要なファクターを明らかにする。さらに、光熱変換効率および高温下での電気化学測定により太陽熱吸収体や燃料電池電極材料としての特性評価も行う。

研究実績の概要

本年度は、光吸収および高電気抵抗を担うセラミックス相の複合体を作製し、可視光全域で強く等しい吸収係数を示す黒色コーティング材料の開発を試みた。主に以下の2つの材料系に取り組み、以下の結果を得た。
1)昨年度から引き続きAl(O,N)x-Ti(O,N)x系での黒色絶縁体開発を目指し、TiON相とAlON相が分相せず非晶質相として成膜されたTi-Al-O-N系薄膜について、①成膜温度の400 °Cから600 °Cへの増大、②後熱処理による分相を試みたが、複合体は作製されなかった。
2)強い可視光吸収を示すLa0.6Sr0.4CoO3-δ(LSC)を光吸収相に採用し、高い電子伝導度を示す酸化物相との複合化を試みた。先行研究によりLSCとの複合体の作製が多数報告されているSm0.2Ce0.8O2-δを選択し、PLDにより成膜した。分相させるには、750 °C以上の熱処理が必要とXRD測定から示唆された。750 °C熱処理後の試料は、従来報告されている金属-酸化物系黒色絶縁膜の強度(40 μm^-1程度)には届かないが、可視光全域において6 μm^-1以上の吸収係数を示した。この試料では450 nm近傍を中心とするガウシアンピークが観測されたが、50-100 nm径のLSC粒子を誘電率3-8のマトリックスに分散させて有限差分時間領域法による電磁波計算(MEEPを使用)で算出された散乱断面積が可視広域にピークを持たず、プラズモン吸収による可視光吸収強度の増大は生じていないと示唆された。また、室温においてデジタルマルチメーターによる簡易抵抗測定からシート抵抗MΩ/sq.以上と示唆され、吸収強度は既報の金属-酸化物系黒色絶縁膜より劣るが、本研究の目標であるオールセラミックスの黒色絶縁体であった。

現在までの達成度 (段落)

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和4年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2023 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 1件)

  • [国際共同研究] Helmholtz-Zentrum Berlin(ドイツ)

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of Ag?Fe2O3-Based black and electrically insulating coatings by magnetron sputtering from metal targets2023

    • 著者名/発表者名
      Tanaka Satoru、Ishii Akihiro、Yamaguchi Mina、Oikawa Itaru、Yamazaki Yusuke、Imura Masaaki、Takamura Hitoshi
    • 雑誌名

      Vacuum

      巻: 210 ページ: 111839-111839

    • DOI

      10.1016/j.vacuum.2023.111839

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Antireflective black coatings comprised of Ag?Fe?O thin films with high electrical resistivity2022

    • 著者名/発表者名
      Yamaguchi Mina、Ishii Akihiro、Oikawa Itaru、Yamazaki Yusuke、Imura Masaaki、Takamura Hitoshi
    • 雑誌名

      APL Materials

      巻: 10 号: 3 ページ: 031102-031102

    • DOI

      10.1063/5.0081463

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Heat-Resistant Black Insulative Thin Films for Flat-Panel Displays in Al-Doped Ag?Fe?O Systems2021

    • 著者名/発表者名
      Yamaguchi Mina、Ishii Akihiro、Oikawa Itaru、Yamazaki Yusuke、Imura Masaaki、Takamura Hitoshi
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 13 号: 48 ページ: 57971-57980

    • DOI

      10.1021/acsami.1c17599

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] タッチパネルディスプレイ用 Al 添加 Ag-Fe-O 系耐熱黒色絶縁膜の開発2022

    • 著者名/発表者名
      山口 実奈, 石井 暁大, 及川 格, 山崎 雄亮, 伊村 正明, 高村 仁
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Heat-Resistant Black Insulative Thin Films for Flat-Panel Displays in Al-Doped Ag-Fe-O Systems2021

    • 著者名/発表者名
      Mina Yamaguchi, Akihiro Ishii, Itaru Oikawa, Yusuke Yamazaki, Masaaki Imura, Hitoshi Takamura
    • 学会等名
      The 5th Symposium for The Core Research Clusters for Materials Science and Spintronics, and the 4th Symposium on International Joint Graduate Program in Materials Science
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2021-05-27   更新日: 2024-03-26  

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