| 研究課題/領域番号 |
21K04148
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21050:電気電子材料工学関連
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| 研究機関 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
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研究代表者 |
野本 淳一 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (30711288)
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| 研究期間 (年度) |
2021-04-01 – 2024-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2023年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2022年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2021年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
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| キーワード | 透明導電膜 / 固相結晶化 / 光反応 / キャリア輸送 / 金属酸化物 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
波長やパルス幅によって熱・化学的効果が制御可能と思われる光照射技術は、高温が適用できないフレキシブル基板上において、高移動度な酸化インジウム透明導電膜を実現する有望技術の一つである。本研究では、前駆体薄膜形成条件と、光照射による熱・化学的効果が固相結晶化後の薄膜の高移動度発現に与える影響を点欠陥レベルで理解し、低温下におけるドーパント活性化技術を開発・体系化する。成果を通して、樹脂など、軽量、フレキシブル基板上に高移動度透明導電膜の形成を実現することを目的とする。
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| 研究成果の概要 |
適量の水素 (H) を添加した In2O3 は 100 cm2/Vs を超えるキャリア移動度を実現でき、電気伝導を劣化させることなく低いキャリア密度に因り透明領域を近赤外線波長域まで拡張することができる。我々は、エキシマレーザー照射技術を使用し、照射条件と前駆体薄膜の形成条件の最適化を行うことで、前人未到であったフレキシブル高移動度透明導電フィルムを実現し、報告されているフレキシブル透明導電フィルムの中で最高のキャリア移動度 133 cm2/Vs を達成することに成功した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
実現したフレキシブル高移動度透明導電フィルムは、高い導電性と可視から近赤外線帯域までの広い波長帯域で高い透明性を両立した。これらの特性は、近赤外光を発電やセンシングに利用するフレキシブル次世代太陽電池やセンサーの性能向上に大きく貢献する。
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