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電場誘起pn接合を利用した近赤外光放射する電流注入型円偏光発光素子の創製

研究課題

研究課題/領域番号 21K04812
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分28010:ナノ構造化学関連
研究機関東京都市大学

研究代表者

星 裕介  東京都市大学, 理工学部, 准教授 (70748962)

研究分担者 石川 亮佑  東京都市大学, 理工学部, 教授 (50637064)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2023年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2022年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2021年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワード原子層 / 電流注入型発光素子 / 近赤外光 / 二テルル化モリブデン / 原子層物質 / 化学的気相成長法 / 金剥離法 / 二次元半導体結晶 / エレクトロルミネッセンス / CVD成長 / 二次元材料 / ファンデルワールス接合 / 円偏光
研究開始時の研究の概要

本研究課題の特徴は、単層二テルル化モリブデンの面内に電場誘起によりpn接合を形成し、これにより近赤外光放射する円偏光エレクトロルミネッセンス素子を開発することである。化学的気相成長法を利用することで、大面積かつ高品質な単層二テルル化モリブデンの六方晶窒化ホウ素封止構造を作製し、これを母材としたデバイス開発を行う。
二テルル化モリブデンの特徴である①強いスピン起動相互作用、②近赤外光放射、③室温での強い励起子発光といった特徴を活かし、バレースピンフォトニクスの新たな研究分野の開拓を実現させる。

研究成果の概要

本研究では、原子層積層構造を母材とした局所電場制御技術を利用することで、近赤外光放射する電流注入型発光素子を開発した。まず発光層となる二テルル化モリブデン(MoTe2)の大面積形成を目指し、数層MoTe2を化学的気相成長法、単層MoTe2を金剥離法で形成する技術を確立した。また、MoTe2を用いた局所電場制御技術によりエレクトロルミネッセンス素子が作製できることを示した。本手法が、原子層材料を用いたバレーフォトニクスデバイス創製に効果的であることが分かった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

電流注入型発光素子を開発する場合、3次元的な結晶構造からなる半導体では結晶中に不純物をドーピングしPN接合を形成する必要がある。本研究では、局所電場制御技術を利用することで二次元半導体中の任意の領域においてキャリア密度を変調することに成功しており、これにより不純物ドーピングせずにMoTe2を発光層とした電流注入型発光素子作製に成功している。本研究で確立した手法は、バレー自由度に由来した基礎物性調査やオプトエレクトロニクス素子開発への基盤技術となる。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (24件) (うち国際学会 12件)

  • [雑誌論文] Tellurium nanosheets with structural anisotropy formed from defective MoTe2 multilayers2023

    • 著者名/発表者名
      Muranaka Shuto、Nogamida Satoshi、Hara Kosuke O.、Sawano Kentarou、Hoshi Yusuke
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 13 号: 7

    • DOI

      10.1063/5.0155417

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Anisotropic wet etching of WSe2 multilayers assisted by photo-excited carriers2024

    • 著者名/発表者名
      S. Muranaka, N. Horikawa, R. Ishikawa, Y. Hoshi
    • 学会等名
      The 66th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Arイオン注入した多層MoTe2の熱処理によるテルルナノシート形成2024

    • 著者名/発表者名
      村中柊都, 野上田聖, 原康祐, 澤野憲太郎, 星裕介
    • 学会等名
      第29回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 熱処理による単層2H-MoTe2チャネルFETの電気的特性への影響2024

    • 著者名/発表者名
      滋野博史, 山村陸斗, 渡邊賢司, 谷口尚, 星裕介
    • 学会等名
      第71回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Formation of a tellurium nanosheet with structural anisotropy by annealing defective MoTe2 multilayers2023

    • 著者名/発表者名
      S. Muranaka, S. Nogamida, K.O. Hara, K. Sawano, Y. Hoshi
    • 学会等名
      The 65th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Anisotropic wet etching of tungsten diselenide Multilayers by using H2O2-based etchant2023

    • 著者名/発表者名
      N. Horikawa, R. Ishikawa, K. Watanabe, T. Taniguchi, Y. Hoshi
    • 学会等名
      The 65th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Crystal quality of MoTe2 monolayer fabricated by gold-mediated exfoliation and its electrical properties2023

    • 著者名/発表者名
      R. Yamamura, K. Watanabe, T. Taniguchi, Y. Hoshi
    • 学会等名
      2023 International Workshop on dielectric thin films for future electron devices - science and technology -
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] NaClをアシスト剤として利用したMoO3薄膜のテルル化によるMoTe2成長2023

    • 著者名/発表者名
      村中柊都, 桐原芳治, 保井晃, 野平博司, 星裕介
    • 学会等名
      第84回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 金剥離法で作製した単層 MoTe2の大気暴露による結晶性劣化2023

    • 著者名/発表者名
      山村陸斗, 渡邊賢司, 谷口尚, 星裕介
    • 学会等名
      第84回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] MoO3薄膜のTe化による多層MoTe2の相転移制御2023

    • 著者名/発表者名
      村中柊都,星裕介
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 二軸歪み単層遷移金属ダイカルコゲナイドの光学特性2023

    • 著者名/発表者名
      岩熊高志,星裕介
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Effect of thermal treatment on electrical properties of hBN-encapsulated MoTe22022

    • 著者名/発表者名
      Y. Odagiri, K. Watanabe, T. Taniguchi, Y. Hoshi
    • 学会等名
      European Materials Research Society 2022 Spring meeting
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Piezoelectricity of the hBN/1L-MoS2 heterostructure membrane2022

    • 著者名/発表者名
      C. Chiba, S. Sugawara, E. Kitayoshi, K. Watanabe, T. Taniguchi, K. Sawano, H. Fujita, Y. Hoshi
    • 学会等名
      2022 International Conference on Solid State Devices and Materials?
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CVD成長により作製した多層MoTe2の結晶構造評価2022

    • 著者名/発表者名
      村中柊都,小田切優真,星裕介
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 金離法で作製した大面積な単層 MoTe2構造の光学特性2022

    • 著者名/発表者名
      山村陸斗,山勢海里,渡邊賢司,谷口尚,星裕介
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Phase control in MoTe2 crystals by tellurization of thermally oxidized molybdenum thin films2022

    • 著者名/発表者名
      村中柊都,小田切優真,星裕介
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 3層MoTe2面内PN接合のキャリア密度変調によるEL強度変化2022

    • 著者名/発表者名
      山勢海里,渡邊賢司,谷口尚,星裕介
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] MoTe2/hBN積層構造の熱処理による電気特性への影響2022

    • 著者名/発表者名
      小田切優真,渡邊賢司,谷口尚,星裕介
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Investigation of a defect-assisted-metal formed by annealing MoTe2 crystals with Ar ion implantation2021

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Nogamida, Shunya Hayashida, Kousuke O Hara, Kentarou Sawano, Yusuke Hoshi
    • 学会等名
      European Materials Research Society 2021 Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influences of thermal treatment on crystal quality of semiconducting MoTe2 monolayers encapsulated by hexagonal boron nitrides2021

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Hoshi, Shunya Hayashida, Satoshi Nogamida, Kentarou Sawano, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi
    • 学会等名
      European Materials Research Society 2021 Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electroluminescence from hBN-encapsulated bilayer MoTe2 by dual back-gate voltage modulation2021

    • 著者名/発表者名
      Kairi Yamase, Shunya Hayashida, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi, Kentarou Sawano, Yusuke Hoshi
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of hBN thickness on light outcoupling from hBN-encapsulated TMDC monolayers2021

    • 著者名/発表者名
      Yuma Odagiri, Shunya Hayashida, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi, Yusuke Hoshi
    • 学会等名
      2021 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Layer number dependence of electroluminescence from MoTe2 p-n junction formed by dual back-gate voltage modulation2021

    • 著者名/発表者名
      Kairi Yamase, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi, Yusuke Hoshi
    • 学会等名
      Graphene week 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Improvement of Electrical Properties in hBN-encapsulated MoTe2 Monolayers by Thermal Anneal2021

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Hoshi, Yuma Odagiri, Shunya Hayashida, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi, Kentarou Sawano
    • 学会等名
      International symposium on novel materials and quantum technologies (ISNTT) 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] デュアルバックゲート電圧変調によるMoTe2面内PN接合の発光ダイオード2021

    • 著者名/発表者名
      山勢海里,林田隼弥,渡邊賢司,谷口尚,星裕介
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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