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高感度プラズモニックセンサーの実用化に向けた銀ナノ粒子表面修飾と特殊基板加工

研究課題

研究課題/領域番号 21K04830
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分28030:ナノ材料科学関連
研究機関京都工芸繊維大学

研究代表者

高廣 克己  京都工芸繊維大学, 材料化学系, 教授 (80236348)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2023年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2022年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2021年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードイオンビーム / ナノ粒子 / ナノワイヤ / 表面・界面 / パターン形成 / ガラス / 表面コーティング / センサー / 局在型表面プラズモン共鳴 / 銀ナノ粒子 / 石英 / ミクロン周期表面加工 / プラズモン
研究開始時の研究の概要

金属ナノ粒子のなかで最も高いプラズモン強度を有する銀ナノ粒子について、プラズモン強度の経時変化の観点から「十分制御された環境下」での化学的・光学的安定性を検討し、劣化が認められた銀ナノ粒子には、プラズマによる粒子清浄化と表面修飾による耐硫化性・耐酸化性の向上を図る。次に、表面修飾銀ナノ粒子を三次元に高密度配列させ、そのプラズモン強度を飛躍的に向上させるために、透明酸化物基板の特殊凹凸加工を試みる。このように、銀ナノ粒子の表面修飾と透明酸化物基板の特殊加工の両方により、高感度・高安定性を併せもつプラズモニックセンサーの開発を目指す。

研究成果の概要

第一に、高速イオンビームによる溶融および合成石英ガラスの変形が、SiO4四面体の3員環構造の増加に伴う高密度化に起因することを明らかにした。その変形の度合いは、高速イオンの核的エネルギー付与量に依存することが示された。第二に、銀ナノ粒子へのイオン照射によりVOC蒸気応答の向上を図ることができた。また、銀ナノ粒子へのPt薄層コーティングにより、経時変化の少ないVOC蒸気応答性を維持することができた。第三に、低エネルギーArイオン照射したSi単結晶基板に対して、比較的低温度(300 ℃)で基板を加熱しながらAuを蒸着すると、イオン照射周縁部にアスペクト比の高いAu NWが成長することを見出した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

イオン照射したAg NPsの化学的安定性を検討した結果、Ag NPs環境に応じたLSPR変化を発現することから、イオン照射 Ag NPsの環境センサーへの応用が期待できる。イオンビーム加工されたガラス基板上のイオン照射/PtコーティングAg NPs分散デバイスを用いることで、経時変化の少ない高感度VOCセンサーシステムを構築できる。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 3件、 招待講演 2件)

  • [雑誌論文] Sputtering of silver nanoparticles bombarded with 3?100?keV Ar ions2024

    • 著者名/発表者名
      Mizutani Hitomi、Nishiyama Fumitaka、Takahiro Katsumi
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

      巻: 552 ページ: 165355-165355

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2024.165355

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Mechanism of Au nanowire growth by Au evaporation on Si substrates irradiated with Ar ions2023

    • 著者名/発表者名
      Mizutani Hitomi、Yamamoto Shunya、Takahiro Katsumi
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 638 ページ: 158063-158063

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2023.158063

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Site-selective low-temperature growth of Au nanowires on Si substrates irradiated with low-energy Ar ions2022

    • 著者名/発表者名
      Mizutani Hitomi、Nishio Koji、Takahiro Katsumi
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 604 ページ: 154616-154616

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2022.154616

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] イオン照射Si基板上に成長させたAuナノワイヤのSi基板面方位依存性2024

    • 著者名/発表者名
      高嶌 勇伍, 水谷 仁美, 高廣 克己
    • 学会等名
      第71回 応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Carbon substrates for thin film compositional analysis by Rutherford backscattering spectrometry2023

    • 著者名/発表者名
      Makoto Mitsuo, Yuya Yamada, Fumitaka Nishiyama, Katsumi Takahiro
    • 学会等名
      26th International Conference on Ion Beam Analysis & 18th International Conference on Particle Induced X-ray Emission
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Measurement of fraction of neutral particles in ion beams produced from ion implanter2023

    • 著者名/発表者名
      Yuta Odani, Kengo Watanabe, Shunya Yamamoto, Katsumi Takahiro
    • 学会等名
      26th International Conference on Ion Beam Analysis & 18th International Conference on Particle Induced X-ray Emission
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sputtering of silver nanoparticles bombarded with 3-100 keV Ar ion2023

    • 著者名/発表者名
      Hitomi Mizutani, Fumitaka Nishiyama, Katsumi Takahiro
    • 学会等名
      26th International Conference on Ion Beam Analysis & 18th International Conference on Particle Induced X-ray Emission
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] イオン照射Si基板上へのAu蒸着によるAuナノワイヤ形成機構2023

    • 著者名/発表者名
      水谷仁美, 山本春也, 高廣克己
    • 学会等名
      第84回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] イオン照射による銀ナノ粒子凝集体のプラズモン吸収帯の尖鋭化とVOC蒸気応答性の向上2023

    • 著者名/発表者名
      渡邉 謙吾、小谷 祐太、高廣 克己
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 低速Ar照射Si基板上Au蒸着によるAuナノワイヤ成長モデルの構築2023

    • 著者名/発表者名
      水谷 仁美、山本 春也、高廣 克己
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] SiのイオンビームスパッタとAu蒸着によるAuナノワイヤの低温成長2023

    • 著者名/発表者名
      西畠 佳汰、水谷 仁美、高廣 克己
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] イオン照射による銀ナノ粒子凝集体の低密度化2022

    • 著者名/発表者名
      渡邉 謙吾、水谷 仁美、高廣 克己
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Siスパッタ蒸着基板へのAu蒸着によるAuナノワイヤ低温気相成長2022

    • 著者名/発表者名
      水谷 仁美、山本 春也、高廣 克己
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 大気・Ar プラズマに曝された Ag ナノ粒子のイオンビーム分析および 表面増強ラマン散乱分光2021

    • 著者名/発表者名
      高廣克己
    • 学会等名
      第22回「イオンビームによる表面・界面の解析と改質」特別研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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