面内塑性変形パラジウム膜の水素吸蔵反応機構の解明と水素ガスセンサーへの応用

• 研究課題/領域番号: 21K04896
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分29030:応用物理一般関連
• 研究機関: 日本工業大学
• 研究代表者: 加藤 史仁 日本工業大学, 基幹工学部, 准教授 (70780170)
• 研究分担者: 荻 博次 大阪大学, 工学研究科, 教授 (90252626)
• 研究期間 (年度): 2021-04-01 – 2024-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2021年度)
• 配分額: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円); 2023年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円); 2022年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円); 2021年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: 水晶振動子センサー / 水素吸蔵膜 / 膜質分析 / パラジウム / 水素ガスセンサー

研究開始時の研究の概要

化石燃料の代替燃料として、水素エネルギーが注目されている。今後の水素社会における水素インフラの保全や管理には、100ppbオーダの極低濃度の水素ガスを検出できるセンサーが必要となる。パラジウムは、水素吸蔵材料であり、申請者が考案した、『面内塑性変形スパッタリング法』によるパラジウム薄膜は、一般的なパラジウム薄膜に比べ、現状で3倍以上の水素検出感度を得た。本研究では、結晶粒構造変化in-situ計測技術の開発を通じて、『面内塑性変形パラジウム薄膜』の水素吸蔵機構を解明し、更なる水素検出感度向上を実現する成膜手法の確立を目指す。また、検出限界100ppbの超高感度水素ガスセンサーの開発を目指す。