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温度可変ラマン分光法によるSiGe混晶の微視的な熱伝導機構解明に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 21K14201
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関明治大学

研究代表者

横川 凌  明治大学, 理工学部, 助教 (10880619)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2023年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2022年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2021年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード温度可変ラマン分光法 / ラマンシフト / フォノン / シリコンゲルマニウム / ラマン分光法 / ナノ構造 / 非調和振動 / 局在振動モード / SiGe / 熱伝導率
研究開始時の研究の概要

SiGe混晶は合金効果で熱伝導率が大きく低減することから、近年新たな熱電発電材料として注目されており、更なる低熱伝導率低減を達成すべく、様々な熱電発電デバイス構造が提案されているものの、熱輸送を考える上で重要なフォノンの振舞いは評価技術が未発達で、未だ理論的予測に留まっている。本研究ではフォノンエネルギーを直接観測することができる温度可変ラマン分光法により、SiGeの微視的な熱伝導機構を明らかにする。そして飛躍的な熱伝導率低減を可能とするSiGe混晶のフォノン散乱機構を実証することでSiGe熱電発電デバイスの性能を大幅に向上させ、混晶という複雑な系のフォノン物性の学理構築を目的とする。

研究成果の概要

本研究課題ではシリコンゲルマニウム(SiGe)混晶のラマン分光法による熱特性評価手法確立を目指し、飛躍的な熱伝導率低減を可能とするフォノン散乱機構を模索する。ラマン分光法で観測されるラマンシフト(フォノンエネルギー)に着目し、これまで困難だったSiGeの低次元系における熱伝導メカニズムを解明することを目的としている。
温度可変ラマン分光法とバルクSiGeで導出したラマンシフトと温度の関係を導出した結果、Si-Si、Si-Ge、Ge-Ge振動モード全てがGe組成によらず一定の値を有することが明らかになった。これらの関係式を用いることにより高精度でSiGe微小領域の温度を測定できると考えている。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究課題により、温度可変ラマン分光法と高品質無歪単結晶バルクシリコンゲルマニウム(SiGe)を組み合わせることで、これまで不明瞭であったシリコンゲルマニウム(SiGe)のラマンシフト(フォノンエネルギー)と温度の関係を明らかにした。これらの係数は各振動モードに対してGe組成によらずおおよそ一定であることが分かった。SiGeの各光学フォノンモードのラマンシフトと温度の関係式を用いることでSiGe混晶内で熱の伝搬を抑制、および促進しているか原子オーダーで把握することができ、これまでの熱特性評価技術に加え、熱伝導率をフォノン輸送的観点から予測できると考える。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2024 2023 2022

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 4件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] Local thermal conductivity properties of a SiGe nanowire observed by laser power sweep Raman spectroscopy2024

    • 著者名/発表者名
      Sugawa Sho、Yokogawa Ryo、Ogura Atsushi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 2 ページ: 02SP68-02SP68

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad1bc0

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Determination of Ge-fraction-shift coefficients for Raman spectroscopy in all vibration modes investigated by single-crystalline bulk SiGe and its application to strain evaluation in SiGe film grown on substrate2024

    • 著者名/発表者名
      Yokogawa Ryo、Sugawa Sho、Yonenaga Ichiro、Arai Yasutomo、Ogura Atsushi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 3 ページ: 035503-035503

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad29db

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Temperature Dependence of Raman Peak Shift in Single-Crystalline Silicon-Germanium2023

    • 著者名/発表者名
      Sugawa Sho、Yokogawa Ryo、Yoshioka Kazutoshi、Arai Yasutomo、Yonenaga Ichiro、Ogura Atsushi
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 12 号: 6 ページ: 064004-064004

    • DOI

      10.1149/2162-8777/acdffa

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] SiGeラマンスペクトルの非対称ブロードニングに関する考察2024

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 液浸ラマン分光法による高Ge濃度SiGe薄膜のラマンスペクトルに現れるブロードピークの温度依存性評価2023

    • 著者名/発表者名
      前田 唯葉, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第7回フォノンエンジニアリング研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] レーザパワー掃引ラマン分光法によるSiGeナノワイヤの熱伝導特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第7回フォノンエンジニアリング研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 3次元自己組織化多層SiGeナノドットのフォノン散乱評価2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 伊藤 佑太, 山下 雄一郎, Wen Wei-Chen, 山本 裕司, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第7回フォノンエンジニアリング研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ラマン分光法によるSiGeナノワイヤの熱伝導測定2023

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 3次元自己組織化多層SiGeナノドットの熱物性2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 伊藤 佑太, 山下 雄一郎, Wen Wei-Chen, 山本 裕司, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Local Thermal Conductivity Properties of SiGe Nanowire Observed by Laser Power Sweep Raman Spectroscopy2023

    • 著者名/発表者名
      S. Sugawa, R. Yokogawa, A. Ogura
    • 学会等名
      36th International Microprocess and Nanotechnology Conference 2023 (MNC2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] バルクSiGeを用いた無歪ラマンシフト全振動モードの導出2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 柴山 裕貴, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 高Ge組成バルクSiGeにおける局在振動モードラマンスペクトルの温度依存性2023

    • 著者名/発表者名
      横川 凌, 寿川 尚, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] SiGe混晶のフォノン物性解明へ向けて2022

    • 著者名/発表者名
      横川 凌
    • 学会等名
      第6回フォノンエンジニアリング研究会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Ge-rich SiGeバルク単結晶におけるラマンピークの温度依存性2022

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Evaluation of Strained Group IV Semiconductor Devices by Oil-Immersion Raman Spectroscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Ryo Yokogawa, Chia-Tsong Chen, Kasidit Toprasertpong, Mitsuru Takenaka, Shinishi Takagi, Atsushi Ogura
    • 学会等名
      242nd ECS Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Temperature Dependence of Raman Peak Shift in Single-Crystalline Si-Rich SiGe2022

    • 著者名/発表者名
      Sho Sugawa, Ryo Yokogawa, Yasutomo Arai, Ishiro. Yonenaga, Atsushi Ogura
    • 学会等名
      242nd ECS Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Phonon properties of bulk silicon-germanium analyzed by inelastic X-ray scattering2022

    • 著者名/発表者名
      Ryo Yokogawa
    • 学会等名
      The 8th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Si-rich SiGeバルク単結晶におけるラマン散乱の温度依存性2022

    • 著者名/発表者名
      寿川 尚, 横川 凌, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

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公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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