• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

極低抵抗・低転位密度自立基板を利用した窒化ガリウムにおける大規模伝導度変調制御

研究課題

研究課題/領域番号 21K14210
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関大阪大学

研究代表者

宇佐美 茂佳  大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (30897947)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2023年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2022年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2021年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
キーワードGaN / 伝導度変調 / pn接合ダイオード / パワーデバイス / OVPE法 / GaNパワーデバイス / pnダイオード / 窒化物半導体 / ダイオード
研究開始時の研究の概要

次世代パワー半導体材料として期待されるGaNは高耐圧・高周波動作可能であるが、大電流駆動に課題がある。大電流駆動時は発熱が問題となるため、半導体自体の抵抗を低くする必要があるが、GaNでは物性限界を超えて抵抗が低下する「伝導度変調」という現象が無視できるほど小さいという欠点があった。近年、現所属の大阪大学森研究室において超低抵抗かつ低転位密度なGaN自立基板を用いることで大規模伝導度変調の発現を示唆する結果が得られたため、本申請研究ではより低抵抗かつ低転位密度なGaN自立基板を開発することで、GaNにおける伝導度変調を完全制御し、極低損失・高速スイッチングパワーダイオードを実証する。

研究成果の概要

酸化物気相成長(OVPE)法で作製した高キャリア濃度GaN基板上にPN接合ダイオードを作製しGaNにおける伝導度変調に基板キャリア濃度が与える影響ついて調査した。自己発熱の影響をパルスIV測定によって排除して評価を行ったところ、基板キャリア濃度の増大によって伝導度変調が促進されドリフト層の抵抗は通常のGaN基板上デバイスに比べて約半分に低減されることがわかった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は高キャリア濃度基板を用いれば直接遷移半導体であるGaNにおいても伝導度変調によるオン抵抗の低減効果を増大させられること,適用耐圧範囲を拡張できることを示した.直接遷移半導体においても伝導度変調を積極的に利用可能な高耐圧デバイスが作製可能となれば,従来トレードオフとなっていた導通損失とスイッチング損失の両方を低減可能な高効率スイッチング素子を実現できる.当該技術は省エネルギー社会実現に貢献できる.

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 学会発表 (7件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [学会発表] Origin of reverse leakage current in vertical pn junction diode on OVPE-GaN substrate2024

    • 著者名/発表者名
      Shigeyoshi Usami, Junichi Takino, Masayuki Imanishi, Tomoaki Sumi, Hirotaka Watanabe, Shugo Nitta,
    • 学会等名
      LEDIA 2024
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ドリフト層の異なるGaN pnダイオードを用いた伝導度変調の解析2023

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳,太田博,渡邉浩崇,今西正幸,新田州吾,本田善央,森勇介, 三島友義,天野浩
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] OVPE法を用いたGaNのエピタキシャル成長とパワーデバイス応用2023

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳,東山律子, 滝野淳一, 太田博, 渡邉浩崇, 今西正幸, 隅智亮, 岡山芳央, 三島友義, 新田州吾, 本田善央, 吉村政志, 秦雅彦, 伊勢村雅士, 天野浩, 森勇介
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] OVPE基板上pnダイオードにおける伝導度変調の解析2022

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳, 太田博, 滝野淳一, 渡邉浩崇, 隅智亮, 今西正幸, 新田州吾, 本田善央, 森勇介, 三島友義, 岡山芳央, 天野浩
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] OVPE法で育成したGaNのグロースピット径制御2022

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳, 香川美幸, 今西正幸, 滝野淳一, 隅智亮, 岡山芳央, 秦雅彦, 伊勢村雅士, 森勇介
    • 学会等名
      第51回結晶成長国内会議
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 低転位自立基板を用いたOVPE-GaN結晶の転位低減2022

    • 著者名/発表者名
      相原 正実, 宇佐美 茂佳, 今西 正幸, 丸山 美帆子, 吉村 政志, 秦 雅彦, 伊勢村 雅士, 森 勇介
    • 学会等名
      第41回 Electronic Materials Symposium(EMS-41)
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] OVPE-GaN基板上MOVPE成長におけるピット低減と表面平坦性の改善2021

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳、今西正幸、滝野淳一、隅智亮、岡山芳央、丸山美帆子、吉村政志、秦雅彦、伊勢村雅士、森勇介
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi