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低沸点冷媒で駆動するMEMS超小型タービン発電機

研究課題

研究課題/領域番号 21K14214
研究種目

若手研究

配分区分基金
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関日本大学

研究代表者

金子 美泉  日本大学, 理工学部, 助教 (30755418)

研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2023年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2022年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2021年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
キーワード発電システム / 廃熱エネルギー / オーガニックランキンサイクル / MEMS / 冷媒 / タービン / 冷却 / タンク / 流路 / テスラバルブ / マイクロ流路 / 温度分布 / 一体化 / 発電機 / 低沸点冷媒
研究開始時の研究の概要

従来、IoT遠隔デバイスの電源にはリチウム二次電池などが用いられているが、交換が必要であり、普及に対して一つのボトルネックになっている。そこで、交換が不要な発電システムとして、出力が大きく、なおかつ普遍的な環境エネルギーから電力を得る電源が望まれている。本研究では低沸点媒体を用い,より普遍的に存在する100℃以下の廃熱を利用し、3mW 程度の出力を得られる超小型発電システムへの開発を目標にする。小型タービンのシステムを密閉型にし、低沸点媒体の蒸発、液化サイクルを利用して100℃以下の廃エネルギーの利用を可能とする。将来的にはボイラ、冷却器などを組み合わせて作動流体循環式発電機に発展させる。

研究成果の概要

本研究の目的は「100℃以下の低品位な熱源で利用可能な循環型小型発電システムのための要素開発」であることから、小型化技術の一つである半導体製造技術を利用して発電システムを構成する機械部品の小型化を行った。また、低温排熱を利用するためにオーガニックランキンサイクルに利用される低沸点冷媒を作動流体に用いて発電システムにおけるタービンの回転実験や熱移動に関する解析を行った。この結果、タービン機構、流路、ボイラータンクにおいて1cm角程度のサイズを実現した。また、一つのシリコン構造体内部にこれらの要素を組み込んだモノリシック型発電システムについて設計と作製を行った。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究は交換作業が不要で持続的に利用可能な小型発電システムの開発を目的としている。これまでの環境発電の分野では主に振動エネルギーや太陽光エネルギーを利用した研究が多かったが、得られる電力や小型化における課題があった。このことから、従来の大規模発電に用いられる熱サイクルを1cm角程度の小型スケールで実現したことは今後の環境発電の発展に寄与できるといえる。また、狭小領域での流体の解析や熱解析については研究事例が少ないことから、シミュレーションと実現象の双方から解析を行う本研究の成果は学術的にも意義があるといえる。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2023 2022 2021 その他

すべて 学会発表 (10件) (うち国際学会 6件、 招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [学会発表] Development of MEMS Boiler Tank for Miniature ORC Power Generation System2023

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Yuya Niki, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      9th International Conference on Sustainable Technology and Engineering 2023 (i-COSTE 2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Advanced Sensor & Microsystems Technology (MST)2023

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko
    • 学会等名
      International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology conference (IMPACT 2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] シリコン微細加工技術によるORC発電機の小型化2023

    • 著者名/発表者名
      仁木雄哉、阪本千紘、金子美泉、内木場文男
    • 学会等名
      第33回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Development of MEMS Flow Path for Miniature ,Waste Heat Utilization Generator2022

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Yuya Niki, Kenji Takeda, Megumi Aibara, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      the 48th Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of MEMS Structures for Miniature Organic Rankine Cycle System2022

    • 著者名/発表者名
      M. Kaneko; K. Takeda; M. Aibara; F. Uchikoba
    • 学会等名
      2022 International Conference on Electronics Packaging
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ORC 発電システムのための流路一体型 MEMS タービンの評価2022

    • 著者名/発表者名
      金子 美泉; 仁木 雄哉; 武田 健嗣; 粟飯原 萌; 内木場 文男
    • 学会等名
      金子 美泉; 仁木 雄哉; 武田 健嗣; 粟飯原 萌; 内木場 文男
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] 電子機器の廃熱利用を目的にした低沸点媒体とシリコンタービンによる有機ランキンサイクル発電機2022

    • 著者名/発表者名
      仁木雄哉; 阿部優希; 阪本千紘; 武田健嗣; 粟飯原萌; 金子美泉; 内木場文男
    • 学会等名
      MES2022 第32回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書
  • [学会発表] Research and Development of MEMS Turbine Generator for Miniature Organic Rankine Cycle System2021

    • 著者名/発表者名
      Minami Kaneko, Yuya Kobayashi, Kenji Takeda, Megumi Aibara, Katsuyuki Tanaka, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      2021 IEEE 30th International Symposium on Industrial Electronics (ISIE)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 熱回収を目的とした小型発電システムのためのマイクロ流路2021

    • 著者名/発表者名
      金子美泉、小林 祐也、仁木雄哉、武田健嗣、粟飯原萌、内木場文男
    • 学会等名
      第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Rotational Experiment of MEMS Turbine for Miniature Organic Rankin Cycle Generator2021

    • 著者名/発表者名
      Yuya Kobayashi, Yuya Niki, Kenji Takeda, Megumi Aibara, Minami Kaneko, Fumio Uchikoba
    • 学会等名
      2021 IEEE 20th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [備考] 日本大学 内木場・金子研究室

    • URL

      https://www.eme.cst.nihon-u.ac.jp/uchikoba/

    • 関連する報告書
      2022 実施状況報告書 2021 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2021-04-28   更新日: 2025-01-30  

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