振動ブレ防止機構を備えたMEMSミラーによる移動機器向け小型LiDAR

• 研究課題/領域番号: 21K14219
• 研究種目: 若手研究
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
• 研究機関: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
• 研究代表者: 岡本 有貴 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究員 (40880753)
• 研究期間 (年度): 2021-04-01 – 2024-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2021年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2023年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2022年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円); 2021年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
• キーワード: MEMSスキャナー / LiDAR / ブレ防止機構 / 静電引力アクチュエータ / 圧電薄膜アクチュエータ

研究開始時の研究の概要

本研究の目的は、自動車やロボットのような移動体上から計測しても振動によるブレがなく測距できる移動物体用小型LiDARの実現である。また、そのために、ミラー位置の補正が行えるブレ防止機構を搭載したMEMSミラーを実現する。具体的には、XYに動作できるマイクロステージ機構と、スキャニングミラー機構を集積したMEMS素子を実現する。本研究によりブレ対策をLiDAR内部で行うことができ、数cm四方までの小型化が行える。更に、従来つけられなかった箇所でブレ防止が行えるため、高解像度化ができ、障害物の早期検知といった自動運転の安全性能の向上にもつながる。