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音響共鳴映像法の創出と高分子薄層の品質可視化への挑戦

研究課題

研究課題/領域番号 21K18664
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
研究機関東北大学

研究代表者

燈明 泰成  東北大学, 工学研究科, 教授 (50374955)

研究期間 (年度) 2021-07-09 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2022年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2021年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード音響共鳴 / 超音波映像法 / 薄層 / 品質 / 密着性 / 塗装膜 / フォトレジスト膜 / 接着層 / 高分子フィルム
研究開始時の研究の概要

音波が薄層を通過する際、薄層界面での音波の音圧反射率と音圧透過率は周波数の関数となり、両者は共鳴周波数において極値を取る(音響共鳴)。本研究はこの現象を2次元情報として観察する革新的な音響共鳴映像法を創出するものである。更に創出した音響共鳴映像法により塗装膜の厚さ、高分子フィルムの劣化、あるいは接着層の品質を高分解能な2次元情報として可視化することに挑戦するものである。

研究成果の概要

音波が薄層界面で反射、あるいは透過する際に生じる音響共鳴現象を利用した革新的な音響共鳴映像法を開発し、これにより薄層の音響物性値や膜厚の2次元情報を取得することを可能にした。ここに薄層の音響インピーダンス、密度、音速、膜厚、薄層と上下媒体との密着性、なる6つの因子のいずれかを、目的に応じて評価する新しい超音波計測原理を創出した。また既存の超音波映像装置から取り出した超音波波形を演算・解析する独自のシステムを開発した。これらにより塗装膜の膜厚、高分子フィルムの劣化、あるいは接着層の品質を高分解能な2次元情報として可視化することに成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究課題の遂行により実現した音響共鳴映像法は、従来、点計測であった音響共鳴計測法を面計測へと拡張し、これにより薄層の音響物性値と膜厚の2次元情報を取得可能にしたものである。開発した手法は、燃料電池用電解質膜、あるいは各種輸送機器の組み立てに利用される接着剤など、次世代材料システムの性能を向上させ、安全性を担保するために欠かせない、様々な高分子フィルム・膜・層の革新的超音波検査に活用でき、その社会的意義は大きい。

報告書

(3件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2023 2022 2021 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (7件) (うち招待講演 1件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Evaluation of Quality of Thick Photoresist Film by Acoustic Resonant Imaging Technique2023

    • 著者名/発表者名
      H. Kim, H. Tohmyoh
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science and Technology B

      巻: 41 号: 2

    • DOI

      10.1116/6.0002459

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Acoustic Resonant Imaging Technique for Visualizing the Acoustic Properties and Thickness of Polymer Film on Substrate2022

    • 著者名/発表者名
      H. Kim, H. Tohmyoh
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 93 号: 6

    • DOI

      10.1063/5.0097062

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 音響共鳴映像法によるフォトレジスト膜の品質評価について2023

    • 著者名/発表者名
      キム ヘリン, 燈明 泰成
    • 学会等名
      第30回超音波による非破壊評価シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 周波数領域データに基づく薄膜の音響物性値の可視化2023

    • 著者名/発表者名
      燈明 泰成, キム ヘリン
    • 学会等名
      日本機械学会 情報・知能・精密機器部門講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 音響共鳴映像法によるフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の可視化2022

    • 著者名/発表者名
      キム ヘリン, 燈明 泰成
    • 学会等名
      日本非破壊検査協会東北支部 第9回支部会・講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 薄膜の音響物性値測定のための周波数データの活用について2022

    • 著者名/発表者名
      燈明 泰成, キム ヘリン
    • 学会等名
      日本機械学会 2022年度年次大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Acoustic Study of Photoresist Films Formed on Silicon Substrate with Different Coating Conditions2022

    • 著者名/発表者名
      H. Kim, H. Tohmyoh
    • 学会等名
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] マイクロ/ナノ材料の接合・改質・評価~より有効に微細材料を活用するために~2021

    • 著者名/発表者名
      燈明 泰成
    • 学会等名
      日本材料学会 第6回マルチスケール材料力学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 音響共鳴を利用したフォトレジスト膜の音響物性値と膜厚の測定について2021

    • 著者名/発表者名
      キム ヘリン, 燈明 泰成
    • 学会等名
      日本非破壊検査協会 2021年度秋季講演大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [備考] 燈明研究室

    • URL

      https://web.tohoku.ac.jp/tohmyoh/index.html

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [備考] 燈明・木村研究室/白須研究室

    • URL

      https://web.tohoku.ac.jp/tohmyoh/index.html

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

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公開日: 2021-07-13   更新日: 2024-01-30  

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