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画像出力型センサと分子ふるい機構を融合した機械学習型においセンシング技術の創出

研究課題

研究課題/領域番号 21K18718
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分21:電気電子工学およびその関連分野
研究機関豊橋技術科学大学

研究代表者

野田 俊彦  豊橋技術科学大学, エレクトロニクス先端融合研究所, 准教授 (20464159)

研究期間 (年度) 2021-07-09 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2022年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2021年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワードCMOSセンサ / においセンサ / 機械学習型センシング / ブロードセンシング / 分子ふるい / においセンシング / CMOSガスセンサ / 画像出力型ガスセンサ
研究開始時の研究の概要

従来型のセンシング技術とは全く異なり,あえて選択性が低い,ブロードな応答特性のセンサを用いて「におい」センシングを実現する。センサのブロードな応答を機械学習によって解析する事で,計測データに埋もれた「におい」の情報をあぶりだしてセンシングする。AIによるデータ解析に適した画像出力型の「におい」センサを開発し,さらに1つのセンサをあたかも複数個のセンサのように動作させる分子ふるい機構を導入することで,センシング精度を飛躍的に向上させる。本手法は多成分の計測に加えて外乱に強いという特徴があり,将来的には「におい」以外の情報も画像データ化して統合した,マルチモーダルセンシングへの発展が期待できる。

研究成果の概要

電位計測センサアレイのCMOSセンサチップに「におい感応膜」を成膜し,においを画像情報として出力できる画像出力型においセンサを作製した。このセンサでガス計測を行い,機械学習(Light GBM)でデータ解析を行った。3種類のガス判別を行った結果,1000以上の計測データを98%以上の正答率で判別可能であった。機械学習の効果を高める分子ふるい機構を開発した。Si基板上にアルミ製ストライプをブリッジ状に形成し,ストライプ部をガスが透過可能な構造にしたものを試作した。ストライプ幅や印加電圧によるガス応答特性が変化を確認した。これら成果の組み合わせにより,提案したにおい計測が可能である事を実証した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

あえてブロードな特性のセンサを用いることで,さまざまな対象を一括計測を実現するブロードセンシングという計測概念が実証された。ソサエティ5.0では「におい」のデジタル化も求められるが,本技術の中核であるCMOSセンサは様々な機器への組み込みが容易であり,サイバー-フィジカルインタフェースとしての展開が期待できる。

報告書

(3件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 研究成果

    (14件)

すべて 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (13件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Functional validation of an additional device to the gas sensor for arbitrary control sensing properties2021

    • 著者名/発表者名
      Wada Ryomei、Minowa Naho、Wada Takeru、Mizutani Manase、Suzuki Yoshihisa、Choi Yong-Joon、Takahashi Kazuhiro、Sawada Kazuaki、Noda Toshihiko
    • 雑誌名

      2021 IEEE Sensors

      巻: - ページ: 1-4

    • DOI

      10.1109/sensors47087.2021.9639252

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 複数種の画素を混載した画像出力型CMOSにおいセンサの設計と製作2023

    • 著者名/発表者名
      上條 友暉, 和田 武, 崔 容俊, 高橋一浩, 澤田 和明, 野田 俊彦
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Proposal of Novel array sensor enables simultaneous measurement of multiple electrical information of sensing membranes aiming for odor sensing based on multi-gas measurement2022

    • 著者名/発表者名
      Takeru Wada, Kenta Sembo, Yong-Joon Choi, Kazuhiro Takahashi, Kazuaki Sawada, Toshihiko Noda
    • 学会等名
      The 10th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Humidity Dependence of CMOS-based Odor Sensor2022

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Yodo, Kenichi Maeno, Kenichi Hashizume, Toshihiko Noda, Yong Joon Choi, Kazuhiro Takahashi, Masahiro Akiyama, and Kazuaki Sawada
    • 学会等名
      The 10th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ガス透過特性可変素子への交流電圧印加によるガス透過特性制御2022

    • 著者名/発表者名
      蓑輪 奈穂*,水谷 学世,鈴木 誉久,崔 容俊,高橋 一浩,澤田 和明,野田 俊彦
    • 学会等名
      第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] ガス感応膜の電気的特性を複数同時に計測可能な 画素混載型CMOSアレイセンサの提案2022

    • 著者名/発表者名
      和田 武, 木村 安行, 飛沢 健, 崔 容俊, 高橋 一浩, 澤田 和明, 野田 俊彦
    • 学会等名
      第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] イメージセンサ技術を応用したCMOSアレイセンサによるマルチガスセンシングと においセンシングシステムへの展開2022

    • 著者名/発表者名
      野田 俊彦*, 澤田 和明
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 生体機能を模したにおいセンシングのためのCMOSガスセンサ基礎特性の検証2022

    • 著者名/発表者名
      和田 武*, 崔 容俊, 高橋 一浩, 澤田 和明, 野田 俊彦
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] CMOS電位検出アレイを用いたガスセンサの基礎特性検証2022

    • 著者名/発表者名
      和田 武, 崔 容俊, 高橋一浩, 澤田 和明, 野田 俊彦
    • 学会等名
      令和4年度電気学会E部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 金属ストライプ形状に着目した静電型ガス透過特性可変素子の設計と製作2022

    • 著者名/発表者名
      蓑輪奈穂,和田凌明,水谷学世,鈴木誉久,崔 容俊,高橋一浩,澤田和明,野田俊彦
    • 学会等名
      令和4年電気学会全国大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ガス透過特性可変素子の開口部近傍における流体挙動の解析2022

    • 著者名/発表者名
      水谷学世,鈴木誉久,蓑輪奈穂,和田凌明,崔 容俊,高橋一浩,澤田和明,野田俊彦
    • 学会等名
      令和4年電気学会全国大会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Functional validation of an additional device to the gas sensor for arbitrary control sensing properties2021

    • 著者名/発表者名
      Ryomei Wada, Naho Minowa, Takeru Wada, Manase Mizutani, Yoshihisa Suzuki, Yong-Joon Choi, Kazuhiro Takahashi, Kazuaki Sawada, Toshihiko Noda
    • 学会等名
      IEEE SENSORS 2021
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ガス透過性制御素子と組み合わせたガスセンサの検出特性の検証2021

    • 著者名/発表者名
      和田 武,和田凌明,水谷学世,鈴木誉久,崔 容俊,高橋一浩,澤田和明,野田俊彦
    • 学会等名
      令和3年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] ストライプ状ガスグリッドへの電圧印加によるガス透過特性制御2021

    • 著者名/発表者名
      和田 凌明 , 和田 武, 水谷 学世, 鈴木 誉久, 崔 容俊, 高橋 一浩, 澤田 和明, 野田 俊彦
    • 学会等名
      第38 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

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公開日: 2021-07-13   更新日: 2024-01-30  

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